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微機電系統設計-建模、仿真與可視化 版權信息
- ISBN：9787030292209
- 條形碼：9787030292209 ; 978-7-03-029220-9
- 裝幀：暫無
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
微機電系統設計-建模、仿真與可視化 本書特色
《半導體科學與技術叢書》將致力于反映半導體學科各個領域的基本內容和*新進展，力求覆蓋較廣闊的前沿領域，展望該專題的發展前景，包括半導體物理、材料、器件、電路等方面的進展和所開展的工作。
本書為其中一冊，建立了一種微電子機械器件的設計方法，可供微電子機械設計人員參考使用，也可作為相關專業高年級本科生和研究生的專業課教材和學習參考書。
微機電系統設計-建模、仿真與可視化 內容簡介
本書建立了一種微電子機械器件的設計方法，對現有設計系統功能作了一些重要的補充和完善，其基本思路是在設計階段，當版圖和工藝設計完成后，通過建立運動部件的動態模型，進行三維可視化仿真，形成器件在虛擬環境中運行，從而對器件的運動功能進行評測。這種功能主要體現在：應用三維可視化技術得到器件加工后的三維實體模型和進行可加工性驗證；對此實體模型進行動態建模，并進行虛擬運行，以考察其運動性能：建立基于ip庫的設計系統，提供了一種自頂向下和自底向上相結合的設計手段。系統是開放的，各種功能都有延伸發展的空間。
本書可供微電子機械設計人員參考使用，也可作為相關專業高年級本科生和研究生的專業課教材和學習參考書。
微機電系統設計-建模、仿真與可視化 目錄
前言
第1章 緒論
1.1 mems發展歷史的簡要回顧
1.2 mems應用一瞥
1.2.1 傳感微系統
1.2.2 微執行器
1.2.3 信息微系統
1.2.4 生物微系統
1.2.5 軍事用mems器件
1.3 mems設計現狀概述
1.3.1 系統級仿真
1.3.2 器件級仿真
1.3.3 工藝級仿真
1.4 當前mems設計存在的問題及其解決途徑
1.4.1 mems與ic的差別及其對設計的影響
第1章 緒論
1.1 mems發展歷史的簡要回顧
1.2 mems應用一瞥
1.2.1 傳感微系統
1.2.2 微執行器
1.2.3 信息微系統
1.2.4 生物微系統
1.2.5 軍事用mems器件
1.3 mems設計現狀概述
1.3.1 系統級仿真
1.3.2 器件級仿真
1.3.3 工藝級仿真
1.4 當前mems設計存在的問題及其解決途徑
1.4.1 mems與ic的差別及其對設計的影響
展開全部
微機電系統設計-建模、仿真與可視化 節選
《微機電系統設計:建模、仿真與可視化》建立了一種微電子機械器件的設計方法，對現有設計系統功能作了一些重要的補充和完善，其基本思路是在設計階段，當版圖和工藝設計完成后，通過建立運動部件的動態模型，進行三維可視化仿真，形成器件在虛擬環境中運行，從而對器件的運動功能進行評測。這種功能主要體現在：應用三維可視化技術得到器件加工后的三維實體模型和進行可加工性驗證；對此實體模型進行動態建模，并進行虛擬運行，以考察其運動性能；建立基于IP庫的設計系統，提供了一種自頂向下和自底向上相結合的設計手段。系統是開放的，各種功能都有延伸發展的空間！段C電系統設計:建模、仿真與可視化》可供微電子機械設計人員參考使用，也可作為相關專業高年級本科生和研究生的專業課教材和學習參考書。
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