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微機械電子系統及其應用-(第2版) 版權信息
- ISBN：9787512414518
- 條形碼：9787512414518 ; 978-7-5124-1451-8
- 裝幀：一般膠版紙
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
微機械電子系統及其應用-(第2版) 本書特色
微機械電子系統及期應用（第2版）在**版的基礎上，結合近年相關專業技術、理論的*新發展和編者近幾年研究工作的成果，主要介紹當今微機電系統的內容、應用及其發展，內容包括微機電系統的組成和應用、微機電系統材料、微機械制造技術、微機械執行器、微機械傳感器及微機械弱信號檢測與處理。 全書內容豐富、圖文恰當、新穎實用，可作為普通高校大學本科高年級大學生和有關專業研究生的教材，也可供從事mems/nems技術的科技人員參考。
微機械電子系統及其應用-(第2版) 內容簡介
微機械電子系統及期應用（第2版）在**版的基礎上，結合近年相關專業技術、理論的*新發展和編者近幾年研究工作的成果，主要介紹當今微機電系統的內容、應用及其發展，內容包括微機電系統的組成和應用、微機電系統材料、微機械制造技術、微機械執行器、微機械傳感器及微機械弱信號檢測與處理。 全書內容豐富、圖文恰當、新穎實用，可作為普通高校大學本科高年級大學生和有關專業研究生的教材，也可供從事MEMS/NEMS技術的科技人員參考。
微機械電子系統及其應用-(第2版) 目錄
第1章微機電系統的組成和應用
1.1引言
1.2微機電系統的特征
1.3微機電系統的材料和制造技術
1.4微機電系統的測量技術
1.5微機電系統的應用
1.5.1在航空航天方面的應用
1.5.2在生物醫學方面的應用
1.5.3在微流量系統方面的應用
1.5.4在掃描探針顯微術方面的應用
1.5.5在信息科學方面的應用
1.5.6在微光學方面的應用
1.6結語
思 考 題
第2章微機電系統材料
2.1概述
2.2硅及其化合物材料
2.2.1單晶硅
2.2.2多晶硅
2.2.3硅藍寶石
2.2.4碳化硅
2.2.5氧化硅和氮化硅
2.3化合物半導體材料
2.4光導纖維
2.5熔凝石英
2.6金剛石材料
2.7壓電材料
2.7.1壓電效應（電致伸縮效應）
2.7.2壓電石英晶體
2.7.3壓電陶瓷
2.7.4聚偏二氟乙烯薄膜
2.7.5zno壓電薄膜
2.7.6壓電自感知驅動器
2.8磁致伸縮材料
2.9形狀記憶合金
2.10膨脹合金
2.10.1鐵鎳低膨脹系數合金（4j36）
2.10.2鐵、鎳、鈷玻璃封接合金（4j29）
2.10.3鐵、鎳、鈷瓷封合金（4j33）
2.11幾種通用金屬材料
2.12超導材料
2.13納米相材料
思 考 題
第3章微機械制造技術
3.1概述
3.2硅微機械制造技術
3.2.1表面微加工技術
3.2.2體型微加工技術
3.3liga技術和sliga技術
3.3.1liga技術
3.3.2sliga技術
3.4固相鍵合技術
3.4.1技術要求
3.4.2鍵合方法
3.5特種加工技術
3.5.1激光加工技術
3.5.2電子束加工技術
3.6納米結構（器件）制造工藝方法簡述
3.6.1引言
3.6.2納米結構新工藝技術探討
思 考 題
第4章微機械執行器
4.1概述
4.2微電機
4.2.1靜電力驅動變電容式微電機
4.2.2靜電驅動諧波式微電機
4.2.3電懸浮微電機
4.3微泵和微閥
4.3.1微流量控制系統
4.3.2微型泵
4.4梳狀微諧振器
4.4.1梳狀微諧振器的結構和工作原理
4.4.2諧振梳彈性系統的固有頻率
思 考 題
第5章微機械硅電容式傳感器
5.1概述
5.2集成式硅電容壓力傳感器
5.2.1原理結構
5.2.2方膜片的小撓度近似計算
5.2.3檢測電路
5.2.4硅電容式集成壓力傳感器的接口電路
5.3力平衡式硅電容加速度傳感器
5.3.1擺式結構脈寬調制靜電力平衡式加速度傳感器
5.3.2梳齒結構靜電力平衡式加速度傳感器
5.4電子隧道效應加速度傳感器
5.4.1電子隧道效應
5.4.2力平衡式隧道加速度傳感器
思 考 題
第6章微機械硅諧振式傳感器
6.1概述
6.2硅諧振式傳感器的物理機制
6.2.1測量原理
6.2.2品質因數
6.2.3諧振梁的微分方程
6.3激勵和檢測機制
6.3.1靜電激勵與電容檢測
6.3.2電熱激勵與壓敏電阻檢測
6.3.3光熱激勵與光纖檢測
6.3.4電磁激勵與檢測
6.3.5壓電激勵與檢測
6.4硅諧振式傳感器
6.4.1硅諧振梁式壓力傳感器
6.4.2硅諧振式加速度傳感器
6.4.3硅諧振式角速率傳感器
6.4.4諧振式碳納米管質量傳感器
思 考 題
第7章微機械弱信號檢測與處理
7.1概述
7.2微弱信號檢測技術
7.2.1濾波技術
7.2.2開關電容技術
7.2.3頻域信號的相關檢測技術
7.2.4鎖相環理論
7.2.5時域信號的取樣平均技術
7.2.6抗干擾的技術措施
思 考 題
參考文獻
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