��1�� �wՓ 1.1 ��������ϼ��������� 1.2 GaN���о��Mչ �����īI ��2�� ��������ϻ������Լ��������L���g 2.1 ��������ϵĽY�� 2.1.1 ��������ϼ��䮐�|(zh��)�Y 2.1.2 ��������Ͼ��w�Y�� 2.1.3 ����������܎��Y�� 2.2 ����扲��ϵ��Ƃ� 2.2.1 ����扲��ϵ��Ƃ䷽�� 2.2.2 MOCVDϵ�y(t��ng) 2.2.3 MOCVD���L����扱�Ĥ�Ļ���ԭ�� 2.2.4 MOCVD���������ӳ����r�� 2.3 ���|(zh��)��GaN���_���������L���g 2.3.1 AlN�ɺˌ����L���g 2.3.2 �A׃������ȼ��g 2.3.3 �s�|(zh��)�Uɢ���Ƽ��g 2.4 ������AlGaN��GaN���|(zh��)�Y���� 2.4.1 ����AlN�������Ӽ��g 2.4.2 ԭλ���LAlN���|(zh��)�g���Ӽ��g �����īI ��3�� ���͵����ﮐ�|(zh��)�Y���OӋ���Ƃ� 3.1 AlGaN/GaN���݉����|(zh��)�Y 3.1.1 �p���|(zh��)�Y�ă�(y��u)�ݼ� �о��Mչ 3.1.2 �������p���|(zh��)�Y�����L���� 3.2 GaN�p�ϵ������ϵ����|(zh��)�Y 3.2.1 �p�ϵ����|(zh��)�Y�����Է��� 3.2.2 ���ϵ����|(zh��)�Y�����Է��� 3.3 AIGaN��InGaN�ϵ����|(zh��)�Y 3.3.1 AIGaN�ϵ����|(zh��)�Y 3.3.2 InGaN�ϵ����|(zh��)�Y 3.4 ���O�����|(zh��)�Y 3.4.1 ��Al�M��AlGaN/GaN���|(zh��)�Y 3.4.2 ��Ԫ�Ͻ�InAlGaN�݉��� 3.5 �������ij���GaN�ϵ����|(zh��)�Y 3.5.1 ����A1N���_���Ƃ䮐�|(zh��)�Y�ă�(y��u)�� 3.5.2 ����AlN���_�ӵ�GaN��Ĥģ�� 3.5.3 ������AlN���_�Ӯ��|(zh��)�Y������ �����īI ��4�� ��������ϵĜyԇ�������g 4.1 ����Ч���yԇ 4.1.1 ����Ч���ͻ���ϵ��(sh��) 4.1.2 �댧�w����ʵĜyԇ���� 4.1.3 ����Ч���yԇ�ĸ�Ч�� 4.2 ����ɢ��yԇ 4.2.1 ����ɢ��Ļ��A��Փ 4.2.2 �w�\�V�Y��GaN������ɢ�� 4.2.3 �w�\�V�Y��GaN��LOPP���ģ 4.2.4 ����ɢ����x�񶨄t