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半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD 實用教程 版權信息
- ISBN：9787302354314
- 條形碼：9787302354314 ; 978-7-302-35431-4
- 裝幀：一般膠版紙
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD 實用教程 內容簡介
為了滿足半導體工藝和器件及其相關領域人員對計算機仿真知識的需求，幫助其掌握當前先進的計算機仿真工具，特編寫《半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程（附光盤）》。 《半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程（附光盤）》以SilvacoTCAD2012為背景，由淺入深、循序漸進地介紹了SilvacoTCAD器件仿真基本概念、Deckbuild集成環境、Tonyplot顯示工具、ATHENA工藝仿真、ALTAS器件仿真、MixedMode器件一電路混合仿真以及C注釋器等高級工具。 《半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程（附光盤）》內容豐富、層次分明、突出實用性，注重語法的學習，例句和配圖非常豐富；所附光盤含有書中具有獨立仿真功能的例句的完整程序、教學PPT和大量學習資料。 讀者借助《半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程（附光盤）》的學習可以實現快速入門，且能深入理解TCAD的應用。 《半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD實用教程（附光盤）》既可以作為高等學校微電子或電子科學與技術專業高年級本科生和研究生的教材，也可供相關專業的工程技術人員學習和參考。
半導體工藝和器件仿真軟件Silvaco TCAD 實用教程 目錄
第1章 仿真基礎
1．1 TCAD
1．1．1 數值計算
1．1．2 基于物理的計算
1．2 SilvacoTCAD
1．2．1 主要組件
1．2．2 目錄結構
1．2．3 文件類型
1．3 Deckbuild
1．3．1 Deckbuild Preferences
1．3．2 語法格式
1．3．3 go
1．3．4 set
1．3．5 Tonyplot
1．3．6 extract
1．4 學習方法
思考題與習題
第2章 二維工藝仿真
2．1 ATHENA概述
2．2 工藝仿真流程
2．2．1 定義網格
2．2．2 襯底初始化
2．2．3 工藝步驟
2．2．4 提取特性
2．2．5 結構操作
2．2．6 Tonyplot顯示
2．3 單項工藝
2．3．1 離子注入
2．3．2 擴散
2．3．3 淀積
2．3．4 刻蝕
2．3．5 外延
2．3．6 拋光
2．3．7 光刻
2．3．8 硅化物
2．3．9 電極
2．3．10 幫助
2．4 集成工藝
2．5 優化
2．5．1 優化設置
2．5．2 待優化參數
2．5．3 優化目標
2．5．4 優化結果
思考題與習題
……
第3章 二維器件仿真
第4章 器件-電路混合仿真
第5章 高級特性
參考文獻
1．1 TCAD
1．1．1 數值計算
1．1．2 基于物理的計算
1．2 SilvacoTCAD
1．2．1 主要組件
1．2．2 目錄結構
1．2．3 文件類型
1．3 Deckbuild
1．3．1 Deckbuild Preferences
1．3．2 語法格式
1．3．3 go
1．3．4 set
1．3．5 Tonyplot
1．3．6 extract
1．4 學習方法
思考題與習題
第2章 二維工藝仿真
2．1 ATHENA概述
2．2 工藝仿真流程
2．2．1 定義網格
2．2．2 襯底初始化
2．2．3 工藝步驟
2．2．4 提取特性
2．2．5 結構操作
2．2．6 Tonyplot顯示
2．3 單項工藝
2．3．1 離子注入
2．3．2 擴散
2．3．3 淀積
2．3．4 刻蝕
2．3．5 外延
2．3．6 拋光
2．3．7 光刻
2．3．8 硅化物
2．3．9 電極
2．3．10 幫助
2．4 集成工藝
2．5 優化
2．5．1 優化設置
2．5．2 待優化參數
2．5．3 優化目標
2．5．4 優化結果
思考題與習題
……
第3章 二維器件仿真
第4章 器件-電路混合仿真
第5章 高級特性
參考文獻
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