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包郵 脈沖激光加工技術(shù)

出版社：科學(xué)出版社出版時(shí)間：2023-04-01
開本： B5 頁數(shù)： 416
中 圖 價(jià):¥172.5(7.5折) 定價(jià)  ¥230.0 登錄后可看到會(huì)員價(jià)
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脈沖激光加工技術(shù) 版權(quán)信息

脈沖激光加工技術(shù) 內(nèi)容簡(jiǎn)介

本書總結(jié)了脈沖激光的主要工藝技術(shù)，系統(tǒng)闡述了脈沖激光的加工原理、技術(shù)和裝備。全書共6章，分為概述、脈沖激光加工原理、激光加工技術(shù)及其發(fā)展趨勢(shì)和激光加工裝備等4個(gè)部分，主要內(nèi)容包括：脈沖激光加工原理、毫秒激光加工技術(shù)（熱障涂層激光重熔加工，毫秒激光深孔加工技術(shù)，毫秒激光復(fù)合加工技術(shù)），納秒激光加工技術(shù)（納秒激光沖擊強(qiáng)化，納秒激光陶瓷基板表面高質(zhì)量群孔加工，納秒激光鋰離子電池集流體高密度群孔加工，納秒激光金剛石表面銑削加工，納秒激工金剛石高質(zhì)高效切割技術(shù)，）、超快激光加工技術(shù)（超快激光高溫部件氣膜孔加工，超快激光陶瓷型芯精密修形技術(shù)，超快激光碳化硅晶體深孔加工，超快激光表面拋光技術(shù)，超快激光表面標(biāo)印技術(shù)），和激光加工裝備等。

脈沖激光加工技術(shù) 目錄

目錄
前言
第1章概述1
1.1激光的原理與分類1
1.2材料加工的脈沖激光5
1.3脈沖激光材料去除機(jī)理7
1.3.1毫秒激光材料去除機(jī)理7
1.3.2納秒激光材料去除機(jī)理9
1.3.3超快激光材料去除機(jī)理10
1.4脈沖激光加工技術(shù)11
參考文獻(xiàn)14
第2章脈沖激光加工過程的仿真分析16
2.1毫秒激光加工過程的數(shù)值分析和仿真分析16
2.1.1毫秒激光加工過程的數(shù)值分析16
2.1.2毫秒激光加工陶瓷金屬多層材料的仿真分析21
2.2納秒激光加工過程的建模與仿真32
2.2.1納秒激光刻蝕金屬的等離子體動(dòng)力學(xué)33
2.2.2納秒激光刻蝕陶瓷材料的光熱化學(xué)作用39
2.3超快激光加工過程的建模與仿真47
2.3.1金屬內(nèi)雪崩電離過程48
2.3.2陶瓷基材料多光子電離/雪崩電離過程及能量傳遞分析55
2.3.3基于分子動(dòng)力學(xué)的材料刻蝕過程63
參考文獻(xiàn)75
第3章毫秒激光加工技術(shù)79
3.1毫秒激光熱障涂層激光重熔加工79
3.1.1熱障涂層激光重熔技術(shù)79
3.1.2毫秒激光重熔對(duì)熱障涂層結(jié)構(gòu)組織的影響81
3.1.3毫秒激光重熔對(duì)熱障涂層抗熱震性能的影響92
3.2毫秒激光深孔加工技術(shù)102
3.2.1激光打孔工藝分類102
3.2.2激光旋切打孔加工通孔104
3.2.3調(diào)制脈沖激光叩擊打孔119
3.3毫秒激光復(fù)合加工技術(shù)143
3.3.1外沖液激光電解復(fù)合制孔144
3.3.2內(nèi)沖液電解實(shí)驗(yàn)152
3.3.3激光電解復(fù)合加工葉片氣膜孔155
參考文獻(xiàn)155
4.1納秒激光鎳基高溫合金表面沖擊強(qiáng)化技術(shù)157
4.1.1鎳基高溫合金表面沖擊強(qiáng)化技術(shù)157
4.1.2納秒激光鎳基多晶高溫合金沖擊強(qiáng)化技術(shù)158
4.1.3納秒激光鎳基單晶高溫合金沖擊強(qiáng)化技術(shù)167
4.2納秒激光陶瓷基板表面群孔加工178
4.2.1陶瓷基板表面群孔加工178
