��1�¾wՓ1
1.1̫�ݗ�����1
1.2̫�늳ظ���3
1.2.1����lչ�v��3
1.2.2���Ȱlչ�v��4
1.3���w��̫�늳�6
1.3.1�ξ���늳�6
1.3.2�ྦྷ��늳�7
1.3.3�莧늳�8
1.3.4���͵ĸ�Ч���w��늳�9
1.4�����Ĥ̫�늳�10
1.4.1�Ǿ��象Ĥ늳�11
1.4.2�ྦྷ�象Ĥ늳�11
1.4.3����B��̫�늳�12
1.5������댧�w̫�늳�13
1.5.1�ڻ��k��Ĥ̫�늳�13
1.5.2�~������CuInGaSe2����Ĥ̫�늳�14
1.5.3�黯�̫�늳�15
1.6����̫�늳��аl�Mչ15
����˼���}16
�����īI17

��2�¹�Ƭ���a���g18
2.1����18
2.2�������19
2.3����Ƃ�20
2.3.1�߼���������a21
2.3.2�ξ�����Ƃ�24
2.3.3�ྦྷ���V���a25
2.4��Ƭ���a���g26
2.4.1�ξ���Ƭ�ļӹ�27
2.4.2�ྦྷ��Ƭ�ļӹ�29
2.4.3��Ƭ�ęz�31
����˼���}32
�����īI32

��3��̫�늳��������A34
3.1����34
3.2�����Y���cԭ��36
3.2.1̫�늳ؽY��36
3.2.2̫�늳ذl��^��36
3.3̫�늳ص�I-V�����c��Ҫ���g����37
3.3.1I-V������Ҫ���܅���37
3.3.2��������40
����˼���}42
�����īI42

��4�¹�Ƭ�ƽq��ˇ44
4.1����44
4.2�ƽq��ˇĿ��45
4.2.1��Ƭ��ϴ45
4.2.2�����ƽq46
4.3��ˇԭ��47
4.3.1�ξ����ƽqԭ��47
4.3.2Ӱ����ط���48
4.3.3�ྦྷ���ƽqԭ��50
4.3.4Ӱ����ط���52
4.4���a�O���c��ˇ55
4.4.1�ξ����ƽq���a�O��55
4.4.2�ྦྷ���ƽq���a�O��57
4.5�z�y����61
4.5.1����Ƭ���a�^�̿���61
4.5.2��Ҋ��������Q�k��62
����˼���}62
�����īI63

��5�¹�Ƭ���s��ˇ65
5.1��ˇĿ��65
5.2��ˇԭ��66
5.2.1��Uɢ�C��66
5.2.2�ד��s66
5.3�Uɢ�O���c��ˇ68
5.3.1�Uɢ�O��68
5.3.2�Uɢ��ˇ����70
5.3.3�Uɢ��ˇע�����71
5.4���g��ˇ72
5.4.1���g���g���72
5.4.2�ɷ����g�O���c��ˇ74
5.4.3�񷨿��g�O���c��ˇ76
5.5���P�z�y78
5.5.1���K���y��78
5.5.2�Uɢ�ֲ��c�Y��79
5.5.3�����͜y��79
����˼���}80
�����īI81

��6�œp����Ĥ��ˇ82
6.1��ˇĿ��82
6.2�p����ԭ���c����83
6.2.1�p����ԭ��83
6.2.2�p����Ĥ�����������p�������84
6.3�p����Ĥ�Ƃ乤ˇ�c�O��85
6.3.1PECVD�Ĥ���g85
6.3.2ALD�Ĥ���g86
6.3.3僜p����Ĥ���a��ˇ87
6.4�p����Ĥ���a����90
6.5���P�z�y91
6.5.1SiNxĤ���^�ęz�92
6.5.2SiNxĤ�ĺ�ȼ������ʙz�93
����˼���}94
�����īI94

��7��늘O�Ƃ乤ˇ96
7.1��ˇĿ��96
7.2��ˇԭ��96
7.2.1ǰ늘O�D���OӋ96
7.2.2�z�Wӡˢԭ��98
7.2.3���Yԭ��99
7.2.4���Y��ˇ��늳����ܵ�Ӱ�100
7.3�z�Wӡˢ�O���c���a101
7.3.1�z�Wӡˢ���������c�{��101
7.3.2�z�Wӡˢ��ˇ�����c���a���O��107
7.3.3�O�䅢����ӡˢ��Ӱ�109
7.4���Y��ˇ110
7.5���P�z�y111
7.5.1���^�z�y111
7.5.2�ž��ߌ���112
7.5.3���|�����112
����˼���}114
�����īI114

��8��늳؜yԇ���֙n���ޏ�116
8.1������ܜyԇ116
8.1.1���-늉���I-V�����������yԇ116
8.1.2����Ч�ʜyԇ118
8.1.3��°l��yԇ119
8.1.4���°l��yԇ120
8.2늳ط֙n122
8.2.1Ч��/���ʷ֙n122
8.2.2�ɫ�����^�֙n123
8.3늳�ȱ�ݷ����c�ޏ�123
8.3.1ȱ�ݙz�y123
8.3.2�ޏͼ��g126
����˼���}126
�����īI127

��9��̫�늳ؼ��g�lչ129
9.1����129
9.2�¹�ˇ�lչ129
9.2.1�ƽq��ˇ129
9.2.2���s�¹�ˇ135
9.2.3�g���¹�ˇ139
9.2.4늘O�¹�ˇ142
9.2.5����Ƭ늳�152
9.3��Ч���w��늳ذlչ153
9.3.1PERC��TOPCon̫�늳�153
9.3.2HIT늳�162
9.3.3IBC�cHBC늳�163
9.3.4MWT늳�165
����˼���}167
�����īI167

���170
���1AM1.5G̫�ݗ����V����170
���2���w��̫�늳ط��173
���32019��̫�늳�*��Ч��ӛ䛱�174
���4���H����̫�늳��о��C��174
���5̫�늳����a��ȫ�c���o�������W��Ʒʹ�õļ��ȴ�ʩ175
���6̫��ܼ��ྦྷ��Ƭ�ϸ�aƷҎ�������I�˜ʣ�176
���7�ξ���ƬA��Ʒ�ϸ�aƷҎ��������K��ꖐ��_����˜ʣ�179