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高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光

包郵 高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光

出版社:科學(xué)出版社出版時(shí)間:2022-04-01
開本: 16開 頁數(shù): 198
中 圖 價(jià):¥93.4(7.3折) 定價(jià)  ¥128.0 登錄后可看到會(huì)員價(jià)
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高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光 版權(quán)信息

  • ISBN:9787030671950
  • 條形碼:9787030671950 ; 978-7-03-067195-0
  • 裝幀:一般膠版紙
  • 冊(cè)數(shù):暫無
  • 重量:暫無
  • 所屬分類:>

高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光 內(nèi)容簡(jiǎn)介

本書從半導(dǎo)體激光學(xué)科的科學(xué)意義與戰(zhàn)略價(jià)值、發(fā)展趨勢(shì)和特點(diǎn)、國內(nèi)外發(fā)展態(tài)勢(shì)、發(fā)展思路和發(fā)展方向、發(fā)展機(jī)制與政策建議等方面系統(tǒng)地研究了高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光學(xué)科及產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)律,并結(jié)合國內(nèi)的實(shí)際情況為我國高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光學(xué)科及產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提出了相關(guān)建議。 本書適合高層次的戰(zhàn)略和管理專家、相關(guān)領(lǐng)域的高等院校師生、研究機(jī)構(gòu)的研究人員閱讀,是科技工作者洞悉學(xué)科發(fā)展規(guī)律、把握前沿領(lǐng)域和重點(diǎn)方向的重要指南,也是科技管理部門重要的決策參考,同時(shí)也是社會(huì)公眾了解高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光研究的發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢(shì)的非常不錯(cuò)讀本。

高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光 目錄

目錄
總序 i
前言 v
摘要 ix
Abstract xvii
**節(jié) 半導(dǎo)體激光學(xué)科在整個(gè)科學(xué)體系中的地位 2
第二節(jié) 對(duì)推動(dòng)其他學(xué)科和相關(guān)技術(shù)發(fā)展所起的作用 9
第三節(jié) 半導(dǎo)體激光技術(shù)在學(xué)科發(fā)展及產(chǎn)業(yè)發(fā)展中的地位 18
第四節(jié) 對(duì)實(shí)施國家發(fā)展規(guī)劃及其他科技政策的支撐作用 24
第五節(jié) 對(duì)國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展與國防安全的作用 28
本章參考文獻(xiàn) 30
**節(jié) 半導(dǎo)體激光學(xué)科的發(fā)展 32
第二節(jié) 半導(dǎo)體激光器的結(jié)構(gòu)和應(yīng)用現(xiàn)狀 54
本章參考文獻(xiàn) 62
**節(jié) 國際上半導(dǎo)體激光產(chǎn)業(yè)的發(fā)展?fàn)顩r與趨勢(shì) 72
第二節(jié) 高功率半導(dǎo)體激光學(xué)科的學(xué)術(shù)地位 77
第三節(jié) 國際上高功率半導(dǎo)體激光技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀 84
第四節(jié) 我國在高功率半導(dǎo)體激光器領(lǐng)域的學(xué)科和產(chǎn)業(yè)發(fā)展?fàn)顩r 103
第五節(jié) 總體經(jīng)費(fèi)投入與平臺(tái)建設(shè)情況 110
本章參考文獻(xiàn) 124
**節(jié) 高功率半導(dǎo)體激光封裝技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀 125
第二節(jié) 可靠性分析測(cè)試和老化技術(shù)及腔面鍍膜技術(shù) 155
第三節(jié) 高功率半導(dǎo)體激光技術(shù)發(fā)展中的關(guān)鍵科學(xué)問題及解決思路 170
第四節(jié) 未來學(xué)科發(fā)展的重要研究方向 175
本章參考文獻(xiàn) 181
**節(jié) 有利于學(xué)科發(fā)展的管理體制和措施 186
第二節(jié) 推動(dòng)高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光學(xué)科領(lǐng)域 發(fā)展的政策建議 192
本章參考文獻(xiàn) 194
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高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光 節(jié)選