4.2.2納秒激光加工參數(shù)對(duì)孔尺寸的影響178
4.2.3納秒激光加工參數(shù)對(duì)孔形貌的影響186
4.2.4納秒激光陶瓷基板表面高質(zhì)量群孔加工192
4.3納秒激光調(diào)控加工金剛石微槽技術(shù)198
4.3.1金剛石熱沉微流道加工198
4.3.2納秒激光調(diào)控加工金剛石熱沉集流槽199
4.3.3納秒激光調(diào)控加工大深寬比金剛石盲槽202
4.4納秒激光金剛石高質(zhì)高效切割技術(shù)211
4.4.1金剛石切割211
4.4.2納秒激光貫通切割金剛石的工藝213
4.4.3納秒激光切割輪廓精度的調(diào)控222
4.4.4納秒激光金剛石刀具高質(zhì)高效切割228
參考文獻(xiàn)230
第5章超快激光加工技術(shù)233
5.1超快激光高溫部件氣膜孔加工技術(shù)233
5.1.1高溫部件氣膜冷卻孔加工技術(shù)233
5.1.2飛秒超快激光加工氣膜冷卻孔基礎(chǔ)工藝235
5.1.3飛秒超快激光加工高溫部件氣膜冷卻孔258
5.2超快激光陶瓷型芯精密修型技術(shù)261
5.2.1陶瓷型芯精密修型261
5.2.2飛秒超快激光陶瓷型芯加工技術(shù)266
5.2.3皮秒超快激光陶瓷型芯加工技術(shù)282
5.2.4陶瓷型芯高質(zhì)高效精密修型技術(shù)292
5.3超快激光碳化硅晶體深孔加工技術(shù)294
5.3.1碳化硅晶體深孔加工294
5.3.2飛秒超快激光叩擊打孔碳化硅晶體深孔296
5.3.3飛秒超快激光叩擊打孔高質(zhì)量碳化硅晶體深孔303
5.3.4飛秒超快激光旋切打孔碳化硅晶體深孔311
5.4超快激光碳化硅陶瓷表面精密拋光技術(shù)317
5.4.1碳化硅陶瓷表面精密拋光317
5.4.2飛秒超快激光拋光工藝319
5.4.3飛秒超快激光碳化硅陶瓷材料拋光的氧化行為330
5.5超快激光高溫合金表面標(biāo)印技術(shù)336
5.5.1表面標(biāo)印336
5.5.2飛秒超快激光燒蝕復(fù)合誘導(dǎo)制備結(jié)構(gòu)單元338
5.5.3飛秒超快激光直沖式離焦制備結(jié)構(gòu)單元346
5.5.4高溫合金表面高效高質(zhì)量標(biāo)印363
參考文獻(xiàn)364
第6章激光加工裝備373
6.1激光加工裝備主要組成系統(tǒng)373
6.1.1激光器373
6.1.2光路系統(tǒng)382
6.1.3實(shí)時(shí)監(jiān)控388
6.1.4運(yùn)動(dòng)裝置和控制389
6.2激光加工裝備控制系統(tǒng)393
6.2.1振鏡控制393
6.2.2掃描振鏡多軸加工系統(tǒng)397
6.3激光加工裝備案例399
6.3.1納秒激光群孔加工裝備399
6.3.2激光電解復(fù)合氣膜冷卻孔加工裝備402
參考文獻(xiàn)408
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脈沖激光加工技術(shù) 節(jié)選

第1章概述 1.1激光的原理與分類 激光是20世紀(jì)以來繼核能、計(jì)算機(jī)、半導(dǎo)體之后，人類的又一重大發(fā)明，被稱為“*快的刀”“*準(zhǔn)的尺”“*亮的光”。 激光產(chǎn)生于物質(zhì)微觀粒子態(tài)的變化。原子內(nèi)電子通過吸收或釋放光子而在各高、低能級(jí)之間躍遷，可細(xì)分為以下三種形式： （1）自發(fā)吸收。原子內(nèi)電子通過吸收光子而獲得能量，從低能級(jí)躍遷至高能級(jí)，如圖1.1（a）所示。 （2）自發(fā)輻照。原子內(nèi)電子自發(fā)地釋放光子使自身能量降低，從高能級(jí)躍遷至低能級(jí)，如圖1.1（b）所示。 （3）受激輻照。