包郵微機電系統(tǒng)

作者：苑偉政，喬大勇，虞益挺編著

出版社：西北工業(yè)大學出版社出版時間：2021-06-01

開本： 26cm 頁數(shù)： 341頁

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版權信息
內(nèi)容簡介
目錄
作者簡介

微機電系統(tǒng) 版權信息

ISBN：9787561276761
條形碼：9787561276761 ; 978-7-5612-7676-1
裝幀：一般膠版紙
冊數(shù)：暫無
重量：暫無
所屬分類：
工業(yè)技術
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電工技術
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電工基礎理論

微機電系統(tǒng) 內(nèi)容簡介

　　《微機電系統(tǒng)（第2版微機電系統(tǒng)工程系列教材）》是在教育部對研究生推薦教材《微機械與微細加工技術》的基礎上，結(jié)合微機電系統(tǒng)（MEMS）領域新的研究成果編著而成的。全書分為6章，分別介紹了MEMS發(fā)展歷程，MEMS理論基礎，MEMS基本工藝技術，MEMS設計技術，以及典型微器件與微系統(tǒng)和微測試技術。在介紹微加工工藝方面，該書結(jié)合大量工藝實例，易于學生理解，有助于提高其動手能力；對各種典型微機電器件的介紹，大部分來源于實驗室的課題研究實例，內(nèi)容充實新穎。　　《微機電系統(tǒng)（第2版微機電系統(tǒng)工程系列教材）》可以作為高年級本科生和研究生學習微機電系統(tǒng)相關課程的教材，也可供工程技術等專業(yè)人員參考。

微機電系統(tǒng) 目錄

第1章緒論
1．1 微機電系統(tǒng)的定義
1．2 微機電系統(tǒng)的發(fā)展歷程
1．3 微機電系統(tǒng)的主要研究內(nèi)容
1．3．1 基礎理論研究
1．3．2 支撐技術研究
1．3．3 應用技術研究
1．4 微機電系統(tǒng)的國內(nèi)外研究及產(chǎn)業(yè)化現(xiàn)狀
習題與思考題
參考文獻

第2章微機電系統(tǒng)理論基礎
2．1 尺度效應
2．1．1 尺度效應對材料性能的影響
2．1．2 尺度效應對黏附特性的影響
2．1．3 尺度效應對靜電特性的影響
2．1．4 尺度效應對流體系統(tǒng)的影響
2．1．5 尺度效應對電學特性的影響
2．1．6 尺度效應對熱傳導的影響
2．2 材料基礎
2．2．1 硅材料
2．2．2 硅化合物
2．2．3 壓電材料
2．2．4 形狀記憶合金
2．2．5 超磁致伸縮材料
2．2．6 電流變體與磁流變體
2．2．7 有機聚合物材料
2．2．8 紙基材料
2．3 力學基礎
2．3．1 微梁
2．3．2 壓膜阻尼
2．3．3 滑膜阻尼
2．3．4 質(zhì)量塊-彈簧-阻尼系統(tǒng)
習題與思考題
參考文獻

第3章微機電系統(tǒng)設計
3．1 MEMS集成設計
3．1．1 系統(tǒng)級設計
3．1．2 器件級設計
3．1．3 工藝級設計
3．1．4 典型器件設計實例
3．2 版圖設計
3．2．1 光刻掩膜版及其制備
3．2．2 版圖設計工具
3．2．3 版圖總體設計
3．2．4 對準標記設計
3．2．5 覆蓋關系設計
3．2．6 版圖繪制技巧
習題與思考題

第4章微機電系統(tǒng)制造基本工藝
4．1 引言
4．2 光刻
4．2．1 光刻基本原理
4．2．2 制版
4．2．3 脫水烘
4．2．4 涂膠
4．2．5 軟烘
4．2．6 對準
4．2．7 曝光
4．2．8 中烘
4．2．9 顯影
4．2．10 堅膜
4．2．11 鏡檢
4．2．12 去膠
4．3 濕法腐蝕
4．3．1 硅的各向同性濕法腐蝕
4．3．2 硅的各向異性濕法腐蝕
4．3．3 二氧化硅的濕法腐蝕
4．3．4 氮化硅的濕法腐蝕
4．3．5 鋁的濕法腐蝕
4．3．6 其他材料的濕法腐蝕
4．4 干法刻蝕
4．4．1 等離子基礎
4．4．2 等離子體的產(chǎn)生
4．4．3 濺射刻蝕
4．4．4 等離子刻蝕
4．4．5 反應離子刻蝕
4．4．6 深度反應離子刻蝕
4．5 氧化
4．5．1 氧化設備
4．5．2 Deal-Grove氧化模型
4．6 摻雜
4．6．1 熱擴散摻雜
4．6．2 離子注入摻雜
4．7 化學氣相沉積
4．7．1 低壓化學氣相沉積LPCVD
4．7．2 等離子增強化學氣相沉積：PECVD
4．7．3 金屬有機化學氣相沉積MOCVD
4．7．4 原子層沉積ALD
4．8 物理氣相沉積
4．8．1 真空蒸鍍
4．8．2 濺射鍍膜
4．9 剝離
4．9．1 單層膠氯苯處理法
4．9．2 雙層膠法
4．9．3 圖形反轉(zhuǎn)膠法
4．9．4 其他方法
習題與思考題
參考文獻

第5章微機電系統(tǒng)測試
5．1 引言
5．2 工藝參數(shù)測試
5．2．1 方塊電阻測試
5．2．2 結(jié)深測量
5．2．3 透明薄膜的厚度測量
5．2．4 臺階測量
5．2．5 掃描電子顯微鏡測量
5．2．6 原子力儀測量
5．2．7 殘余應力測量
5．3 器件性能測試
5．3．1 激光多普勒測量
5．3．2 頻閃顯微干涉測量
習題與思考題
參考文獻

第6章典型微機電器件及系統(tǒng)
6．1 引言
6．2 微傳感器
6．2．1 微加速度計
6．2．2 微機械陀螺
6．2．3 微壓力傳感器
6．2．4 微麥克風
6．2．5 微氣體傳感器
6．2．6 微流量傳感器
6．2．7 微觸覺傳感器
6．2．8 微紅外探測器
6．2．9 剪應力傳感器
6．3 微執(zhí)行器
6．3．1 微變形鏡
6．3．2 微光學濾波器
6．3．3 微泵
6．3．4 微馬達
6．3．5 微諧振器
6．3．6 微噴
6．3．7 微夾鉗
6．3．8 射頻開關
6．3．9 可編程光柵
6．3．10 微繼電器
6．4 微能源裝置
6．4．1 微型電池技術
6．4．2 微能源收集技術
6．5 典型微系統(tǒng)
6．5．1 微型飛行器
6．5．2 慣性測量微系統(tǒng)
6．5．3 微光學系統(tǒng)
6．5．4 仿生微納功能表面蒙皮系統(tǒng)
6．5．5 生物醫(yī)學微系統(tǒng)
習題與思考題
參考文獻

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微機電系統(tǒng) 作者簡介

苑偉政：西北工業(yè)大學教授，博士生導師，機電學院院長；“長江學者”特聘教授，國際知名的MEMS與微納制造學科帶頭人，第25屆世界微機械峰會主席；兼任中國微納米技術學會會士，中國機械工程學會常務理事，中國微納執(zhí)行器與微系統(tǒng)學會理事長等，為中央軍委科技委領域?qū)＜椅瘑T會委員、科技委優(yōu)選制造學部委員。主要從事微機電系統(tǒng)以及微納制造方面的研究。

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