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電子材料與器件實驗教程 版權信息
- ISBN：9787560640440
- 條形碼：9787560640440 ; 978-7-5606-4044-0
- 裝幀：暫無
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
電子材料與器件實驗教程 本書特色
本書是電子科學與技術專業和微電子專業的實驗教材，內容包括半導體材料與器件的制備、測試、分析等四十三個實驗。按照實驗內容，全部實驗被分為半導體材料與器件的制備技術(實驗一至實驗十)、半導體材料電子顯微分析技術(實驗十一至實驗十七)、半導體材料基本物理性能參數測試(實驗十八至實驗三十五)、半導體器件性能測試(實驗三十六至實驗四十三)四個模塊，各模塊均包含驗證性實驗、綜合性實驗和設計性實驗三種類型的實驗，以適應不同專業層次實驗教學的需求。 本書可作為電子科學與技術專業及微電子專業本科生和研究生實驗教材， 也可以作為相關專業技術人員的參考書。
電子材料與器件實驗教程 內容簡介
本書是電子科學與技術專業和微電子專業的實驗教材，內容包括半導體材料與器件的制備、測試、分析等四十三個實驗。按照實驗內容，全部實驗被分為半導體材料與器件的制備技術(實驗一至實驗十)、半導體材料電子顯微分析技術(實驗十一至實驗十七)、半導體材料基本物理性能參數測試(實驗十八至實驗三十五)、半導體器件性能測試(實驗三十六至實驗四十三)四個模塊，各模塊均包含驗證性實驗、綜合性實驗和設計性實驗三種類型的實驗，以適應不同專業層次實驗教學的需求。 本書可作為電子科學與技術專業及微電子專業本科生和研究生實驗教材， 也可以作為相關專業技術人員的參考書。
電子材料與器件實驗教程 目錄
實驗一 溶膠-凝膠法制備ZnO薄膜和粉體材料 1
實驗二 水熱法制備ZnO納米功能材料 6
實驗三 溶劑熱法制備Fe3O4磁性材料 9
實驗四 ZnO半導體陶瓷的制備 12
實驗五 微波合成法制備ZnO納米功能材料 16
實驗六 熱絲CVD法制備金剛石薄膜 19
實驗七 磁控濺射法制備SnO2薄膜 22
實驗八 氨化法制備GaN粉體及薄膜材料 26
實驗九 絲網印刷工藝 30
實驗十 真空鍍膜及電極制備 33
實驗十一 電子材料的X射線衍射(XRD)測試 39
實驗十二 電子材料的掃描電子顯微鏡(SEM)測試 42
實驗十三 電子材料的透射電子顯微鏡(TEM)測試 46
實驗十四 電子材料的原子力顯微鏡(AFM)測試 54
實驗十五 電子材料的X射線光電子能譜(XPS)分析 58
實驗十六 電子材料的拉曼譜(RAMAN)測試 63
實驗十七 電子材料的俄歇譜(AES)測試 68
實驗十八 半導體材料晶面的光學定向 73
實驗十九 腐蝕金相法顯示與測量單晶缺陷 78
實驗二十 橢偏法測量薄膜厚度 83
實驗二十一 四探針法測量半導體電阻率和薄層電阻 90
實驗二十二 半導體材料霍爾系數的測量 98
實驗二十三 高頻C-V法測量半導體表面層的雜質濃度 102
實驗二十四 表面光電壓法測量硅中少子擴散長度 106
實驗二十五 高頻光電導衰退法測量硅(鍺)單晶少子壽命 110
實驗二十六 光電導法測量硅單晶材料的禁帶寬度 113
實驗二十七 深能級瞬態譜法測量硅中深能級中心 116
實驗二十八 金屬-半導體接觸勢壘高度的測量 118
實驗二十九 半導體材料的電磁性能及反射率測試 121
實驗三十 半導體材料場發射特性測試 126
實驗三十一 半導體材料的光致發光性能測試 130
實驗三十二 半導體材料載流子濃度和霍爾遷移率的測試 132
實驗三十三 半導體薄膜消光系數和透射率的測試 138
實驗三十四 電子材料比表面積測試 142
實驗三十五 電子材料密度測量 146
實驗三十六 PN結的溫度特性研究 149
實驗三十七 PN結結深的測量 153
實驗三十八 半導體光敏二極管的光譜特性研究 156
實驗三十九 晶體管直流參數對電路性能的影響 161
實驗四十 半導體壓力傳感器參數測試 167
實驗四十一 壓敏電阻的特性測試 173
實驗四十二 半導體氣體傳感器性能測試 177
實驗四十三 晶閘管特性測試 182
附錄一 數據處理 187
附錄二 常用基本物理常數表 193
附錄三 幾種常見半導體材料的物理性能參數 195
附錄四 硅的消光距離 196
附錄五 如何定量描述偏離度 197
附錄六 用陽極氧化去層法求擴散層中雜質濃度分布 198
參考文獻 200
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