��1�� �� �� 1.1 �o�˙Cϵ�y���� 1.1.1 �������� 1.1.2 �o�˙C�lչ�v�� 1.2 �w�п���ϵ�y���� 1.2.1 �w�п���ϵ�y�Ļ����΄� 1.2.2 �w�п��Ƽ��g�İlչ 1.2.3 �o�˙C�w�п��Ƽ��g 1.3 ����ϵ�y���� 1.3.1 �������� 1.3.2 �������g�İlչ ˼���} ��2�� ���A֪�R 2.1 ���W���A 2.1.1 ΢�ַ��� 2.1.2 �����~׃�Q��������˹׃�Q 2.1.3 ��Ԫ�� 2.2 �C�w�Y������ 2.2.1 ˮƽ�𽵽Y������ 2.2.2 ��ֱ�𽵽Y������ 2.2.3 ���ʽ�Y������ 2.3 �Ԅӿ�����Փ���A 2.3.1 �����ĸ��� 2.3.2 �Ԅӿ���ϵ�y�ĽM�� 2.3.3 �Ԅӿ���ϵ�y�Ļ������Ʒ�ʽ 2.3.4 ���Ԅӿ���ϵ�y�Ļ���Ҫ�� 2.3.5 ����ϵ�y�Ĕ��Wģ�� 2.3.6 ����ϵ�y�ķ������� 2.3.7 PIDԭ�� ˼���} ��3�� �o�˙C�\�ӷ��� 3.1 ��������ϵ���D�Q 3.1.1 ��������ϵ���x 3.1.2 ��������ϵ֮�g�ĽǶ��Pϵ 3.1.3 ��������ϵ֮�g���D�Q 3.2 �����ڟo�˙C�ϵ��������� 3.2.1 �����ڹ̶���o�˙C�ϵ��� 3.2.2 �����ڹ̶���o�˙C�ϵ����� 3.2.3 �����ڶ�����o�˙C�ϵ��������� 3.3 �o�˙C�\�ӷ��̽M 3.3.1 �����W���� 3.3.2 �\�ӌW���� 3.3.3 �o�˙C�\�ӷ��̽M ˼���} ��4�� ���ЙC�� 4.1 ��C�c���· 4.1.1 ��C����ԭ�� 4.1.2 ��C���Է��� 4.1.3 ���·�Ę��ɼ�������� 4.1.4 ��C���Ԍ����·��Ӱ� 4.1.5 ���·���OӋҪ�� 4.2 늙C�c����{���� 4.2.1 ֱ��늄әC����ԭ�� 4.2.2 �oˢֱ��늄әC 4.2.3 ����{���� ˼���} ��5�� ������ 5.1 �� �� 5.1.1 �w�����\�Ӆ����Ĝy������ 5.1.2 �ɜy�ğo�˙C�\�Ӆ��� 5.2 ���݃x 5.2.1 ���݃x�Ļ������� 5.2.2 �����ɶ����݃x 5.2.3 �����ɶ����݃x 5.2.4 ��W���݃x 5.2.5 MEMS���݃x 5.3 ���ٶ�Ӌ 5.3.1 ���ٶ�Ӌһ��ԭ�� 5.3.2 ���Ԕ[ʽ���ط������ٶȂ����� 5.3.3 Һ���[ʽ���ٶȂ����� 5.3.4 MEMS���ٶȂ����� 5.4 ��┵��ϵ�y 5.4.1 ���ض��c��≺�� 5.4.2 ��┵��Ӌ��ԭ�� 5.5 ���������� 5.5.1 �o��늸߶ȱ� 5.5.2 �o��늜y�� 5.5.3 ����Ӌ 5.5.4 ӭ�Ǻ͂Ȼ��ǵĂ����� ˼���} ��6�� �o�˙C�w�п���ϵ�y 6.1 �� �� 6.2 �w�п���ϵ�y���OӋ���� 6.2.1 �w�п���ϵ�y�Ľ����OӋ���� 6.2.2 �w�п���ϵ�y�ĬF���OӋ���g 6.3 �̶���o�˙C�w�п���ϵ�y 6.3.1 �ˑB����ϵ�y 6.3.2 ܉�E����ϵ�y 6.3.3 ���ٵĿ��ƺͱ��� 6.4 ������o�˙C�w�п���ϵ�y 6.4.1 ������o�˙C����ԭ�� 6.4.2 ������o�˙C�w�п��ƿ�� 6.4.3 ������o�˙C�w�п��ƻ�·�OӋ���� ˼���} ��7�� ����ϵ�y 7.1 �������� 7.1.1 ��������Դ�����x 7.1.2 �����Ļ����ֶμ���� 7.1.3 ����������ָ�� 7.2 �T�Ԍ��� 7.2.1 �� �� 7.2.2 �T�Ԍ���ԭ�� 7.2.3 �T�Ԍ���ϵ�y 7.3 �l�nj��� 7.3.1 �� �� 7.3.2 �l�nj���ԭ�� 7.3.3 �l�nj���������ϵ�y 7.4 �M�ό��� 7.4.1 �� �� 7.4.2 �M�ό���ԭ�� 7.4.3 ���ͽM�ό�����ʽ ˼���} �����īI