中圖網小程序
一鍵登錄
更方便
本類五星書更多>
-
>
公路車寶典(ZINN的公路車維修與保養秘籍)
-
>
晶體管電路設計(下)
-
>
基于個性化設計策略的智能交通系統關鍵技術
-
>
花樣百出:貴州少數民族圖案填色
-
>
山東教育出版社有限公司技術轉移與技術創新歷史叢書中國高等技術教育的蘇化(1949—1961)以北京地區為中心
-
>
鐵路機車概要.交流傳動內燃.電力機車
-
>
利維坦的道德困境:早期現代政治哲學的問題與脈絡
套裝-半導體干法刻蝕技術+半導體干法刻蝕技術 原子層工藝 全2冊 版權信息
- ISBN：2200059000297
- 條形碼：2200059000299
- 裝幀：平裝
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
套裝-半導體干法刻蝕技術+半導體干法刻蝕技術 原子層工藝 全2冊 內容簡介
《半導體干法刻蝕技術（原書第2版）》是一本全面系統的干法刻蝕技術論著。針對干法刻蝕技術，在內容上涵蓋了從基礎知識到近期新技術，使初學者能夠了解干法刻蝕的機理，而無需復雜的數值公式或方程。《半導體干法刻蝕技術（原書第2版）》不僅介紹了半導體器件中所涉及材料的刻蝕工藝，而且對每種材料的關鍵刻蝕參數、對應的等離子體源和刻蝕氣體化學物質進行了詳細解釋。《半導體干法刻蝕技術（原書第2版）》討論了具體器件制造流程中涉及的干法刻蝕技術，介紹了半導體廠商實際使用的刻蝕設備的類型和等離子體產生機理，例如電容耦合型等離子體、磁控反應離子刻蝕、電子回旋共振等離子體和電感耦合型等離子體，并介紹了原子層沉積等新型刻蝕技術。
套裝-半導體干法刻蝕技術+半導體干法刻蝕技術 原子層工藝 全2冊 目錄
《半導體干法刻蝕技術:原子層工藝》
《半導體干法刻蝕技術(原書第2版)》
《半導體干法刻蝕技術(原書第2版)》
展開全部
套裝-半導體干法刻蝕技術+半導體干法刻蝕技術 原子層工藝 全2冊 作者簡介
野尻一男，1973年于群馬大學工學部電子工學科本科畢業，1975年于群馬大學工學研究科碩士畢業。1975年加入日立制作所，在半導體事業部從事CVD、器件集成、干法刻蝕的研究開發；特別是對ECR等離子刻蝕和充電損傷進行了開創性研究；作為技術開發領域的領導者，他還擔任過多個管理職位。2000年加入泛林集團日本公司并擔任董事兼CTO。2019年，獨立并作為 Nanotech Research 的代表提供技術和管理咨詢。1989年因“磁場微波等離子體刻蝕技術的開發及實用化”獲得大河內紀念獎；1994年因“低溫干法刻蝕設備的開發”獲得日本機械工業振興會通產大臣獎；獲得2019年度DPS西澤獎。
書友推薦
- >
有舍有得是人生
- >
史學評論
- >
伊索寓言-世界文學名著典藏-全譯本
- >
【精裝繪本】畫給孩子的中國神話
- >
我從未如此眷戀人間
- >
煙與鏡
- >
我與地壇
- >
隨園食單
本類暢銷