**章 高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光的科學(xué)意義與價(jià)值 半導(dǎo)體激光器是以半導(dǎo)體材料為工作物質(zhì)的激光器。半導(dǎo)體激光器常用的工作物質(zhì)有砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、砷化鋁鎵(AlGaAs)等。半導(dǎo)體激光器的激勵(lì)方式有電注入、電子束激勵(lì)和光泵浦三種形式。半導(dǎo)體激光器的工作原理是通過一定的激勵(lì)方式,在半導(dǎo)體材料的能帶(導(dǎo)帶與價(jià)帶)之間或半導(dǎo)體材料的能帶與雜質(zhì)(受主或施主)能級(jí)之間,實(shí)現(xiàn)非平衡載流子的粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。當(dāng)處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)的大量電子與空穴復(fù)合時(shí),便產(chǎn)生受激發(fā)射。電注入型邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器分為同質(zhì)結(jié)、單異質(zhì)結(jié)、雙異質(zhì)結(jié)、量子阱、量子點(diǎn)、量子級(jí)聯(lián)等幾種。同質(zhì)結(jié)激光器和單異質(zhì)結(jié)激光器在室溫時(shí)多為脈沖器件,而雙異質(zhì)結(jié)激光器在室溫下可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)工作。 半導(dǎo)體激光(semiconductor laser)在1962年被成功激發(fā),在1970年實(shí)現(xiàn)室溫下連續(xù)輸出。經(jīng)過不斷創(chuàng)新,后來陸續(xù)開發(fā)出雙異質(zhì)結(jié)激光器、單量子阱激光器和多量子阱激光器。20世紀(jì)的雙異質(zhì)結(jié)激光器、量子阱激光器和應(yīng)變量子阱激光器是半導(dǎo)體激光器發(fā)展過程中的三個(gè)里程碑。半導(dǎo)體激光器采用量子阱和應(yīng)變量子阱結(jié)構(gòu)后,出現(xiàn)了許多性能優(yōu)良的器件,如各類量子阱激光器、應(yīng)變量子阱激光器、垂直腔面發(fā)射激光器和高功率半導(dǎo)體激光器陣列等,實(shí)現(xiàn)了高功率輸出。 與其他激光器相比,半導(dǎo)體激光器具有效率高(達(dá)到70%)、體積小(體積<1cm3)、質(zhì)量輕(100W 激光芯片重僅數(shù)克)、壽命長(zhǎng)(數(shù)萬小時(shí))、波長(zhǎng)豐富(可見光至紅外光任意波長(zhǎng)輸出)、直接電驅(qū)動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)半導(dǎo)體激光的初期研究主要集中在如何提高功率,主要通過增加條寬提高單元功率,再二維集成提高輸出功率。但是功率提高后,會(huì)導(dǎo)致光束質(zhì)量下降,使其只能作為全固態(tài)激光器的泵浦源間接應(yīng)用,直接應(yīng)用仍然受限。研究人員逐漸認(rèn)識(shí)到半導(dǎo)體激光器的光束質(zhì)量是與功率同等重要的參數(shù),如何獲得高功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光器是國際半導(dǎo)體激光科學(xué)的研究前沿,高功率、近衍射極限單元器件及合束光源成為半導(dǎo)體激光技術(shù)領(lǐng)域的重大挑戰(zhàn)。為此,美國、歐盟、日本等相繼進(jìn)行了相關(guān)專項(xiàng)的部署。 **節(jié) 半導(dǎo)體激光學(xué)科在整個(gè)科學(xué)體系中的地位 激光是20世紀(jì)以來繼原子能、半導(dǎo)體、電子計(jì)算機(jī)之后人類的又一重大發(fā)現(xiàn)。半導(dǎo)體激光科學(xué)與技術(shù)以半導(dǎo)體激光器件為核心,涵蓋研究光的受激輻射放大的規(guī)律、產(chǎn)生方法、器件技術(shù)、調(diào)控手段和應(yīng)用技術(shù),所需知識(shí)綜合了幾何光學(xué)、物理光學(xué)、半導(dǎo)體電子學(xué)、熱力學(xué)等學(xué)科。