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“中國制造2025”出版工程數據驅動的半導體制造系統調度/中國制造2025出版工程 版權信息
- ISBN:9787122373281
- 條形碼:9787122373281 ; 978-7-122-37328-1
- 裝幀:一般膠版紙
- 冊數:暫無
- 重量:暫無
- 所屬分類:>
“中國制造2025”出版工程數據驅動的半導體制造系統調度/中國制造2025出版工程 本書特色
本書是“中國制造2025”出版工程叢書中的一本。 1. 本書作者團隊 不僅對該領域的理論、方法,特別是一些先進的智能化方法的研究內容與成果有了充分的調研和認識,而且也積累了一定的研究成果,并與典型半導體制造企業合作,在對相關研究成果的應用實施方面進行了有益的探索嘗試。 2. 作者團隊把近20年來國內外的相關研究成果的綜合和作者多年在制造系統調度特別是半導體制造系統智能調度領域的研究與應用成果的經驗積累相結合,嘗試對復雜的半導體制造系統智能調度問題從理論到方法再到應用,全方位地進行系統化論述。
“中國制造2025”出版工程數據驅動的半導體制造系統調度/中國制造2025出版工程 內容簡介
本書對復雜的半導體制造系統智能調度問題從理論到方法再到應用, 進行了系統論述。主要內容包括數據驅動的半導體制造系統調度框架、半導體制造系統數據預處理的方法、半導體生產線性能指標相關性分析、智能化投料控制策略、一種模擬信息素機制的動態派工規則、基于負載均衡的半導體生產線的動態調度和性能指標驅動的半導體生產線動態調度方法、大數據環境下的半導體制造系統調度發展趨勢。 本書面向從事半導體制造系統計劃、調度和優化等相關領域研究工作的科研人員, 自動控制、工業工程等專業院校研究生的教師, 制造管理及微電子制造行業生產管理或工程技術人員等, 力求在半導體制造系統及其智能調度的理論方法、技術及應用案例等方面為讀者提供有價值的參考和輔助。
“中國制造2025”出版工程數據驅動的半導體制造系統調度/中國制造2025出版工程 目錄
1.1半導體制造流程/ 2
1.2半導體制造系統調度/ 5
1.2.1調度特點/ 6
1.2.2調度類型/ 8
1.2.3調度方法/ 11
1.2.4評價指標/ 12
1.3半導體制造系統調度發展趨勢/ 14
1.3.1復雜制造數據預處理/ 15
1.3.2基于數據的調度建模/ 16
1.3.3基于數據的調度優化/ 17
1.3.4存在問題/ 19
1.4本章小結/ 19
參考文獻/ 20
第2章數據驅動的半導體制造系統調度框架/ 22
2.1數據驅動的半導體制造系統調度框架設計/ 23
2.2基于數據的復雜制造系統調度體系結構/ 25
2.2.1DSACMS概述/ 25
2.2.2DSACMS的形式化描述/ 29
2.2.3DSACMS的對復雜制造系統調度建模與優化的支持/ 37
2.2.4DSACMS中的關鍵技術/ 38
2.3應用實例/ 39
2.3.1FabSys概述/ 39
2.3.2FabSys的面向對象仿真模型/ 40
2.3.3FabSys的數據驅動預測模型/ 53
2.4本章小結/ 56
參考文獻/ 56
第3章半導體制造系統數據預處理/ 58
3.1概述/ 59
3.2數據規范化/ 62
3.2.1數據規范化規則/ 62
3.2.2變量異常值校正/ 63
3.3數據缺失值填補/ 64
3.3.1數據缺失值填補方法/ 64
3.3.2Memetic算法和Memetic計算/ 66
3.3.3基于高斯變異和深度優先搜索的屬性加權K近鄰缺失值填補方法(GS-MPSO-KNN) / 68
3.3.4數值驗證/ 70
3.4基于數據聚類分析的異常值探測/ 73
3.4.1基于數據聚類的異常值探測/ 73
3.4.2K均值聚類/ 74
3.4.3基于GS-MPSO和K均值聚類的數據聚類算法(GS-MPSOKMEANS)/ 75
3.4.4數值驗證/ 76
3.5基于變量聚類的冗余變量檢測/ 77
3.5.1主成分分析/ 77
3.5.2基于K均值聚類和PCA的變量聚類/ 78
3.5.3基于MCLPSO的變量聚類算法(MCLPSO-KMEANSVAR) / 80
3.5.4數值驗證/ 81
3.6本章小結/ 83
參考文獻/ 84
第4章半導體生產線性能指標相關性分析/ 87
4.1半導體制造系統性能指標/ 88
4.2半導體生產線性能指標的統計分析/ 92
4.2.1短期性能指標/ 93
4.2.2長期性能指標/ 97
4.3基于相關系數法的性能指標相關性分析/ 99
4.3.1相關性分析框圖/ 100
