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蜂窩狀壓電式微機械超聲波換能器設計及其應用研究 版權信息
- ISBN:9787522135755
- 條形碼:9787522135755 ; 978-7-5221-3575-5
- 裝幀:平裝
- 冊數:暫無
- 重量:暫無
- 所屬分類:>
蜂窩狀壓電式微機械超聲波換能器設計及其應用研究 本書特色
☆本書介紹了基于蜂窩狀結構的壓電式微機械超聲波換能器,采用仿生蜂窩狀排列的六邊形敏感單元,提高了陣列的填充率和靈敏度,為超聲波換能器領域帶來創新。 ☆本書詳細闡述了如何利用PMUT陣列開發高性能電子聽診器和水聽器系統,這些設備在心肺疾病篩查和水下聲學檢測中具有重要應用。 ☆本書不僅提供了蜂窩狀PMUT的理論模型和數值分析,還通過實驗驗證了模型的準確性,確保了設計的可靠性和實用性。 ☆本書對蜂窩狀PMUT的聲壓靈敏度、諧振頻率、電極尺寸等關鍵特性進行了全面分析,為設計優化提供了科學依據。 ☆本書介紹了使用JA-2S澆注聚氨酯作為封裝材料,實現了對蜂窩狀PMUT陣列的有效封裝,保證了其在實際應用中的穩定性和耐用性。 ☆本書融合了微機電系統(MEMS)技術、壓電材料科學和超聲工程等多個學科領域的*新研究成果,體現了跨學科研究的深度和廣度。 ☆本書提到的電子聽診器樣機在臨床上進行了測試,驗證了其在監測心肺功能障礙方面的有效性,為醫療設備的發展提供了新的方向。 ☆本書針對水聽器在不同溫度下的性能穩定性進行了測試,證明了其在5~70℃溫度范圍內的高可靠性,適用于多變的水下環境。 ☆本書詳細描述了基于CSOI工藝平臺制備蜂窩狀PMUT陣列的工藝流程,為實際生產提供了操作指南。 ☆本書在總結現有研究成果的基礎上,作者提出了未來研究的方向,包括新材料的摻雜研究、封裝材料和工藝的優化,以及心肺音疾病數據模型庫的建立,為后續研究者提供了思路。
蜂窩狀壓電式微機械超聲波換能器設計及其應用研究 內容簡介
本書重點通過對蜂窩狀PMUT數值模型的建立和等效電路等效模型推導, 建立蜂窩狀PMUT的特征參數表達式。依據得到的參數表達式結合有限元模型對蜂窩狀PMUT進行設計和工藝實現, 并將加工的蜂窩狀PMUT陣列進行高性能電子聽診器樣機開發和水聽器系統實現。
蜂窩狀壓電式微機械超聲波換能器設計及其應用研究 目錄
1.1 研究背景概述
1.2 超聲波換能器
1.2.1 電容式微機械超聲波換能器
1.2.2 壓電式微機械超聲波換能器
1.3 壓電式微機械超聲波換能器應用領域
1.4 本書的總體研究方案及內容安排
第 2 章 蜂窩狀PMUT 結構設計和特性分析
2.1 蜂窩狀PMUT 結構設計及工作原理
2.1.1 蜂窩狀 PMUT 結構設計
2.1.2 蜂窩狀 PMUT 工作原理
2.2 PMUT 壓電敏感層材料參數對比
2.3 蜂窩狀PMUT 敏感單元數值模型
2.3.1 振動薄膜位移函數
2.3.2 邊界條件
2.3.3 振動薄膜函數解析解
2.3.4 蜂窩狀 PMUT 敏感單元模型修正
2.3.5 蜂窩狀PMUT 敏感單元模型實驗驗證
2.4 蜂窩狀PMUT 敏感單元等效電路模型
2.4.1 蜂窩狀PMUT 敏感單元發射模式等效電路模型
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