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折射衍射微光學結構的單步光刻與濕法蝕刻原理與應用

包郵 折射衍射微光學結構的單步光刻與濕法蝕刻原理與應用

出版社:國防工業出版社出版時間:2021-10-01
開本: 其他 頁數: 211
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折射衍射微光學結構的單步光刻與濕法蝕刻原理與應用 版權信息

  • ISBN:9787118122848
  • 條形碼:9787118122848 ; 978-7-118-12284-8
  • 裝幀:一般膠版紙
  • 冊數:暫無
  • 重量:暫無
  • 所屬分類:>

折射衍射微光學結構的單步光刻與濕法蝕刻原理與應用 內容簡介

本書主要針對可見光、紅外、太赫茲等譜域的折射與衍射微光學結構,開展新的設計、工藝制作和測試評估方法研究。重點論述了以折射和衍射微光學積分變換為基礎,有效出射可見光、紅外及太赫茲多譜圖像與波前的基礎理論和基本方法,建立了基于衍射相位精細構建在設計、仿真、工藝、測試與評估等方面的數據和方法體系。

折射衍射微光學結構的單步光刻與濕法蝕刻原理與應用 目錄

第1章 光波衍射積分變換的基礎理論與基本方法
1.1 光衍射圖像生成
1.2 衍射微光學結構
1.3 設計實例
1.4 小結

第2章 衍射微光學圖像生成與發射結構
2.1 單步光刻與硅KOH濕法蝕刻
2.2 可見光圖像發射效能評估
2.3 小結

第3章 折射微光學波前出射結構
3.1 問題與挑戰
3.2 折射微光學波前出射結構的工藝制作方法
3.3 可見光譜域光學性能測試與評估
3.4 小結

第4章 相干光波的衍射整形與頻譜空間分離
4.1 基礎理論與基本方法
4.2 常規近場與遠場衍射積分變換
4.3 衍射結構設計算法
4.4 基于遠場衍射的頻譜空間分離
4.5 準連續相位分布的衍射微光學結構
4.5.1 光程差算法
4.5.2 GS算法
4.5.3 模擬退火算法
4.5.4 時域有限差分法
4.5.5 基于角譜的串行迭代算法
4.6 衍射微光學結構設計
4.7 毫米級近場的衍射積分變換
4.8 小結

第5章 構建衍射微光學結構執行復雜光束變換
5.1 衍射相位結構
5.2 硅的各向異性KOH濕法蝕刻
5.3 測試與分析
5.4 具有準連續相位分布的衍射微光學波前結構
5.5 衍射微光學遠場光束整形
5.5.1 單步電子束曝光
5.5.2 測試、分析與討論
5.6 適用于毫米級近場光束整形的衍射微光學結構
5.6.1 關鍵工藝流程
5.6.2 特征屬性表征與測試
5.6.3 常規光學性能測試與評估
5.7 小結

第6章 太赫茲圖像的光衍射發射
6.1 太赫茲波衍射相位結構與光刻版圖
6.2 硅基太赫茲波衍射相位結構濕法蝕刻
6.3 典型特征評估
6.4 衍射相位結構設計與實現
6.4.1 KOH濕法蝕刻
6.4.2 測試、討論與分析
6.5 小結
……

第7章 紅外與太赫茲波衍射微光學波前結構
第8章 硅基非球面光學折射結構

參考文獻
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折射衍射微光學結構的單步光刻與濕法蝕刻原理與應用 作者簡介

張新宇,華中科技大學教授,博士生導師,主要從事微光學理論和器件、光學探測以及微制作技術方面的研究工作,多年來發表論文100余篇,獲批專利50余項,出版著作1部,承擔多項國防科研項目。 謝長生,武漢光電國家實驗室教授,博士生導師,主要從事光電技術與光存儲方面的研究工作,發表論文100余篇,獲得國家發明專利20余項。

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