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MEMS系統級建模 版權信息
- ISBN：9787564172633
- 條形碼：9787564172633 ; 978-7-5641-7263-3
- 裝幀：平裝-膠訂
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
MEMS系統級建模 本書特色
《MEMS系統級建模/微納系統系列譯叢》是目前國內外敘述微機電系統（MEMS）系統級建模的專著。
MEMS技術發展對快速、高效及合適的設計工具提出了迫切需求，以便優化包括MEMS元件、控制和讀出電路以及封裝在內的完整系統性能。針對系統設計及優化需求，《MEMS系統級建模/微納系統系列譯叢》全面論述了MEMS系統級建模技術，內容共分五部分。*部分介紹了MEMS宏模型建模技術的理論基礎，包括廣義基爾霍夫網絡理論基礎，模型降階技術的理論背景，系統級仿真算法以及協同仿真。第二部分介紹了基于集總單元的宏模型建模方法及其在電熱執行器、RF MEMS器件、封裝效應、分布效應上的仿真應用。第三部分介紹了各種數學模型降階技術，包括基于矩匹配的線性模型降階技術及其在電熱模型中的應用，基于投影的模型降階技術及其在微流體、RF MEMS開關等模型中的應用，基于模態疊加的非線性模型降階技術及其在MEMS陀螺儀模型中的應用，靜電執行器的線性與非線性模型降階技術。第四部分介紹了完整系統的建模，包括含有壓電換能器、電源管理和儲能組件的能量收集模塊的系統級模型，含有電路的RF MEMS開關和諧振器的系統級模型，含有加速度計、數字控制器、RF收發器及電池的系統級模型，含有加速度計、陀螺儀及∑△調制器的系統級模型。第五部分介紹了商用軟件中的系統級建模與仿真環境，包括Coventor軟件的MEMS ，ANSYS軟件的MOR for ANSYS，SUGAR，IntelliSuite軟件的SYNPLE，MEMS Pro軟件的SoftMEMSMS，及網絡共享的設計方法。 《MEMS系統級建模/微納系統系列譯叢》是目前國內外敘述微機電系統（MEMS）系統級建模的專著。
MEMS技術發展對快速、高效及合適的設計工具提出了迫切需求，以便優化包括MEMS元件、控制和讀出電路以及封裝在內的完整系統性能。針對系統設計及優化需求，《MEMS系統級建模/微納系統系列譯叢》全面論述了MEMS系統級建模技術，內容共分五部分。*部分介紹了MEMS宏模型建模技術的理論基礎，包括廣義基爾霍夫網絡理論基礎，模型降階技術的理論背景，系統級仿真算法以及協同仿真。第二部分介紹了基于集總單元的宏模型建模方法及其在電熱執行器、RF MEMS器件、封裝效應、分布效應上的仿真應用。第三部分介紹了各種數學模型降階技術，包括基于矩匹配的線性模型降階技術及其在電熱模型中的應用，基于投影的模型降階技術及其在微流體、RF MEMS開關等模型中的應用，基于模態疊加的非線性模型降階技術及其在MEMS陀螺儀模型中的應用，靜電執行器的線性與非線性模型降階技術。第四部分介紹了完整系統的建模，包括含有壓電換能器、電源管理和儲能組件的能量收集模塊的系統級模型，含有電路的RF MEMS開關和諧振器的系統級模型，含有加速度計、數字控制器、RF收發器及電池的系統級模型，含有加速度計、陀螺儀及∑△調制器的系統級模型。第五部分介紹了商用軟件中的系統級建模與仿真環境，包括Coventor軟件的MEMS ，ANSYS軟件的MOR for ANSYS，SUGAR，IntelliSuite軟件的SYNPLE，MEMS Pro軟件的SoftMEMSMS，及網絡共享的設計方法。
《MEMS系統級建模/微納系統系列譯叢》由來自8個國家的44名專家撰寫，內容豐富，參考文獻全面。適合微機電系統專業、微電子技術專業、半導體技術專業、傳感器技術專業、機械工程專業、儀器儀表專業、物聯網技術專業等領域的高年級本科生、研究生及工程技術人員閱讀和參考。
MEMS系統級建模 內容簡介
本書論述了MEMS系統級建模技術, 內容共分五部分。**部分介紹了MEMS宏模型建模技術的理論基礎。第二部分介紹了基于集總單元的宏模型建模方法及其在電熱執行器、RF MEMS器件、封裝效應、分布效應上的仿真應用。第三部分介紹了各種數學模型降階技術。第四部分介紹了完整系統的建模。第五部分介紹了商用軟件中的系統級建模與仿真環境。
MEMS系統級建模 目錄
**部分 物理和數學基礎
l 微系統建模概論
1．1 微系統的系統級模型需求
1．2 耦合多物理場微系統
1．3 多尺度建模與仿真
