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KDP軟脆功能晶體水溶解超精密拋光加工原理 版權信息
- ISBN：9787030733818
- 條形碼：9787030733818 ; 978-7-03-073381-8
- 裝幀：平裝
- 冊數(shù)：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
KDP軟脆功能晶體水溶解超精密拋光加工原理 內容簡介
本書針對我國核能源和國防領域對磷酸二氫鉀（potassium dihydrogen phosphate，KDP）軟脆功能晶體近無損傷超精密加工技術的迫切需求，以及KDP晶體易潮解、脆性大、各向異性強等難加工特性給其超精密加工帶來的極大挑戰(zhàn)，創(chuàng)新提出了水溶解超精密拋光加工原理。本書系統(tǒng)地介紹了KDP晶體的結構特性、彈塑性力學性能與損傷規(guī)律，闡明了KDP晶體微納潮解材料去除機理和可控水溶解超精密加工原理、工藝方法，并給出了加工案例。本書不僅向讀者介紹了一種先進的KDP晶體超精密拋光加工新技術，還向讀者提供了一個將“潮解”這一有害的自然現(xiàn)象轉化為有用的超精密加工技術手段的成功案例。
KDP軟脆功能晶體水溶解超精密拋光加工原理 目錄
目錄序前言1易潮解軟脆功能晶體材料及其應用11.1易潮解軟脆功能晶體的定義和分類11.2易潮解軟脆功能晶體材料的應用11.2.1幾種常見的易潮解軟脆功能晶體材料11.2.2KDP晶體的結構性質31.2.3KDP晶體的主要應用41.2.4ICF系統(tǒng)對光學元件加工的要求61.3幾種常見的易潮解軟脆功能晶體加工方法概述71.3.1KDP晶體加工工藝流程概述81.3.2單點金剛石車削技術91.3.3超精密磨削技術101.3.4磁流變修形技術111.3.5離子束修形技術121.4易潮解軟脆功能晶體超精密加工面臨的挑戰(zhàn)13參考文獻142KDP晶體的結構特點和潮解規(guī)律192.1KDP晶體的結構、物理性質和化學性質192.1.1KDP晶體的結構192.1.2KDP晶體的物理性質222.1.3KDP晶體的化學性質232.2KDP晶體的潮解現(xiàn)象與潮解表征252.2.1KDP晶體的潮解現(xiàn)象252.2.2潮解產物成分的預測與分析262.2.3潮解產物晶體類型分析282.2.4KDP晶體的潮解表征292.2.5潮解程度的評價方法與評價指標312.3環(huán)境條件對KDP晶體潮解速度的影響332.3.1溫度對KDP晶體潮解速度的影響342.3.2相對濕度對KDP晶體潮解速度的影響352.3.3表面質量對KDP晶體潮解速度的影響36參考文獻373KDP晶體彈塑性力學性能與損傷規(guī)律383.1KDP晶體彈性力學性能的理論分析383.1.1KDP晶體彈性模量理論分析383.1.2KDP晶體剪切模量理論分析403.2KDP晶體塑性力學性能的壓痕試驗與分析423.2.1納米壓痕試驗423.2.2壓痕尺寸效應分析443.2.3不同壓頭形狀對納米硬度的影響503.2.4壓痕加載位移*線分析513.2.5壓痕表面形貌分析543.2.6各向異性對納米硬度和彈性模量的影響553.3材料的各向異性對微納劃痕結果的影響583.3.1KDP晶體在納米尺度下的變形和摩擦學特性試驗分析583.3.2KDP晶體在微米尺度下的變形和摩擦學特性試驗分析663.4KDP晶體壓痕斷裂試驗與結果分析713.4.1KDP晶體壓痕斷裂試驗方法723.4.2維氏硬度壓痕尺寸效應和各向異性試驗研究723.4.3斷裂韌性試驗分析75參考文獻824基于微乳液的KDP晶體水溶解材料去除原理與平坦化機制854.1KDP晶體水溶解拋光原理854.2微乳液及其性能表征874.2.1微乳液的結構874.2.2微乳液基載液的優(yōu)選894.2.3表面活性劑的優(yōu)選904.2.4微乳液的配制914.2.5電導率表征954.2.6黏度表征984.2.7自擴散特性表征994.2.8水分子微囊尺寸表征1034.3基于微乳液的KDP晶體水溶解拋光機理分析1054.3.1材料去除模型的建立1054.3.2材料去除機理試驗驗證1074.3.3材料去除機理試驗結果與分析1094.3.4拋光前后晶體表面化學成分分析1154.4工藝條件和參數(shù)對KDP晶體拋光效果影響的試驗與分析1174.4.1工藝條件對KDP晶體水溶解拋光效果的影響1174.4.2拋光墊對加工過程的影響1184.4.3不同晶面的KDP晶體材料去除率和表面形貌對比1194.4.4拋光液對KDP晶體材料去除率和表面形貌的影響1214.4.5拋光加工參數(shù)對KDP晶體材料去除率和表面形貌的影響1244.4.6KDP晶體水溶解拋光后面形精度131參考文獻1325KDP晶體可控溶解原理及材料去除與平坦化機制1345.1KDP晶體可控溶解的概念1345.1.1晶體的結晶與溶解1345.1.2晶體的生