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微系統設計導論 版權信息
- ISBN:9787302517573
- 條形碼:9787302517573 ; 978-7-302-51757-3
- 裝幀:平裝-膠訂
- 冊數:暫無
- 重量:暫無
- 所屬分類:>
微系統設計導論 本書特色
《微系統設計導論(第2版)》系統介紹組成微系統的基本微結構、功能單元和典型器件的設計,包括薄層、彈性元件(如膜片、微梁)、應變和位移的檢測單元、電阻和電容的測量電路、靜電驅動力、壓電效應、毛細管力、微流體控制單元、微傳感器、微執行器等,并附大量的設計計算練習題。
微系統設計導論 內容簡介
《微系統設計導論(第2版)》是以微結構設計與系統功能優化為基礎,詳細介紹微系統設計的教科書。本書通過建立和求解系統方程來進行參數設計,而微系統和微結構的工作原理是建立解析方程的基礎,因此本書著重介紹微結構在微系統中的應用及其工作原理的表達式。
微系統設計導論 目錄
目錄
緒論 第1章尺度效應 第2章彈性變形 第3章薄膜
練習題
第4章導路
練習題
第5章電學測量
練習題
第6章膜片
練習題
第7章膜片上的應變計
練習題
第8章梁
練習題
第9章振動
練習題
第10章微流道
練習題
第11章電容力
練習題
第12章壓電效應
練習題
第13章熱執行器
練習題
第14章微光學技術
練習題
第15章擴散
練習題
第16章微閥
練習題
第17章微泵
練習題
第18章微量給料
第19章物理域的類比性
練習題
第20章機械電子器件
練習題
第21章壓力傳感器
練習題
第22章流量傳感器
練習題
第23章慣性傳感器
練習題
參考文獻
緒論 第1章尺度效應 第2章彈性變形 第3章薄膜
練習題
第4章導路
練習題
第5章電學測量
練習題
第6章膜片
練習題
第7章膜片上的應變計
練習題
第8章梁
練習題
第9章振動
練習題
第10章微流道
練習題
第11章電容力
練習題
第12章壓電效應
練習題
第13章熱執行器
練習題
第14章微光學技術
練習題
第15章擴散
練習題
第16章微閥
練習題
第17章微泵
練習題
第18章微量給料
第19章物理域的類比性
練習題
第20章機械電子器件
練習題
第21章壓力傳感器
練習題
第22章流量傳感器
練習題
第23章慣性傳感器
練習題
參考文獻
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