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  • 包郵套裝-半導體干法刻蝕技術+半導體干法刻蝕技術 原子層工藝 全2冊

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    《半導體干法刻蝕技術（原書第2版）》是一本全面系統的干法刻蝕技術論著。針對干法刻蝕技術，在內容上涵蓋了從基礎知識到近期新技術，使初學者能夠了解干法刻蝕的機理，而無需復雜的數值公式或方程。《半導體干法刻蝕技術（原書第2版）》不僅介紹了半導體器件中所涉及材料的刻蝕工藝，而且對每種材料的關鍵刻蝕參數、對應的等離子體源和刻蝕氣體化學物質進行了詳細解釋。《半導體干法刻蝕技術（原書第2版）》討論了具體器件制造流程中涉及的干法刻蝕技術，介紹了半導體

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