長與逆生長1375.1.3KDP晶體可控溶解加工方法的提出1395.2KDP晶體可控溶解拋光機理1405.2.1KDP晶體材料可控去除機理1405.2.2實現(xiàn)材料可控去除加工的裝置1405.3可控溶解環(huán)境對材料去除率的影響1415.3.1試驗條件及參數(shù)設定1415.3.2KDP溶液濃度對可控溶解材料去除率的影響1425.3.3KDP溶液溫度對可控溶解材料去除率的影響1435.3.4環(huán)境相對濕度對可控溶解材料去除率的影響1445.3.5KDP溶液流動性對可控溶解材料去除率的影響1445.4可控溶解表面平坦化機制1475.4.1KDP晶體表面微觀形貌的平坦化模型1475.4.2可控溶解中拋光墊對表面平坦化過程的協(xié)同作用1505.5工藝參數(shù)對KDP晶體可控溶解拋光效果的影響1515.5.1拋光墊對KDP晶體可控溶解拋光效果的影響1525.5.2不同晶面的逆生長拋光效果1545.5.3可控溶解拋光液對晶體拋光效果的影響1575.5.4拋光加工參數(shù)對表面形貌及材料去除率的影響1615.5.5KDP晶體可控溶解拋光后的面形誤差1695.5.6基于濃度調控策略的可控溶解拋光工藝初探169參考文獻1716KDP晶體小磨頭超精密數(shù)控拋光軌跡規(guī)劃與工藝1736.1KDP晶體水溶解超精密數(shù)控拋光試驗系統(tǒng)與設備1736.2水溶解拋光材料去除函數(shù)的建立1746.3材料去除函數(shù)若干系數(shù)的試驗修正1786.3.1試驗條件及去除函數(shù)檢測方法1786.3.2拋光液含水量對去除函數(shù)系數(shù)的影響1786.3.3行星運動公轉自轉方向對去除函數(shù)系數(shù)的影響1806.3.4拋光過程中溫度變化對去除函數(shù)系數(shù)的影響1846.3.5拋光轉速對去除函數(shù)系數(shù)的影響1876.3.6拋光壓強對去除函數(shù)系數(shù)的影響1886.3.7常系數(shù)K的試驗測定1906.3.8基于水溶解原理的KDP晶體超精密數(shù)控拋光去除穩(wěn)定性分析1926.4小磨頭數(shù)控超精密拋光駐留時間函數(shù)的確定1976.4.1駐留時間求解1976.4.2三種常用拋光軌跡分析2006.4.3三種常用拋光軌跡加工效果對比2026.5工藝條件和參數(shù)對拋光結果的影響規(guī)律2046.5.1試驗方法及條件2046.5.2不同拋光墊加工效果分析及優(yōu)選2076.5.3拋光設備運動參數(shù)對表面粗糙度RMS的影響2086.6KDP晶體單點金剛石車削表面紋理消減試驗與技術驗證2136.6.1車削樣件分析2136.6.2去除函數(shù)及拋光軌跡2156.6.3去除效果分析2176.6.4拋光后晶體表面功率譜密度分析220參考文獻2237大尺寸KDP晶體超精密水溶解環(huán)形拋光工藝2257.1超精密水溶解環(huán)形拋光方法概述2257.2超精密水溶解環(huán)形拋光水核運動模型2267.3機床運動形式對拋光軌跡均勻性影響的仿真分析2287.4拋光墊表面溝槽結構對軌跡均勻性影響的仿真分析2327.5超精密水溶解環(huán)形拋光原理樣機及拋光試驗系統(tǒng)構建2367.5.1超精密水溶解環(huán)形拋光原理樣機2367.5.2拋光液多點可變位滴定裝置2387.5.3風淋裝置2407.5.4晶體夾持裝置2417.6工藝參數(shù)對KDP晶體環(huán)形拋光效果的影響2427.6.1不同表面溝槽拋光墊試驗2427.6.2不同轉速比試驗2437.6.3不同運動形式試驗2447.6.4*佳工藝參數(shù)下大尺寸KDP晶體雙面加工試驗246參考文獻2488KDP晶體水溶解拋光表面殘留物分析及清洗方法2508.1水溶解拋光表面殘留物對KDP晶體光學性能的影響2508.1.1表面殘留物對拋光表面質量的影響2508.1.2表面殘留物對晶體光學透過率的影響2538.1.3表面殘留物對激光損傷閾值的影響2548.1.4表面殘留物對鍍膜膜層的影響2578.2拋光后表面殘留物的性態(tài)及吸附機理分析2598.2.1拋光后表面殘留物的性態(tài)分析2598.2.2拋光后表面殘留物的吸附機理分析2688.3KDP晶體的清洗機理及清洗液的性能與表征2758.3.1表面殘留物的潤濕功計算2758.3.2表面殘留物的清洗機理分析2808.3.3清洗液的性能與表征2838.3.4清洗液的清洗性能研究2878.4拋光后表面清洗工藝的試驗與效果分析2908.4.1清洗工藝的提出2918.4.2清洗工藝的清洗原理分析2928.4.3清洗工藝的試驗驗證2958.4.4KDP晶體*優(yōu)清洗工藝的清洗效果分析3028.4.5新型全自動清洗裝置研制303參考文獻305索引307
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