光子入射到物質(zhì)內(nèi)部，會(huì)使高能級(jí)電子在光子的激發(fā)下從高能級(jí)躍遷至低能級(jí)，同時(shí)輻照出一個(gè)與入射光子具有完全相同狀態(tài)（相同的波長(zhǎng)、相位、頻率和方向）的光子，致使完全無法區(qū)分出兩者的差異，這一現(xiàn)象便是電子的受激輻照，如圖1.1（c）所示，輻照出的光子的波長(zhǎng)即對(duì)應(yīng)于高、低能級(jí)之間的能量差。 愛因斯坦從理論上指出受激輻照的存在和光放大的可能，奠定了激光是由電子的受激輻照機(jī)制產(chǎn)生的理論基礎(chǔ)。因此，激光*初稱為鐳射或萊塞（light amplification by stimulated emission of radiation，LASER）。與普通光相比，經(jīng)過受激輻照產(chǎn)生的激光具有以下四大專屬特性。 （1）方向性好：激光的高方向性使其能在有效傳遞較長(zhǎng)距離的同時(shí)，還能保證聚焦得到極高的功率密度，這兩點(diǎn)都是激光加工的重要條件。 （2）亮度高：激光的亮度較高，且具有高亮度的激光束經(jīng)透鏡聚焦后，能在焦點(diǎn)附近產(chǎn)生數(shù)千攝氏度乃至上萬攝氏度的高溫，這使其幾乎能夠?qū)λ胁牧线M(jìn)行加工。 （3）單色性好：在整個(gè)產(chǎn)生機(jī)制中，只會(huì)產(chǎn)生一種波長(zhǎng)的光，從而保證光束能精確地聚焦到焦點(diǎn)上，得到很高的功率密度和極小的光斑尺寸。 （4）相干性好：主要描述作為光波時(shí)激光各個(gè)部分的相位關(guān)系，所有光子都有相同的相位和偏振，它們疊加起來便產(chǎn)生較大的強(qiáng)度。 激光器是指能發(fā)射激光的裝置。1960年，世界上**臺(tái)激光器問世，其是由美國科學(xué)家Maiman［1］根據(jù)量子電子學(xué)的發(fā)展而研制出的一臺(tái)紅寶石激光器。1961年，Javan等［2］研制出了首*氣體激光器——氦氖激光器；1962年，其又應(yīng)用半導(dǎo)體材料成功研制出了氣體激光器。1964年，美國貝爾實(shí)驗(yàn)室的科學(xué)家Patel［3］成功研制出了CO2激光器釔鋁石榴石（yttrium aluminium garnet，YAG）。從此之后，各種類型的激光器不斷涌現(xiàn)，為實(shí)驗(yàn)研究和商業(yè)應(yīng)用創(chuàng)造了條件。由于激光的發(fā)展以及實(shí)驗(yàn)條件的改善，實(shí)驗(yàn)相比以前更容易實(shí)現(xiàn)。激光器的應(yīng)用開始進(jìn)入快速發(fā)展階段，在激光器發(fā)展的基礎(chǔ)上，研究人員開始對(duì)激光與物質(zhì)的相互作用展開廣泛研究。 自**臺(tái)激光器問世，人們就開始著手研究如何獲得更窄激光脈沖寬度的方法。研究發(fā)現(xiàn)，脈沖壓縮是解決激光領(lǐng)域中脈沖寬度的重要手段。在脈沖壓縮過程中，調(diào)Q技術(shù)以及鎖模技術(shù)是使用*多的兩種技術(shù)，其不僅可以提高脈沖峰值功率，而且高效實(shí)用。 1961年，Hellwarth［4］為了實(shí)現(xiàn)脈沖激光的輸出，首先提出調(diào)Q的概念。其表達(dá)式為 （1.1） 根據(jù)上述定義，得到調(diào)Q所采用的原理：泵浦開始時(shí)刻，激光器諧振腔處于高損耗低Q值狀態(tài)，不能滿足激光器的振蕩條件，但是激光器一直處于泵浦脈沖的激勵(lì)中，將得到很高的粒子數(shù)密度，當(dāng)反轉(zhuǎn)粒子數(shù)密度達(dá)到峰值時(shí)，諧振腔的Q值會(huì)突然增大，迅速滿足激光器振蕩的條件，而且反轉(zhuǎn)粒子數(shù)密度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于反轉(zhuǎn)粒子數(shù)密度閾值，迅速建立起激光振蕩，突然的變化使功率在很短時(shí)間內(nèi)達(dá)到峰值，同時(shí)存儲(chǔ)在亞穩(wěn)態(tài)的粒子所具有的能量迅速轉(zhuǎn)化為光子的能量，反轉(zhuǎn)粒子的能量很快耗盡，脈沖結(jié)束，光子以極高的速率增長(zhǎng)，此時(shí)激光器輸出的光脈沖具有脈沖寬度窄和峰值功率高的特點(diǎn)。 