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硅通孔三維集成關鍵技術 版權信息
- ISBN：9787030773906
- 條形碼：9787030773906 ; 978-7-03-077390-6
- 裝幀：平裝
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
硅通孔三維集成關鍵技術 內容簡介
本書主要討論三維集成硅通孔（TSV）建模、熱管理和無源器件等關鍵設計技術。在硅通孔建模方面，提出了GS-TSV、同軸-環形TSV、重摻雜屏蔽TSV、基于PN結的TSV等結構的模型及研究了電學特性；在熱管理方面，分析并優化了TSV引入的熱應力，并針對芯片級的熱應力進行了仿真，建立并驗證了考慮橫向散熱的三維散熱模型。在無源器件方面，研究了TSV螺旋電感和環視螺旋電感的多物理場耦合特性、提出了基于圓柱TSV和同軸TSV的低通集總濾波器、提出了基于TSV的兩臂和4臂發夾太赫茲濾波器和基于TSV的直接耦合、串列形交叉耦合、四角元件交叉耦合SIW濾波器。
硅通孔三維集成關鍵技術 目錄
目錄
前言
第1章 緒論1
1.1 概述1
1.2 研究進展4
1.2.1 TSV結構建模及互連傳輸4
1.2.2 三維集成電路熱管理7
1.2.3 基于TSV的三維無源器件12
1.2.4 基于TSV的三維無源濾波器15
1.3 主要內容及安排18
參考文獻18
第2章 TSV結構及特性25
2.1 GS-TSV等效電路模型及電學特性25
2.2 同軸-環型TSV電學特性46
2.3 重摻雜屏蔽TSV結構及特性分析52
2.4 PN結TSV結構及特性分析60
2.5 小結 64參考文獻65
第3章 三維集成電路熱管理67
3.1 TSV熱應力分析及優化67
3.1.1 TSV熱應力分析67
3.1.2 TSV熱應力優化76
3.2 三維散熱模型及驗證84
3.3 小結93
參考文獻93
第4章 TSV三維電感器96
4.1 TSV三維螺旋電感及多物理場耦合特性96
4.1.1 TSV三維螺旋電感熱-力-電多物理場耦合96
4.1.2 TSV三維螺旋電感電-熱-力多物理場耦合108
4.2 基于TSV的可調磁芯電感器117
4.2.1 基于TSV的可調磁芯電感器的結構及工作原理117
4.2.2 基于TSV的可調磁芯電感器特性分析120
4.3 小結123
參考文獻123
第5章 TSV集總濾波器設計及特性分析125
5.1 TSV低通濾波器設計及特性分析125
5.2 TSV高通濾波器設計及特性分析138
5.3 小結144
參考文獻145
第6章 TSV太赫茲濾波器設計147
6.1 TSV太赫茲發夾濾波器設計147
6.1.1 TSV太赫茲兩臂發夾濾波器設計148
6.1.2 TSV太赫茲四臂發夾濾波器設計156
6.2 TSV太赫茲SIW濾波器設計163
6.2.1 TSV太赫茲直接耦合SIW濾波器設計163
6.2.2 TSV太赫茲串列型交叉耦合SIW濾波器設計169
6.2.3 TSV太赫茲四角元件交叉耦合SIW濾波器設計180
6.3 小結186
參考文獻187
前言
第1章 緒論1
1.1 概述1
1.2 研究進展4
1.2.1 TSV結構建模及互連傳輸4
1.2.2 三維集成電路熱管理7
1.2.3 基于TSV的三維無源器件12
1.2.4 基于TSV的三維無源濾波器15
1.3 主要內容及安排18
參考文獻18
第2章 TSV結構及特性25
2.1 GS-TSV等效電路模型及電學特性25
2.2 同軸-環型TSV電學特性46
2.3 重摻雜屏蔽TSV結構及特性分析52
2.4 PN結TSV結構及特性分析60
2.5 小結 64參考文獻65
第3章 三維集成電路熱管理67
3.1 TSV熱應力分析及優化67
3.1.1 TSV熱應力分析67
3.1.2 TSV熱應力優化76
3.2 三維散熱模型及驗證84
3.3 小結93
參考文獻93
第4章 TSV三維電感器96
4.1 TSV三維螺旋電感及多物理場耦合特性96
4.1.1 TSV三維螺旋電感熱-力-電多物理場耦合96
4.1.2 TSV三維螺旋電感電-熱-力多物理場耦合108
4.2 基于TSV的可調磁芯電感器117
4.2.1 基于TSV的可調磁芯電感器的結構及工作原理117
4.2.2 基于TSV的可調磁芯電感器特性分析120
4.3 小結123
參考文獻123
第5章 TSV集總濾波器設計及特性分析125
5.1 TSV低通濾波器設計及特性分析125
5.2 TSV高通濾波器設計及特性分析138
5.3 小結144
參考文獻145
第6章 TSV太赫茲濾波器設計147
6.1 TSV太赫茲發夾濾波器設計147
6.1.1 TSV太赫茲兩臂發夾濾波器設計148
6.1.2 TSV太赫茲四臂發夾濾波器設計156
6.2 TSV太赫茲SIW濾波器設計163
6.2.1 TSV太赫茲直接耦合SIW濾波器設計163
6.2.2 TSV太赫茲串列型交叉耦合SIW濾波器設計169
6.2.3 TSV太赫茲四角元件交叉耦合SIW濾波器設計180
6.3 小結186
參考文獻187
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