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壓電薄膜體聲波諧振器及濾波器設(shè)計
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壓電薄膜體聲波諧振器及濾波器設(shè)計 版權(quán)信息
- ISBN：9787122474636
- 條形碼：9787122474636 ; 978-7-122-47463-6
- 裝幀：暫無
- 冊數(shù)：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：
壓電薄膜體聲波諧振器及濾波器設(shè)計 內(nèi)容簡介
本書主要講述壓電薄膜體聲波諧振器(Film Bulk Acoustic Resonators，F(xiàn)BAR)的工作原理，推導(dǎo)FBAR 的電學(xué)阻抗表達(dá)式，由此構(gòu)建其Mason 模型，對其底電極、頂電極、壓電層的結(jié)構(gòu)參數(shù)，以及有效諧振面積對器件諧振頻率的影響進(jìn)行模擬仿真與驗證，并針對FBAR 的溫度漂移提出有效的溫度補償措施；其次介紹FBAR 的二維與三維建模過程，利用有限元分析法研究FBAR 的電極形狀、面積及器件結(jié)構(gòu)對諧振模態(tài)的影響，并從有限元分析中提取相關(guān)損耗參數(shù)，修正和提高M(jìn)ason 電學(xué)模型的精度；*后分析FBAR 濾波器的工作原理，從濾波器的級聯(lián)方式、串并聯(lián)FBAR 的有效諧振面積比、濾波器的級聯(lián)階數(shù)等方面進(jìn)行研究，給出FBAR 濾波器優(yōu)化設(shè)計過程。 本書可以作為從事FBAR 器件研究與設(shè)計，特別是FBAR 濾波器設(shè)計人員、微電子工程技術(shù)人員的參考用書，也可以作為相關(guān)專業(yè)研究生的參考用書。
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