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微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計及應(yīng)用探究 版權(quán)信息
- ISBN：9787557880477
- 條形碼：9787557880477 ; 978-7-5578-8047-7
- 裝幀：暫無
- 冊數(shù)：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計及應(yīng)用探究 內(nèi)容簡介
本書共5章, 內(nèi)容包括: 微機(jī)電系統(tǒng)概述、微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計方法學(xué)、微細(xì)加工技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)檢測技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)的應(yīng)用。
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