歷經(jīng)50余年的發(fā)展,半導(dǎo)體激光技術(shù)作為一個(gè)世界前沿的研究方向,得益于國際科技突飛猛進(jìn)的進(jìn)步,也受益于各類關(guān)聯(lián)技術(shù)、材料與工藝等的突破性進(jìn)步。半導(dǎo)體激光的進(jìn)步受到世界各國的高度關(guān)注和重視,不僅基礎(chǔ)科學(xué)研究領(lǐng)域不斷深入、科學(xué)技術(shù)水平不斷提升,而且應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展、應(yīng)用技術(shù)和裝備層出不窮、應(yīng)用水平獲得較大幅度提升。半導(dǎo)體激光在世界各國的信息、工業(yè)、醫(yī)療和國防等領(lǐng)域得到了重要應(yīng)用[1]。圖1-1顯示了半導(dǎo)體激光技術(shù)在各領(lǐng)域應(yīng)用中的重要性。可以看出,半導(dǎo)體激光技術(shù)在材料處理加工領(lǐng)域的應(yīng)用占比接近25%,其次是在測(cè)量分析、醫(yī)療、交通運(yùn)輸和機(jī)械工業(yè)和城建領(lǐng)域,再其次是在信息通信和國防安全領(lǐng)域。半導(dǎo)體激光器技術(shù)在圖中所示的國民經(jīng)濟(jì)的8個(gè)領(lǐng)域都占有重要的地位。 當(dāng)前,國際上半導(dǎo)體激光的發(fā)展正處于新的快速發(fā)展時(shí)期,而我國的激光科學(xué)技術(shù)基本保持了與國際先進(jìn)水平同步發(fā)展的態(tài)勢(shì)。半導(dǎo)體激光技術(shù)隨著社會(huì)生活的不斷發(fā)展和產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)的調(diào)整,除了在工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療等領(lǐng)域的應(yīng)用外,也促進(jìn)了其在交叉學(xué)科領(lǐng)域的應(yīng)用發(fā)展。 圖1-1 半導(dǎo)體激光技術(shù)在各領(lǐng)域的應(yīng)用占比(%) 一、推動(dòng)交叉學(xué)科的形成 激光技術(shù)出現(xiàn)后,拓展了它在醫(yī)學(xué)和生物學(xué)領(lǐng)域[2,3]的應(yīng)用,也在探測(cè)成像領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。 (一)激光細(xì)胞工程學(xué) 生命現(xiàn)象是細(xì)胞存在的運(yùn)動(dòng)形式[4],生命活動(dòng)是以細(xì)胞活動(dòng)為基礎(chǔ)的。細(xì)胞生物學(xué)研究在生命科學(xué)研究中居于重要位置。從細(xì)胞生物學(xué)的發(fā)展歷史來看,細(xì)胞研究方法和手段的不斷創(chuàng)新推動(dòng)了生命科學(xué)研究發(fā)展到一個(gè)新的高度。20世紀(jì)60年代迅速發(fā)展起來的激光新技術(shù)為細(xì)胞生物學(xué)研究提供了嶄新的實(shí)驗(yàn)方法和手段,在生命科學(xué)研究中已展現(xiàn)出誘人的應(yīng)用前景。一門新興的交叉學(xué)科—激光細(xì)胞工程學(xué)正在逐步形成。細(xì)胞生物學(xué)的研究方法大致可以分為形態(tài)觀察、生化分析、生理測(cè)定、某些實(shí)驗(yàn)性技術(shù)四類,激光技術(shù)在其中大有用武之地。 (二)激光生物學(xué) 以生命科學(xué)研究方面的應(yīng)用為例,激光生物學(xué)包括激光生物學(xué)本身的基礎(chǔ)研究及由其派生出來的激光醫(yī)學(xué)、激光遺傳操作和激光生物技術(shù)等應(yīng)用學(xué)科。近代激光生物學(xué)的成就已經(jīng)證明,它在揭示生命現(xiàn)象的奧秘,改進(jìn)生物學(xué)研究中的測(cè)試手段,促進(jìn)生物化學(xué)與生物物理的發(fā)展,促進(jìn)生物工程與遺傳學(xué)的進(jìn)步,促進(jìn)藥物學(xué)、農(nóng)業(yè)科學(xué)、環(huán)境科學(xué)的發(fā)展等方面具有重要的應(yīng)用前景。激光在農(nóng)業(yè)方面的應(yīng)用研究也在不斷深入,在誘變育種、增強(qiáng)種子活力、促進(jìn)生長(zhǎng)發(fā)育、提高產(chǎn)量和品質(zhì)、平地整地、提高節(jié)水灌溉能力、防治病蟲害等方面發(fā)揮著越來越重要的作用。 (三)激光雷達(dá)科學(xué) 利用激光的高亮度和極好的方向性,人們做成了激光測(cè)距儀和激光雷達(dá)。激光雷達(dá)與激光測(cè)距儀的工作原理相似,只是激光雷達(dá)對(duì)準(zhǔn)的是運(yùn)動(dòng)目標(biāo)或相對(duì)運(yùn)動(dòng)的目標(biāo)。利用激光雷達(dá)又研發(fā)了遠(yuǎn)距離導(dǎo)彈跟蹤和激光制導(dǎo)技術(shù)。這些技術(shù)在1991年的海灣戰(zhàn)爭(zhēng)中被投入使用。目前智能車和機(jī)器人系統(tǒng)中的激光雷達(dá)使用的光源都是半導(dǎo)體激光器。半導(dǎo)體激光器因其高效率、小體積和長(zhǎng)壽命而成了現(xiàn)代成像系統(tǒng)中的首選光源。可以說,半導(dǎo)體激光器促進(jìn)了導(dǎo)航型激光雷達(dá)的飛速發(fā)展。半導(dǎo)體激光器在三維成像領(lǐng)域也發(fā)揮了重要作用。例如,iPhone 8手機(jī)中的成像光源就是垂直腔表面發(fā)射半導(dǎo)體激光器。半導(dǎo)體激光器在人們的生活中發(fā)揮著越來越重要的作用。 二、促進(jìn)新型光學(xué)儀器的研發(fā) 激光技術(shù)出現(xiàn)后,從多個(gè)方面促進(jìn)了新型光學(xué)儀器的研發(fā)[5],同時(shí)把相干性和非線性引入光譜分析[6],提高了光譜分析儀器的靈敏度,如分析靈敏度大幅度提高、光譜分辨率達(dá)到超精細(xì)程度、可以進(jìn)行超快光譜分析。 (一)熒光壽命時(shí)間分布顯微鏡 將脈沖激光時(shí)間分辨、光譜分辨的高信息容量與二維顯微成像相結(jié)合就可以構(gòu)成全新的熒光壽命時(shí)間分布顯微鏡,可以觀察物質(zhì)的微觀結(jié)構(gòu)。特別是,通過選擇激發(fā)方式可以研究細(xì)胞內(nèi) K+、Ca2+等特定物質(zhì)的濃度分布及圖像,從而通過計(jì)算獲得待測(cè)物質(zhì)具有極高信噪比的熒光壽命。 (二)激光拉曼光譜分析儀 激光拉曼光譜分析儀采用激光作為激發(fā)光源。激光光譜分析技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)時(shí)間及空間的高分辨率研究。例如,對(duì)脫氧核糖核酸(deoxyribonucleic acid,DNA)、蛋白質(zhì)、葉綠素等形成的絡(luò)合物等樣品進(jìn)行的相關(guān)激光光譜的測(cè)定獲得了有關(guān)分子結(jié)構(gòu)、能量轉(zhuǎn)移過程等的信息并可以診斷一些生物分子的瞬態(tài)過程,如光合作用等。這些信息是傳統(tǒng)儀器無法獲取的精準(zhǔn)信息,對(duì)生命科學(xué)、材料科學(xué)的研究有巨大的推動(dòng)作用。 (三)激光流式細(xì)胞儀 細(xì)胞在高速流動(dòng)中受到激光照射時(shí),在細(xì)胞內(nèi)會(huì)產(chǎn)生前向散射,通過檢測(cè)散射光的強(qiáng)度可以檢測(cè)細(xì)胞的尺寸;側(cè)向散射光強(qiáng)度能夠用來評(píng)估細(xì)胞內(nèi)結(jié)構(gòu)的精細(xì)結(jié)構(gòu)[7];通過熒光標(biāo)記來確定細(xì)胞內(nèi)相關(guān)成分的含量;利用單克隆抗體的熒光標(biāo)記可以確定細(xì)胞類型及表面特性。這種儀器測(cè)量的參數(shù)多、用途廣泛,如癌細(xì)胞鑒別、白血病類型分析、免疫表型、藥物分析及細(xì)胞生長(zhǎng)指數(shù)測(cè)定等。激光流式細(xì)胞儀有兩個(gè)發(fā)展方向:①多激光束、多參數(shù)、高靈敏度和高檢測(cè)速率的大型儀器,能進(jìn)行染色體的分析和分選。②適合臨床使用的小型臺(tái)式儀器,如使用空氣冷卻的小型氦離子激光器。如果將半導(dǎo)體激光的490nm 波段引入儀器,則激光流式細(xì)胞儀的微型化就能實(shí)現(xiàn),而且工作壽命長(zhǎng),應(yīng)用范圍大大擴(kuò)展,分析細(xì)胞學(xué)期待著更小、更合適的微型激光源改進(jìn)分析細(xì)胞學(xué)的研究手段。 (四)共焦激光掃描顯微鏡 共焦激光掃描顯微鏡是分析細(xì)胞學(xué)的有力手段[1,2],系統(tǒng)將顯微鏡、光度計(jì)和計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)結(jié)合在一起,以激光作為掃描光源,逐點(diǎn)、逐行、逐面快速掃描成像,掃描的激光與熒光搜集共用一個(gè)物鏡,物鏡的焦點(diǎn)即為掃描激光的聚焦點(diǎn),也是瞬時(shí)成像的物點(diǎn)。