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原子層沉積制造技術及生物傳感應用 版權信息
- ISBN：9787122451248
- 條形碼：9787122451248 ; 978-7-122-45124-8
- 裝幀：精裝
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
原子層沉積制造技術及生物傳感應用 本書特色
1.以實際案例作為切入點展開論述，貼近生活，可借鑒性強2.圖文并茂，數據詳實，結構模型剖析深入，專業性強
原子層沉積制造技術及生物傳感應用 內容簡介
本書系統介紹了原子層沉積技術原理及生物傳感應用，共分7章，主要內容包括原子層沉積（ALD）技術的基本原理、特點、系統和工作模式，聚焦于ALD技術的拓展，涉及了ALD在摩擦、電磁、噪聲、量子和生物傳感器領域的應用，重點介紹該技術在生物醫學檢測領域的前沿發展，在闡明ALD技術基本原理的同時，介紹其在前沿領域的優選性和實際應用。 本書可供微納制造與傳感檢測等領域的技術工作者閱讀使用，也可作為高等院校相關專業師生的參考書。
原子層沉積制造技術及生物傳感應用 目錄
1 原子層沉積（ALD）概述 1
1.1 原子層沉積技術原理 2
1.2 原子層沉積技術的特點 7
1.3 原子層沉積系統 8
1.3.1 橫向流動式 9
1.3.2 垂直流動式 9
1.3.3 徑向流動式 10
1.4 原子層沉積材料 10
參考文獻 11 2 原子層沉積技術拓展 15
2.1 多金屬源共饋ALD 16
2.1.1 多金屬源共饋ALD原理 16
2.1.2 多金屬源共饋ALD系統 17
2.1.3 多金屬源共饋ALD沉積異質結構 18
2.2 等離子體增強ALD技術 19
2.2.1 多金屬源共饋ALD原理 20
2.2.2 等離子體增強ALD的特點 21
2.2.3 等離子體增強ALD系統 24
2.2.4 等離子體增強ALD沉積材料 26
2.3 區域選擇性ALD 26
2.3.1 多金屬源共饋ALD原理 26
2.3.2 區域選擇性ALD分類 27
2.3.3 流化床式ALD原理 31
2.3.4 流化床式ALD分類 32
2.4 空間ALD 34
2.5 電化學ALD 35
2.6 多功能ALD 36
參考文獻 39 3 ALD應用于表界面性能調控 44
3.1 ALD應用于微納表界面性能調控概述 45
3.2 ALD應用于表面摩擦性能調控 47
3.2.1 調控薄膜厚度 47
3.2.2 調控薄膜微結構 55
3.2.3 調控薄膜形貌 59
3.3 ALD應用于電磁特性調控 66
3.3.1 電磁屏蔽結構的ALD制造與調控 66
3.3.2 電磁特性調控 68
3.3.3 吸波和屏蔽機理 72
3.4 ALD應用于傳感噪聲調控 77
3.4.1 氮化硅表面修飾和氧化鋁納米孔的ALD制造與調控 77
3.4.2 氮化硅與氧化鋁納米孔DNA分子檢測 79
3.5 ALD應用于NV色心量子特性調控 81
3.5.1 NV色心簡介 81
3.5.2 TiO2涂層對NV色心光學特性調控 84
3.5.3 MoS2薄膜對NV色心光學特性調控 86
參考文獻 89 4 ALD應用于表面增強拉曼散射調控 94
4.1 表面增強拉曼散射（SERS）概述 95
4.2 SERS傳感器熱點的ALD制造與調控 100
4.2.1 SERS熱點的可控制造 100
4.2.2 SERS增強機制 103
4.2.3 SERS性能分析 104
4.3 SERS傳感器生物檢測應用 110
4.3.1 SERS生物傳感器構筑 111
4.3.2 SERS生物傳感應用驗證 112
參考文獻 116 5 ALD應用于電化學生物傳感器 119
5.1 電化學（EC）生物傳感器概述 120
5.2 MoS2薄膜的ALD制造與調控 122
5.2.1 高比表面積薄膜的可控制造 122
5.2.2 傳感機理 125
5.2.3 MoS2薄膜生物傳感應用驗證 127
5.3 MoS2納米管的ALD制造與調控 129
5.3.1 MoS2納米管可控制造 129
5.3.2 傳感機理 134
5.3.3 MoS2納米管生物傳感應用驗證 135
參考文獻 138 6 ALD應用于光電化學生物傳感器 139
6.1 光電化學（PEC）生物傳感器概述 140
6.2 光響應納米通道的ALD制造與調控 142
6.2.1 光響應納米通道可控制造 143
6.2.2 光響應通道電流傳輸調控 145
6.2.3 光響應納米通道生物傳感器應用驗證 147
6.3 Pt/MoS2納米管的ALD制造與調控 153
6.3.1 Pt/MoS2納米管可控制造 154
6.3.2 單原子分布催化調控 157
6.3.3 Pt/MoS2納米管酶反應生物傳感應用驗證 160
6.4 MoS2/ReS2異質結的ALD制造與調控 165
6.4.1 MoS2/ReS2異質結可控制造 165
6.4.2 MoS2/ReS2異質結的PEC性能調控 174
6.4.3 MoS2/ReS2異質結生物傳感應用驗證 177
參考文獻 187 7 ALD應用于場效應管生物傳感器 191
7.1 場效應管（FET）生物傳感器概述 192
7.2 ReS2-MoS2異質結納米管的ALD制造與調控 198
7.2.1 MoS2納米管的可控制造 198
7.2.2 ReS2-MoS2超晶格納米管的可控制造 204
7.2.3 生物傳感器構筑 205
