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國防工業出版社氣相沉積薄膜強韌化技術 版權信息
- ISBN:9787118115222
- 條形碼:9787118115222 ; 978-7-118-11522-2
- 裝幀:一般膠版紙
- 冊數:暫無
- 重量:暫無
- 所屬分類:>
國防工業出版社氣相沉積薄膜強韌化技術 內容簡介
本書重點介紹了作者課題組近幾年來在國家自然科學基金、國防預研基金、重點實驗室基金等一系列基礎研究項目的支持下,在物理氣相沉積硬質薄膜強韌化方法、理論、表征及強韌化薄膜應用領域的研究成果。主要論述了如何制備和表征具有強、韌性能的薄膜,包括薄膜的制備方法,薄膜強化技術,薄膜韌化技術,薄膜的強韌性能表征,薄膜內應力,強韌化薄膜實例。
國防工業出版社氣相沉積薄膜強韌化技術 目錄
第1章 薄膜制備方法
1.1 基本概念
1.1.1 薄膜生長過程
1.1.2 薄膜結構模型
1.1.3 等離子體
1.2 物理氣相沉積
1.2.1 蒸發鍍膜
1.2.2 濺射鍍膜
1.2.3 離子鍍膜
1.2.4 離子束輔助氣相沉積
1.3 化學氣相沉積
1.3.1 化學反應原理
1.3.2 化學氣相沉積技術的分類和簡介
1.3.3 化學氣相沉積過程及特點
1.3.4 化學氣相沉積技術在工模具上的應用
1.4 氣相沉積技術的應用及進展
1.5 小結
第2章 薄膜強化技術
2.1 薄膜的強化方法
2.1.1 細晶強化
2.1.2 強化晶界
2.1.3 固溶和析出強化
2.1.4 離子束輔助轟擊強化
2.1.5 多層強化
2.2 常見硬質薄膜類型
2.2.1 納米多層膜
2.2.2 納米復合膜
2.2.3 非晶碳膜
2.3 小結
第3章 薄膜韌化技術
3.1 概念及內涵
3.1.1 從斷裂能角度理解韌化
3.1.2 斷裂韌性(KIC)
3.1.3 能量釋放率(GIC)
3.2 薄膜的韌化方法
3.2.1 韌性相韌化
3.2.2 納米晶結構設計韌化
3.2.3 成分和結構梯度韌化
3.2.4 多層結構韌化
3.2.5 壓應力韌化
3.2.6 相變韌化
3.2.7 碳納米管韌化
3.3 高韌性薄膜的設計
3.4 小結
第4章 薄膜的強韌原理、關鍵力學指標及其表征
4.1 強韌化力學原理
4.1.1 材料強韌化的三個層次
4.1.2 從微觀結構角度理解薄膜的強韌化
4.2 強韌化關鍵力學指標
4.3 強韌化力學指標表征方法及應用
4.3.1 硬度(H)及彈性模量(E)
4.3.2 結合強度
4.3.3 韌性
4.4 小結
第5章 薄膜內應力對強韌化的影響
5.1 氣相沉積薄膜的內應力
5.1.1 內應力概念
5.1.2 薄膜內應力產生的原因
5.1.3 薄膜內應力的測試方法
5.1.4 薄膜內應力的調控
5.2 內應力對強韌化力學性能的影響
5.2.1 內應力對硬度的影響
5.2.2 內應力對結合強度的影響
5.2.3 內應力對韌性的影響
5.3 典型薄膜體系的內應力與強韌性能研究
5.3.1 Ti薄膜的殘余應力與力學性能
5.3.2 Ti/TiN多層薄膜的內應力與力學性能
5.3.3 Cu/Si薄膜的內應力與力學性能
5.3.4 SiNx:H薄膜的內應力與斷裂韌性
5.4 小結
第6章 薄膜強韌化技術實例
6.1 耐磨損CrN基薄膜的強韌化
6.1.1 工藝方法對強韌性能的影響
6.1.2 多層結構提高強韌性能
6.1.3 合金化提高強韌性能
6.2 耐沖蝕ZrN基薄膜的強韌化
6.2.1 工藝方法對強韌性能影響
6.2.2 多層結構提高強韌性能
6.2.3 合金化提高強韌性能
6.3 非晶碳膜強韌化
6.3.1 典型強韌非晶碳膜的力學性能及影響因素
6.3.2 合金化實現碳基薄膜的強韌化
6.3.3 膜層結構設計實現碳基薄膜強韌化
6.4 小結
參考文獻
展開全部
國防工業出版社氣相沉積薄膜強韌化技術 作者簡介
杜軍,北京航空航天大學大數據科學與腦機智能高精尖創新中心高級研發工程師,博士,碩士生導師。2003年畢業于西安交通大學材料科學與工程學院表面工程專業,2010年在裝甲兵工程學院獲博士學位。2012—2013年英國伯明翰大學訪問學者。主要從事氣相沉積技術研究,包括表面改性、多層及復合硬質薄膜、多層膜器件等。已發表論文40余篇,獲得授權國內發明專利4項。
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