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關(guān)于“[日]關(guān)口淳”檢索到 共1種現(xiàn)貨商品
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包郵光刻膠材料評(píng)測(cè)技術(shù)-從酚醛樹脂光刻膠到最新的EUV光刻膠
¥142.6(7.2折)定價(jià):¥198.0光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一，在模擬半導(dǎo)體、發(fā)光二極管、微機(jī)電系統(tǒng)、太陽(yáng)能光伏、微流道和生物芯片、光電子器件/光子器件中都有重要的應(yīng)用。本書從光刻技術(shù)基礎(chǔ)知識(shí)出發(fā)，系統(tǒng)介紹了多種類型光刻膠應(yīng)用工藝、評(píng)測(cè)技術(shù)。具體包括光刻膠涂布、曝光工藝、曝光后烘烤和顯影技術(shù)，以及g線和i線光刻膠、KrF和ArF光刻膠、ArF浸沒式光刻膠、EUV光刻膠等的特征、應(yīng)用工藝及評(píng)測(cè)技術(shù)，希望對(duì)國(guó)內(nèi)的研究人員有很好的啟發(fā)和指導(dǎo)意義...