7.2.4 ReS2-MoS2超晶格納米管生物傳感應用驗證 207
7.3 SWCNTs/MoS2復合薄膜的ALD制造與調控 209
7.3.1 SWCNTs/MoS2薄膜可控制造 210
7.3.2 生物傳感器構筑 211
7.3.3 SWCNTs/MoS2生物傳感應用驗證 214
7.4 C60/MoS2薄膜的ALD制造與調控 216
7.4.1 C60/MoS2薄膜可控制造 216
7.4.2 生物傳感器構筑 220
7.4.3 C60/MoS2生物傳感應用驗證 222
參考文獻 224
1.1 原子層沉積技術原理 2
1.2 原子層沉積技術的特點 7
1.3 原子層沉積系統 8
1.3.1 橫向流動式 9
1.3.2 垂直流動式 9
1.3.3 徑向流動式 10
1.4 原子層沉積材料 10
參考文獻 11 2 原子層沉積技術拓展 15
2.1 多金屬源共饋ALD 16
2.1.1 多金屬源共饋ALD原理 16
2.1.2 多金屬源共饋ALD系統 17
2.1.3 多金屬源共饋ALD沉積異質結構 18
2.2 等離子體增強ALD技術 19
2.2.1 多金屬源共饋ALD原理 20
2.2.2 等離子體增強ALD的特點 21
2.2.3 等離子體增強ALD系統 24
2.2.4 等離子體增強ALD沉積材料 26
2.3 區域選擇性ALD 26
2.3.1 多金屬源共饋ALD原理 26
2.3.2 區域選擇性ALD分類 27
2.3.3 流化床式ALD原理 31
2.3.4 流化床式ALD分類 32
2.4 空間ALD 34
2.5 電化學ALD 35
2.6 多功能ALD 36
參考文獻 39 3 ALD應用于表界面性能調控 44
3.1 ALD應用于微納表界面性能調控概述 45
3.2 ALD應用于表面摩擦性能調控 47
3.2.1 調控薄膜厚度 47
3.2.2 調控薄膜微結構 55
3.2.3 調控薄膜形貌 59
3.3 ALD應用于電磁特性調控 66
3.3.1 電磁屏蔽結構的ALD制造與調控 66
3.3.2 電磁特性調控 68
3.3.3 吸波和屏蔽機理 72
3.4 ALD應用于傳感噪聲調控 77
3.4.1 氮化硅表面修飾和氧化鋁納米孔的ALD制造與調控 77
3.4.2 氮化硅與氧化鋁納米孔DNA分子檢測 79
3.5 ALD應用于NV色心量子特性調控 81
3.5.1 NV色心簡介 81
3.5.2 TiO2涂層對NV色心光學特性調控 84
3.5.3 MoS2薄膜對NV色心光學特性調控 86
參考文獻 89 4 ALD應用于表面增強拉曼散射調控 94
4.1 表面增強拉曼散射（SERS）概述 95
4.2 SERS傳感器熱點的ALD制造與調控 100
4.2.1 SERS熱點的可控制造 100
4.2.2 SERS增強機制 103
4.2.3 SERS性能分析 104
4.3 SERS傳感器生物檢測應用 110
4.3.1 SERS生物傳感器構筑 111
4.3.2 SERS生物傳感應用驗證 112
參考文獻 116 5 ALD應用于電化學生物傳感器 119
5.1 電化學（EC）生物傳感器概述 120
5.2 MoS2薄膜的ALD制造與調控 122
5.2.1 高比表面積薄膜的可控制造 122
5.2.2 傳感機理 125
5.2.3 MoS2薄膜生物傳感應用驗證 127
5.3 MoS2納米管的ALD制造與調控 129
5.3.1 MoS2納米管可控制造 129
5.3.2 傳感機理 134
5.3.3 MoS2納米管生物傳感應用驗證 135
參考文獻 138 6 ALD應用于光電化學生物傳感器 139
6.1 光電化學（PEC）生物傳感器概述 140
6.2 光響應納米通道的ALD制造與調控 142
6.2.1 光響應納米通道可控制造 143
6.2.2 光響應通道電流傳輸調控 145
6.2.3 光響應納米通道生物傳感器應用驗證 147
6.3 Pt/MoS2納米管的ALD制造與調控 153
6.3.1 Pt/MoS2納米管可控制造 154
6.3.2 單原子分布催化調控 157
6.3.3 Pt/MoS2納米管酶反應生物傳感應用驗證 160
6.4 MoS2/ReS2異質結的ALD制造與調控 165
6.4.1 MoS2/ReS2異質結可控制造 165
6.4.2 MoS2/ReS2異質結的PEC性能調控 174
6.4.3 MoS2/ReS2異質結生物傳感應用驗證 177
參考文獻 187 7 ALD應用于場效應管生物傳感器 191
7.1 場效應管（FET）生物傳感器概述 192
7.2 ReS2-MoS2異質結納米管的ALD制造與調控 198
7.2.1 MoS2納米管的可控制造 198
7.2.2 ReS2-MoS2超晶格納米管的可控制造 204
7.2.3 生物傳感器構筑 205
7.2.4 ReS2-MoS2超晶格納米管生物傳感應用驗證 207
7.3 SWCNTs/MoS2復合薄膜的ALD制造與調控 209
7.3.1 SWCNTs/MoS2薄膜可控制造 210
7.3.2 生物傳感器構筑 211
7.3.3 SWCNTs/MoS2生物傳感應用驗證 214
7.4 C60/MoS2薄膜的ALD制造與調控 216
7.4.1 C60/MoS2薄膜可控制造 216
7.4.2 生物傳感器構筑 220
7.4.3 C60/MoS2生物傳感應用驗證 222
參考文獻 224
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