4.3.2考慮工況的性能指標相關性分析/ 100
4.3.3考慮派工規則的性能指標相關性分析/ 104
4.3.4綜合考慮工況以及派工規則的性能指標相關性分析/ 105
4.3.5長期性能指標和短期性能指標相關性分析/ 106
4.3.6基于MIMAC生產線的性能指標相關性分析/ 106
4.4基于皮爾遜系數的性能指標相關性分析/ 109
4.4.1日在制品數-日移動步數/ 110
4.4.2日排隊隊長-日移動步數/ 111
4.4.3日設備利用率-日移動步數/ 113
4.5半導體制造系統性能指標數據集/ 114
4.5.1加工周期和對應短期性能指標的訓練集/ 114
4.5.2準時交貨率和對應短期性能指標的訓練集/ 115
4.5.3等待時間和對應短期性能指標的訓練集/ 116
4.6本章小結/ 116
參考文獻/ 117
第5章數據驅動的半導體制造系統投料控制/ 119
5.1半導體制造系統常用投料控制策略/ 120
5.1.1常用投料控制/ 121
5.1.2改進的投料控制策略/ 127
5.1.3現階段投料控制策略的局限性/ 129
5.2基于極限學習機的投料控制策略/ 130
5.2.1基于極限學習機確定投料時刻的投料控制策略/ 132
5.2.2基于極限學習機確定投料順序的投料控制策略/ 138
5.3基于屬性選擇的投料控制策略優化/ 146
5.3.1投料相關屬性集/ 146
5.3.2屬性選擇/ 149
5.3.3經過屬性選擇后的仿真/ 150
5.4本章小結/ 157
參考文獻/ 157
第6章數據驅動的半導體制造系統動態調度/ 160
6.1動態派工規則/ 161
6.1.1參數與變量定義/ 161
6.1.2問題假設/ 162
6.1.3決策流程/ 163
6.1.4仿真驗證/ 167
6.2基于數據挖掘的算法參數優化/ 169
6.2.1總體設計/ 169
6.2.2算法設計/ 171
6.2.3優化流程/ 178
6.2.4仿真驗證/ 179
6.3本章小結/ 185
參考文獻/ 186
第7章性能驅動的半導體制造系統動態調度/ 187
7.1性能指標預測方法/ 188
7.1.1單瓶頸半導體生產模型長期性能指標預測方法/ 188
7.1.2多瓶頸半導體生產模型長期性能指標預測方法/ 198
7.2基于負載均衡的半導體生產線動態調度/ 205
7.2.1總體設計/ 205
7.2.2負載均衡技術/ 206
7.2.3參數選取/ 207
7.2.4負載均衡預測模型/ 209
7.2.5基于負載均衡的動態調度算法/ 210
7.2.6仿真驗證/ 216
7.3性能指標驅動的半導體生產線動態調度/ 219
7.3.1性能指標驅動的調度模型結構/ 219
7.3.2動態派工算法/ 220
7.3.3預測模型搭建/ 222
7.3.4仿真驗證/ 223
7.4本章小結/ 224
參考文獻/ 225
第8章大數據環境下的半導體制造系統調度發展趨勢/ 227
8.1工業4.0/ 228
8.2工業大數據/ 230
8.3大數據環境下半導體制造調度發展趨勢/ 232
8.3.1基于數據的Petri 網/ 232
8.3.2動態仿真/ 233
8.3.3預測模型/ 233
8.4應用實例:復雜制造系統大數據驅動預測模型/ 234
8.5本章小結/ 235
參考文獻/ 236
索引/ 238
“中國制造2025”出版工程數據驅動的半導體制造系統調度/中國制造2025出版工程 作者簡介
李莉,同濟大學電子與信息工程學院控制科學與工程系,系主任,同濟大學電子與信息工程學院控制科學與工程系主任,教授,博導。中國科學院沈陽自動化研究所畢業,工學博士,中國自動化學會集成自動化技術專業委員會秘書長、中國自動化學會專家咨詢工作委員會(ECC)委員、上海市自動化學會理事。 主要研究領域為復雜生產系統計劃與調度、數據驅動的建模與優化、計算智能、面向工業4.0的大數據應用等。主持或參加國家973、863計劃項目、國家自然科學基金重點項目、國家自然科學基金面上項目、上海市科委科技行動計劃項目等10余項,出版學術專著3部,在高水平國際國內期刊和國際會議上發表學術論文80余篇,其中1 篇入選2013 年度IEEE Transactions on Automation Science and Engineering Best Paper Award Finalist;授權發明專利5項、軟件著作版權6項。獲中國自動化學會技術發明獎一等獎、上海市技術發明獎一等獎各1項,獲中國自動化學會高等教育教學成果獎一等獎1項。
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