1961年，Hellwarht采用被動(dòng)調(diào)Q技術(shù)首次使紅寶石激光器產(chǎn)生了納秒量級(jí)的短脈沖激光，激光脈沖脈度為幾十納秒。1965年，Mocker等［5］利用被動(dòng)調(diào)Q技術(shù)取得了更進(jìn)一步的研究成果，把脈沖寬度縮短到10ns以下。根據(jù)原理，利用調(diào)Q技術(shù)得到的脈沖寬度的極限為2L/c（L為激光器諧振腔的長(zhǎng)度；c為真空中的光速），因此根據(jù)調(diào)Q技術(shù)得到的大都是納秒脈沖寬度的激光。 為了得到更窄的激光脈沖，有學(xué)者提出了鎖模技術(shù)。鎖模技術(shù)，即鎖相技術(shù)，是指將多個(gè)縱模激光器中各個(gè)縱模的初相位關(guān)系固定，形成等時(shí)間間隔的光脈沖序列，使得每個(gè)振蕩模之間有固定的頻率差，保證每個(gè)振蕩模之間的相位也是相對(duì)固定的。在鎖模技術(shù)中，激光輸出的是間隔相等的規(guī)則脈沖，間隔為2L/c，但是與調(diào)Q技術(shù)相比，其脈沖寬度變得更窄，*窄可以達(dá)到調(diào)Q技術(shù)產(chǎn)生的脈沖的1/（2N+1），其中2N+1表示鎖模中縱模的個(gè)數(shù)。根據(jù)上述脈沖寬度和縱模之間的關(guān)系，鎖模技術(shù)輸出的*高功率密度可以達(dá)到調(diào)Q技術(shù)的2N+1倍。例如，固體激光器的鎖模數(shù)可能達(dá)到103～104個(gè)，這樣峰值功率會(huì)產(chǎn)生很高的窄脈沖。綜上，鎖模技術(shù)是實(shí)現(xiàn)脈沖變窄的重要手段之一。 隨著激光鎖模技術(shù)的不斷發(fā)展，脈沖寬度越來越窄，因此超短脈沖激光器迎來了快速發(fā)展時(shí)期。*先發(fā)展且被應(yīng)用到超短脈沖激光器的鎖模技術(shù)是被動(dòng)鎖模技術(shù)。1965年，Mocker等［5］首次在紅寶石激光器上使用了被動(dòng)鎖模技術(shù)，此后，他們又陸續(xù)將被動(dòng)鎖模技術(shù)應(yīng)用到釹玻璃和摻釹釔鋁石榴石（neodymium-doped yttrium aluminium garnet，Nd：YAG）激光器上。1966年，Demaria［6］采用該技術(shù)首次得到了皮秒激光。皮秒激光的主要特點(diǎn)是10-12s量級(jí)的脈沖寬度以及更大的脈沖功率。達(dá)到皮秒級(jí)的脈沖寬度可以實(shí)現(xiàn)對(duì)瞬態(tài)基元反應(yīng)的研究。以前，光源能量限制了對(duì)許多微弱高級(jí)非線性現(xiàn)象的研究，隨著皮秒激光的問世，這些研究成為現(xiàn)實(shí)。短脈沖激光發(fā)展到今天，已經(jīng)有很多非線性現(xiàn)象得到了研究和解釋。皮秒激光也可用來泵浦反應(yīng)物分子，使反應(yīng)物分子能夠從基態(tài)被激發(fā)到激發(fā)態(tài)，也可以用來探測(cè)，根據(jù)物質(zhì)的激發(fā)態(tài)或者中間瞬態(tài)行為探測(cè)物質(zhì)的結(jié)構(gòu)，如快速的瞬態(tài)現(xiàn)象、超快弛豫過程，以及能級(jí)壽命的測(cè)量、動(dòng)力學(xué)中的碰撞等。激光技術(shù)的快速發(fā)展，極大地推動(dòng)了脈沖壓縮技術(shù)的進(jìn)步，人們?cè)谄っ爰す庵蟮玫搅孙w秒激光。1976年，在染料激光器中首次產(chǎn)生了飛秒激光［7］。