1．4 系統級模型術語
1．5 自動化模型降階方法
1．6 復雜問題處理：參考VLSI范式
1．7 模擬硬件描述語言
1．8 系統級模型的一般屬性
1．9 AHDL的仿真能力
1．10 可組合模型庫
1．11 參數提取、模型驗證和模型確認
1．12 總結
參考文獻
2 利用廣義基爾霍夫網絡理論的MEMS系統級建模——基本原理
2．1 引言
2．2 微系統特定系統級建模的廣義基爾霍夫網絡
2．2．1 微器件及系統的通用建模方法
2．2．2 從連續場到宏模型
2．2．3 宏模型推導方法
2．3 應用1：基于物理的靜電驅動泵的電流體宏模型
2．3．1 膜驅動的宏模型
2．3．2 閥的宏模型
2．3．3 管道的系統級模型
2．3．4 基于物理的微泵系統級模型
2．3．5 模型校準和參數提取
2．4 應用2：靜電驅動RF MEMS開關
2．5 總結
參考文獻
3 利用模型降階法的MEMS系統級建模——數學背景
3．1 引言
3．2 概述
3．3 數學基礎
3．3．1 標量、矢量和矩陣
3．3．2 向量空間、子空間、線性無關和基
3．3．3 拉普拉斯變換
3．3．4 有理函數
3．3．5 范數
3．4 數值算法
3．5 線性系統理論
3．5．1 傳遞函數
3．5．2 對任意兩個不同LTI系統間偏差的測量
3．5．3 可控性和可觀性
3．5．4 實現理論
3．5．5 系統的穩定性和無源性
3．6 模型降階方法的基本思想
3．7 矩匹配模型降階方法
3．7．1 矩和矩向量
3．7．2 投影矩陣W和V的計算
3．7．3 展開點的不同選擇
3．7．4 矩匹配MOR方法的發展
3．8 基于Gramian矩陣的模型降階方法
3．8．1 平衡截斷法的動機
3．8．2 平衡變換
3．8．3 截斷
3．8．4 平衡變換的計算
3．8．5 計算Gramian矩陣的加速方法
3．8．6 擴展到更普遍的系統
3．9 降階模型的穩定性、無源性和誤差估計
3．9．1 矩匹配MOR方法的穩定性、無源性和誤差界
……
第二部分 MEMS器件的集總單元建模方法
第三部分 MEMS器件的數學模型降價
第四部分 完整微系統建模
第五部分 軟件實現
l 微系統建模概論
1．1 微系統的系統級模型需求
1．2 耦合多物理場微系統
1．3 多尺度建模與仿真
1．4 系統級模型術語
1．5 自動化模型降階方法
1．6 復雜問題處理：參考VLSI范式
1．7 模擬硬件描述語言
1．8 系統級模型的一般屬性
1．9 AHDL的仿真能力
1．10 可組合模型庫
1．11 參數提取、模型驗證和模型確認
1．12 總結
參考文獻
2 利用廣義基爾霍夫網絡理論的MEMS系統級建模——基本原理
2．1 引言
2．2 微系統特定系統級建模的廣義基爾霍夫網絡
2．2．1 微器件及系統的通用建模方法
2．2．2 從連續場到宏模型
2．2．3 宏模型推導方法
2．3 應用1：基于物理的靜電驅動泵的電流體宏模型
2．3．1 膜驅動的宏模型
2．3．2 閥的宏模型
2．3．3 管道的系統級模型
2．3．4 基于物理的微泵系統級模型
2．3．5 模型校準和參數提取
2．4 應用2：靜電驅動RF MEMS開關
2．5 總結
參考文獻
3 利用模型降階法的MEMS系統級建模——數學背景
3．1 引言
3．2 概述
3．3 數學基礎
3．3．1 標量、矢量和矩陣
3．3．2 向量空間、子空間、線性無關和基
3．3．3 拉普拉斯變換
3．3．4 有理函數
3．3．5 范數
3．4 數值算法
3．5 線性系統理論
3．5．1 傳遞函數
3．5．2 對任意兩個不同LTI系統間偏差的測量
3．5．3 可控性和可觀性
3．5．4 實現理論
3．5．5 系統的穩定性和無源性
3．6 模型降階方法的基本思想
3．7 矩匹配模型降階方法
3．7．1 矩和矩向量
3．7．2 投影矩陣W和V的計算
3．7．3 展開點的不同選擇
3．7．4 矩匹配MOR方法的發展
3．8 基于Gramian矩陣的模型降階方法
3．8．1 平衡截斷法的動機
3．8．2 平衡變換
3．8．3 截斷
3．8．4 平衡變換的計算
3．8．5 計算Gramian矩陣的加速方法
3．8．6 擴展到更普遍的系統
3．9 降階模型的穩定性、無源性和誤差估計
3．9．1 矩匹配MOR方法的穩定性、無源性和誤差界
……
第二部分 MEMS器件的集總單元建模方法
第三部分 MEMS器件的數學模型降價
第四部分 完整微系統建模
第五部分 軟件實現
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