掃一掃
關注中圖網
官方微博
本類五星書更多>
-
>
公路車寶典(ZINN的公路車維修與保養秘籍)
-
>
晶體管電路設計(下)
-
>
基于個性化設計策略的智能交通系統關鍵技術
-
>
花樣百出:貴州少數民族圖案填色
-
>
山東教育出版社有限公司技術轉移與技術創新歷史叢書中國高等技術教育的蘇化(1949—1961)以北京地區為中心
-
>
鐵路機車概要.交流傳動內燃.電力機車
-
>
利維坦的道德困境:早期現代政治哲學的問題與脈絡
半導體制造工藝控制理論 版權信息
- ISBN：9787561259535
- 條形碼：9787561259535 ; 978-7-5612-5953-5
- 裝幀：一般輕型紙
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
半導體制造工藝控制理論 內容簡介
穩定受控的半導體制造工藝是實現芯片高可靠性水平的重要方法。本書從工序能力指數、統計過程控制和實驗設計三個方面展開，詳細講述三種技術的常規理論和特殊應用方法和模型。內容包括常規工序能力指數，特殊工序能力指數，常規過程控制技術，特殊過程控制技術，實驗設計及工藝表征以及系統健康管理概念。
半導體制造工藝控制理論 目錄
第1章 緒論
1.1 半導體制造工藝可靠性
1.2 傳統可靠性方法存在的問題
1.3 實現高可靠性的新思路
1.4 半導體制造工藝控制流程
參考文獻
第2章 單變量工序能力指數
2.1 工序能力指數
2.2 工序能力指數與成品率關系
2.3 非正態工序能力指數
2.4 截尾樣本的成品率分析
參考文獻
第3章 多變量工序能力指數
3.1 空間定義多變量工序能力指數
3.2 成品率多變量工序能力指數
3.3 權重系數多變量工序能力指數
參考文獻
第4章 過程控制技術
4.1 SPC技術概述
4.2 SPC基本概念
4.3 控制圖理論
4.4 常規控制圖技術
4.5 過程受控判斷規則
4.6 多變量控制圖模塊
參考文獻
第5章 特殊過程控制技術
5.1 多品種小批量生產環境的質量控制
5.2 T-K控制圖性能分析
參考文獻
第6章 實驗設計和工藝表征
6.1 概述
6.2 統計表征與優化的技術框架
6.3 熱氧化工藝設備統計表征與優化
6.4 等離子體刻蝕工藝設備的統計表征與優化
參考文獻
展開全部
書友推薦
- >
月亮虎
- >
我與地壇
- >
莉莉和章魚
- >
龍榆生：詞曲概論/大家小書
- >
【精裝繪本】畫給孩子的中國神話
- >
羅曼·羅蘭讀書隨筆-精裝
- >
苦雨齋序跋文-周作人自編集
- >
中國歷史的瞬間
本類暢銷