接收光路中使用空間濾波器,排除雜散光的干擾,提高了系統(tǒng)的分辨率。因此,共焦激光掃描顯微鏡的分辨率比普通顯微鏡的分辨率高。系統(tǒng)經(jīng)一次調(diào)焦,將掃描限制在樣品的一個(gè)平面內(nèi)。調(diào)焦深度不一樣時(shí),可以獲得樣品不同深度層次的圖像。這些圖像信息都儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)內(nèi),通過計(jì)算機(jī)重新組合,就能顯示細(xì)胞樣品的立體結(jié)構(gòu),給出細(xì)胞內(nèi)各部分之間的定量關(guān)系及各種結(jié)構(gòu)信息。這項(xiàng)技術(shù)廣泛用于細(xì)胞內(nèi)生化成分的定量、鈣離子的分布、光密度統(tǒng)計(jì)及細(xì)胞形態(tài)的定量研究。 三、激光技術(shù)對(duì)物理學(xué)發(fā)展的促進(jìn)作用 激光技術(shù)對(duì)物理學(xué)的發(fā)展有極大的促進(jìn)作用[8]。超精細(xì)程度可以進(jìn)行超快光譜分析,同時(shí)把相干性和非線性引入光譜分析,也使得光譜分析用的光源波長(zhǎng)可調(diào)諧。 (一)激光計(jì)量技術(shù) 在計(jì)量基準(zhǔn)中引入激光技術(shù)。1889年,國際計(jì)量大會(huì)將米原器定為長(zhǎng)度基準(zhǔn);1960年,改為氪(Kr)-86燈,精度提高100倍;1983年,又改為穩(wěn)頻激光器的頻率,精度再提高一倍。現(xiàn)在已用激光來定義時(shí)間和質(zhì)量自然基準(zhǔn),還有可能用激光技術(shù)來定義溫度、光度等物理量的基準(zhǔn)。 (二)非線性科學(xué)的發(fā)展 在熟悉的反射、折射、吸收等光學(xué)現(xiàn)象中,反射光、折射光的強(qiáng)度與入射光的強(qiáng)度成正比,這類現(xiàn)象被稱為線性光學(xué)現(xiàn)象。非線性光學(xué)現(xiàn)象雖然早就被發(fā)現(xiàn),但是非線性光學(xué)發(fā)展成為今天這樣一門重要學(xué)科是從激光出現(xiàn)后才開始的。激光介入后,人們迅速發(fā)現(xiàn)了大量非線性光學(xué)效應(yīng)。非線性光學(xué)效應(yīng)研究從固體擴(kuò)展到氣體、原子蒸氣、液體、液晶等,由二階效應(yīng)發(fā)展到三階、五階乃至更高階效應(yīng),同時(shí)研制出各種非線性晶體、有機(jī)非線性材料和非線性光學(xué)元器件。這些效應(yīng)只有在入射光的強(qiáng)度足夠大時(shí)才會(huì)出現(xiàn)。高功率激光發(fā)明后,在激光與物質(zhì)相互作用中觀察到的非線性光學(xué)現(xiàn)象有頻率變換、拉曼頻移、布里淵散射和自聚焦等[9]。 (三)激光全息術(shù) 全息術(shù)是1947年底伽博(Gabor)為了提高電子顯微鏡分辨率而提出的設(shè)想,并于次年用汞燈首次獲得了全息圖及其再現(xiàn)像。1971年,他因此獲得了諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。然而,由于光源相干性的限制,全息術(shù)在20世紀(jì)50年代進(jìn)入低潮。激光的出現(xiàn)為全息術(shù)的發(fā)展開辟了廣闊前景。如今,全息術(shù)已在三維圖像存儲(chǔ)和再現(xiàn)、防偽、檢測(cè)、干涉量度等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,全息存儲(chǔ)也呈現(xiàn)美好前景,全息光學(xué)元件被廣泛使用。 激光還在物理學(xué)與其他基礎(chǔ)科學(xué)的交叉學(xué)科(如化學(xué)物理學(xué)、生物物理學(xué))研究中發(fā)揮了巨大的推動(dòng)作用[10]。以激光為手段的分子雷達(dá)成為生命活細(xì)胞研究的工具等。 (四)激光測(cè)距技術(shù)助力對(duì)地球和宇宙空間的研究 超遠(yuǎn)程高精度激光測(cè)距使測(cè)距方法更先進(jìn)、準(zhǔn)確、快速。利用高精度測(cè)距儀,人們積累了大量數(shù)據(jù),用于改進(jìn)地球重力場(chǎng)模型,研究地球大陸板塊漂移、極移、固體潮,還用于研究宇宙膨脹過程中內(nèi)在重力是否減弱;在月

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