1982年，美國貝爾實(shí)驗(yàn)室首次產(chǎn)生了90fs的激光脈沖，三年后，該實(shí)驗(yàn)室使用新技術(shù)產(chǎn)生了27fs的激光脈沖。Fork等［8］和French等［9］使用碰撞脈沖鎖模（colliding pulse mode-locking，CPM）環(huán)形染料激光器得到了19fs的激光脈沖。 激光器大多由泵浦源、激光介質(zhì)和諧振腔三部分組成。激光的產(chǎn)生必須選擇合適的激光介質(zhì)，如氣體、液體或固體，激光介質(zhì)可以實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，是獲得激光的必要條件。為了使激光介質(zhì)中出現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，必須用一定的能量去激勵(lì)原子體系，增加處于上能級(jí)的粒子數(shù)，泵浦源就是產(chǎn)生光能、電能或化學(xué)能的激勵(lì)裝置。有了合適的激光介質(zhì)和泵浦源，就可以實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，但這樣產(chǎn)生的受激輻照強(qiáng)度很弱，無法獲得實(shí)際應(yīng)用，需要通過諧振腔進(jìn)行放大。諧振腔實(shí)際是在激光器兩端對(duì)稱地裝上兩面反射鏡，一面幾乎全反射，另一面是大部分反射、少量透射的耦合鏡，以使激光可以透過并射出，被反射回激光介質(zhì)的光繼續(xù)誘發(fā)新的受激輻照，從而在光學(xué)諧振腔中來回振蕩放大，*后從耦合鏡的一端輸出。 激光器按激光介質(zhì)的不同可以分為氣體激光器、固體激光器和液體激光器等，按工作方式的不同可以分為連續(xù)激光器和脈沖激光器。連續(xù)激光器可以在較長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)連續(xù)輸出，工作穩(wěn)定、熱效應(yīng)高。脈沖激光器以脈沖形式輸出，主要特點(diǎn)是峰值功率高、熱效應(yīng)低。在對(duì)激光技術(shù)不斷認(rèn)知的過程中，也從未停止對(duì)高性能、高質(zhì)量激光技術(shù)的探索。脈沖激光的輸出波長(zhǎng)范圍覆蓋了從紅外（infrared，IR）到紫外（ultraviolet，UV）的全光波段，輸出的脈沖寬度越來越窄，經(jīng)歷了毫秒（1ms=10-3s）、皮秒（1ps=10-12s）、飛秒（1fs=10-15s）直至阿秒（1as=10-18s）的超短脈寬輸出，與此同時(shí)，輸出的能量強(qiáng)度越來越高，經(jīng)歷了兆瓦（1MW=106W）、吉瓦（1GW=109W）、太瓦（1TW=1012W）甚至拍瓦（1PW=1015W）量級(jí)的超強(qiáng)脈沖輸出。由此可見，脈沖激光正朝著脈沖寬度越來越窄、峰值功率越來越高的方向不斷前進(jìn)。下面給出常見的脈沖激光器。 （1）準(zhǔn)連續(xù)波激光器。 準(zhǔn)連續(xù)波（quasi-continuous wave，QCW）激光器也稱為長(zhǎng)脈沖激光器，可以產(chǎn)生毫秒量級(jí)的脈沖，占空比為10%。這使得脈沖激光具有比連續(xù)激光高10倍以上的峰值功率，對(duì)鉆孔等應(yīng)用來說非常有利。 （2）納秒激光器。 二極管泵浦固態(tài)（diode pumped solid state，DPSS）激光器是在20世紀(jì)90年代末被首次引入工業(yè)環(huán)境的。**臺(tái)此類激光器僅具有幾瓦的低輸出功率，波長(zhǎng)為355nm。在二極管泵浦之前，使用燈泵浦可獲得激光，但是這類激光器非常不可靠。當(dāng)時(shí)，幾瓦的納秒紫外光的成本超過10萬美元。