MEMS系統級建模 本書特色

　　《MEMS系統級建模/微納系統系列譯叢》是目前國內外敘述微機電系統（MEMS）系統級建模的專著。
　　MEMS技術發展對快速、高效及合適的設計工具提出了迫切需求，以便優化包括MEMS元件、控制和讀出電路以及封裝在內的完整系統性能。針對系統設計及優化需求，《MEMS系統級建模/微納系統系列譯叢》全面論述了MEMS系統級建模技術，內容共分五部分。*部分介紹了MEMS宏模型建模技術的理論基礎，包括廣義基爾霍夫網絡理論基礎，模型降階技術的理論背景，系統級仿真算法以及協同仿真。第二部分介紹了基于集總單元的宏模型建模方法及其在電熱執行器、RF MEMS器件、封裝效應、分布效應上的仿真應用。第三部分介紹了各種數學模型降階技術，包括基于矩匹配的線性模型降階技術及其在電熱模型中的應用，基于投影的模型降階技術及其在微流體、RF MEMS開關等模型中的應用，基于模態疊加的非線性模型降階技術及其在MEMS陀螺儀模型中的應用，靜電執行器的線性與非線性模型降階技術。第四部分介紹了完整系統的建模，包括含有壓電換能器、電源管理和儲能組件的能量收集模塊的系統級模型，含有電路的RF MEMS開關和諧振器的系統級模型，含有加速度計、數字控制器、RF收發器及電池的系統級模型，含有加速度計、陀螺儀及∑△調制器的系統級模型。第五部分介紹了商用軟件中的系統級建模與仿真環境，包括Coventor軟件的MEMS ，ANSYS軟件的MOR for ANSYS，SUGAR，IntelliSuite軟件的SYNPLE，MEMS Pro軟件的SoftMEMSMS，及網絡共享的設計方法。　　《MEMS系統級建模/微納系統系列譯叢》是目前國內外敘述微機電系統（MEMS）系統級建模的專著。
　　MEMS技術發展對快速、高效及合適的設計工具提出了迫切需求，以便優化包括MEMS元件、控制和讀出電路以及封裝在內的完整系統性能。針對系統設計及優化需求，《MEMS系統級建模/微納系統系列譯叢》全面論述了MEMS系統級建模技術，內容共分五部分。*部分介紹了MEMS宏模型建模技術的理論基礎，包括廣義基爾霍夫網絡理論基礎，模型降階技術的理論背景，系統級仿真算法以及協同仿真。第二部分介紹了基于集總單元的宏模型建模方法及其在電熱執行器、RF MEMS器件、封裝效應、分布效應上的仿真應用。第三部分介紹了各種數學模型降階技術，包括基于矩匹配的線性模型降階技術及其在電熱模型中的應用，基于投影的模型降階技術及其在微流體、RF MEMS開關等模型中的應用，基于模態疊加的非線性模型降階技術及其在MEMS陀螺儀模型中的應用，靜電執行器的線性與非線性模型降階技術。第四部分介紹了完整系統的建模，包括含有壓電換能器、電源管理和儲能組件的能量收集模塊的系統級模型，含有電路的RF MEMS開關和諧振器的系統級模型，含有加速度計、數字控制器、RF收發器及電池的系統級模型，含有加速度計、陀螺儀及∑△調制器的系統級模型。第五部分介紹了商用軟件中的系統級建模與仿真環境，包括Coventor軟件的MEMS ，ANSYS軟件的MOR for ANSYS，SUGAR，IntelliSuite軟件的SYNPLE，MEMS Pro軟件的SoftMEMSMS，及網絡共享的設計方法。
　　《MEMS系統級建模/微納系統系列譯叢》由來自8個國家的44名專家撰寫，內容豐富，參考文獻全面。適合微機電系統專業、微電子技術專業、半導體技術專業、傳感器技術專業、機械工程專業、儀器儀表專業、物聯網技術專業等領域的高年級本科生、研究生及工程技術人員閱讀和參考。