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聚焦離子束:應(yīng)用與實(shí)踐 版權(quán)信息
- ISBN：9787305274091
- 條形碼：9787305274091 ; 978-7-305-27409-1
- 裝幀：平裝-膠訂
- 冊(cè)數(shù)：暫無(wú)
- 重量：暫無(wú)
- 所屬分類：>
聚焦離子束:應(yīng)用與實(shí)踐 內(nèi)容簡(jiǎn)介
聚焦離子束（FocusedIonBeam，F(xiàn)IB）是微納加工、芯片失效分析、微結(jié)構(gòu)科學(xué)研究的核心技術(shù)裝備之一。隨著材料、器件的微尺度化（納米甚至原子尺度）、高集成化（每平方厘米集成10億個(gè)以上的功能單元）、多功能化（在多種外場(chǎng)條件下工作），越來(lái)越多的材料微結(jié)構(gòu)研究、器件研發(fā)須使用聚焦離子束。全書共分七章，從聚焦離子束的結(jié)構(gòu)原理出發(fā)，緊密結(jié)合應(yīng)用與實(shí)踐，對(duì)聚焦離子束誘導(dǎo)沉積、濺射刻蝕、離子注入、離子束曝光、聯(lián)合使用模式以及樣品的前期處理進(jìn)行闡述，并配有實(shí)際案例進(jìn)行進(jìn)一步詳解。
聚焦離子束:應(yīng)用與實(shí)踐 目錄
**章 聚焦離子束原理
1.1聚焦離子束的基本結(jié)構(gòu)
1.1.1聚焦離子束的系統(tǒng)的分類
1.1.2離子槍的結(jié)構(gòu)
1.1.3雙束設(shè)備樣品室布局與工作臺(tái)
1.2離子束與材料的作用及離子束加工基本功能原理
1.2.1離子束與材料的作用
1.2.2聚焦離子束的主要功能
第二章 聚焦離子束誘導(dǎo)沉積
2.1FIB中的電子束與離子束誘導(dǎo)沉積
2.1.1電子束誘導(dǎo)沉積原理和技術(shù)特點(diǎn)
2.1.2離子束誘導(dǎo)沉積原理和技術(shù)特點(diǎn)
2.1.3離子束與電子束沉積的參數(shù)選擇
2.2沉積層的電學(xué)特性
2.2.1離子束誘導(dǎo)沉積層的電學(xué)特性
2.2.2電子束誘導(dǎo)沉積保護(hù)層的電學(xué)特性
……
展開全部
聚焦離子束:應(yīng)用與實(shí)踐 作者簡(jiǎn)介
鄧昱，南京大學(xué)現(xiàn)代工程與應(yīng)用科學(xué)學(xué)院博士生導(dǎo)師，亞原子電子顯微鏡中心主任，中國(guó)分析測(cè)試協(xié)會(huì)青年委員會(huì)副主任委員，美國(guó)勞倫斯伯克利國(guó)家實(shí)驗(yàn)室、國(guó)家電子顯微鏡中心訪問(wèn)教授。
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