隨后，納秒激光器市場(chǎng)越來越成熟，可從許多不同的制造商（提供紅外、可見和紫外波長(zhǎng)）處購買到納秒激光器。在大多數(shù)情況下，納秒激光器的脈沖持續(xù)時(shí)間介于幾十納秒到幾百納秒。這類短脈沖激光器廣泛用于打標(biāo)、鉆孔、醫(yī)療、快速成型等領(lǐng)域。 （3）皮秒激光器。 近年來，全固態(tài)皮秒激光器在材料微加工、激光光譜分析、激光光通信、非線性頻率變換、激光檢測(cè)與計(jì)量等方面發(fā)揮著重要作用。其中，在進(jìn)行金屬加工時(shí)，激光脈沖寬度并不是越短越好，因?yàn)楫?dāng)利用脈沖寬度低于5ps的激光進(jìn)行加工時(shí)，會(huì)產(chǎn)生非線性效應(yīng)，這一情況對(duì)金屬材料的激光加工非常不利。綜上所述，脈沖寬度在10ps左右的皮秒激光是進(jìn)行金屬激光微加工的*佳選擇。皮秒激光器在微加工領(lǐng)域具有熱影響區(qū)小、對(duì)材料損傷極低等優(yōu)點(diǎn)，并且皮秒激光器本身結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低、穩(wěn)定可靠，高重復(fù)頻率提高了加工效率、降低了單件成本。 （4）飛秒激光器。 飛秒激光器是一種脈沖激光器。飛秒是指脈沖的持續(xù)時(shí)間，與脈沖的頻率不同。脈沖的頻率是指1s內(nèi)激光器發(fā)出的脈沖數(shù)目。飛秒激光器具有非常高的瞬時(shí)功率，可達(dá)百萬億瓦，比目前全世界的發(fā)電總功率還要高出上百倍；物質(zhì)在飛秒激光的作用下會(huì)產(chǎn)生非常奇特的現(xiàn)象，即氣態(tài)的物質(zhì)、液態(tài)的物質(zhì)、固態(tài)的物質(zhì)都會(huì)瞬間變成等離子體；利用飛秒激光進(jìn)行手術(shù)，沒有熱效應(yīng)和沖擊波，在整個(gè)光程中都不會(huì)有組織損傷。因此，飛秒激光廣泛應(yīng)用在激光醫(yī)療、精密鉆孔、精密切割、超微細(xì)加工等領(lǐng)域。 1.2材料加工的脈沖激光 激光的脈沖寬度是一個(gè)重要參數(shù)，是指單個(gè)激光脈沖釋放能量真正作用于材料的時(shí)間。材料加工用的脈沖激光主要包括：長(zhǎng)脈沖激光，主要指毫秒脈沖激光（millisecond pulse laser，MPL），簡(jiǎn)稱毫秒激光，常見脈沖寬度為1～1000ms；短脈沖激光，主要指納秒脈沖激光（nanosecond pulse laser，NPL），簡(jiǎn)稱納秒激光，常見脈沖寬度為1～1000ns；超短脈沖激光（ultrashort pulse laser，UPL），又稱超快激光，包括皮秒超快激光和飛秒超快激光，普遍脈沖寬度≤10ps。將脈沖激光作用于材料表面，是一種無接觸、微細(xì)精密、高靈活性的先進(jìn)加工技術(shù)，是先進(jìn)激光應(yīng)用的重要方向之一。與傳統(tǒng)的加工技術(shù)不同，脈沖激光加工的主要特點(diǎn)包括：普適性，即對(duì)材料硬度、脆性、熔點(diǎn)等不敏感，可以加工陶瓷、玻璃等硬脆材料以及鎳基高溫合金等高熔點(diǎn)材料；高分辨率，即具有發(fā)散角小，激光光斑直徑可以聚焦到納米量級(jí)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高精密微細(xì)加工；高自動(dòng)化，即激光易于導(dǎo)向，易與數(shù)控技術(shù)結(jié)合，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)復(fù)雜樣品的加工，具有高靈活加工的特點(diǎn)。 脈沖激光器是指單個(gè)激光脈沖寬度小于0.25s，每間隔一定時(shí)間才發(fā)出一次光束的

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