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  • 包郵微電子制造技術實驗教程

    王姝婭，戴麗萍等  /  2015-06-01  /  科學出版社
    ¥21.9(7.6折)定價:¥29.0

    本教材《微電子制造技術實驗教材》是針對微電子相關專業的本科生的實驗動手能力培養而編寫的。本書涵蓋了所有微電子制造及集成的基礎知識和基礎實驗。包括硅片清洗、氧化、擴散、離子注入、光刻、濕法及干法刻蝕、薄膜沉積、物理測試、化學測試等基礎知識和實驗，同時介紹了二級管、三極管、電阻器、CMOS管等器件制造的綜合性實驗。本書的重點在于培養學生的動手能力，注重實驗的操作...

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