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NEMS傳感器的研制與應用 版權信息
- ISBN：9787502474423
- 條形碼：9787502474423 ; 978-7-5024-7442-3
- 裝幀：暫無
- 冊數(shù)：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
NEMS傳感器的研制與應用 內(nèi)容簡介
《NEMS傳感器的研制與應用》概述了NEMS傳感器的結構類型、加工工藝類型和常用的測試方案，并對目前國內(nèi)外NEMS傳感器研究取得的研究成果和發(fā)展現(xiàn)狀進行了總結分析：針對NEMS傳感器比較常見的場效應晶體管結構，詳細闡述了兩種不同的一維納米結構組裝NEMS器件的工藝方法，以及器件電路結構加工工藝等；并將硅納米線場效應晶體管結構的傳感器應用于空氣生物氣溶膠的在線檢測；對NEMS傳感器未來的發(fā)展方向進行了展望。《NEMS傳感器的研制與應用》可供相關科研單位技術人員和大專院校相關專業(yè)師生參考。
NEMS傳感器的研制與應用 目錄
1 NEMS傳感器的結構及加工工藝設計
1.1 NEMS傳感器的敏感元件：一維納米材料
1.1.1 納米管、納米線、納米帶
1.1.1.1 碳納米管
1.1.1.2 納米線
1.1.1.3 納米帶
1.1.2 一維納米材料的機電性能
1.2 基于一維納米材料的NEMS生物傳感器設計
1.2.1 NEMS傳感器系統(tǒng)設計
1.2.2 傳感器加工工藝
1.2.3 傳感器測試方案
1.2.3.1 掃描電鏡測試
1.2.3.2 器件的電特性測試
1.2.3.3 生物檢測實驗
2 基于一維納米材料的NEMS傳感器研究進展
2.1 碳納米管原位生長
2.2 碳納米管生長后組裝
2.3 碳納米管的多層結構制造
2.4 NEMS器件的電學特性研究進展
2.5 基于一維納米材料NEMS器件制備方法的研究意義
3 面向NEMS器件的一維納米結構流體組裝
3.1 碳納米管懸浮液的配制
3.2 組裝碳納米管的基片修飾與選擇
3.2.1 基片修飾預處理
3.2.2 基片選擇
3.3 流體定向組裝碳納米管
3.3.1 流體定向組裝原理
3.3.2 流體組裝實驗裝置設計
3.3.3 流體組裝仿真計算
3.3.3.1 計算模型
3.3.3.2 仿真計算結果
3.3.4 流體組裝實驗
3.3.4.1 碳納米管流體組裝實驗
3.3.4.2 其他一維納米材料流體組裝實驗
3.4 碳納米管方向一致性評價
3.5 本章小結
4 面向NEMS器件的一維納米結構介電電泳組裝
4.1 介電電泳組裝概述
4.2 碳納米管的介電電泳排列組裝
4.2.1 介電電泳場強分布仿真
4.2.2 介電電泳實驗
4.2.3 介電電泳組裝的影響因素分析
4.2.3.1 電極寬度
4.2.3.2 電泳時間
4.2.3.3 電場模式
4.2.4 其他一維納米材料的介電電泳組裝
4.2.4.1 單壁碳納米管
4.2.4.2 碳納米纖維
4.2.4.3 Bi2S3半導體納米線
4.3 碳納米管的單層有序多層結構制備
4.3.1 介電電泳結合LBL組裝方法
4.3.2 介電電泳與LBL組裝實驗
4.3.3 碳納米管單層有序的縱向多層結構
4.4 流體與介電電泳結合排列組裝碳納米管
4.4.1 流體參數(shù)選擇
4.4.2 電場參數(shù)選擇
4.4.3 流體結合電泳組裝與電泳組裝和流體組裝比較
4.5 本章小結
5 面向NEMS器件的電接觸性能研究
5.1 電接觸的理論分析
5.2 碳納米管金屬引線制作方法
5.3 金屬電極上沉積碳納米管的接觸特性研究
5.3.1 振動破壞實驗驗證接觸可靠性
5.3.1.1 振動實驗裝置
5.3.1.2 加速度1～10g垂直方向振動對接觸的影響
5.3.1.3 加速度大于10g的振動對接觸的影響
5.3.2 高溫退火改善接觸研究
5.3.2.1 高溫退火實驗
5.3.2.2 實驗結果分析
5.4 圖形化金屬包覆碳納米管的引線接觸研究
5.4.1 金屬選擇
5.4.2 金屬引線電極制作
5.4.2.1 電極圖形及工藝設計
5.4.2.2 金屬腐蝕
5.4.2.3 接觸狀態(tài)比較
5.5 本章小結
6 NEMS傳感器在空氣環(huán)境檢測中的應用
6.1 NEMS傳感器應用于空氣環(huán)境檢測的研究進展
6.2 以硅納米線為敏感元件的NEMS傳感器
6.2.1 敏感元件
6.2.1.1 硅納米線制備
6.2.1.2 硅納米線的表面修飾
6.2.2 傳感器結構
6.2.3 基于場效應晶體管結構的納米線傳感器檢測原理
6.3 空氣微生物檢測系統(tǒng)
6.3.1 氣溶膠發(fā)生裝置
6.3.2 氣溶膠樣品采集
6.3.2.1 氣溶膠靜電采樣原理
6.3.2.2 氣溶膠采樣器結構
6.3.2.3 采樣器電場分布計算
6.3.2.4 采樣器的物理采集效率實驗分析
6.3.2.5 NEMS傳感器檢測用樣品的輸運
6.3.3 信號處理及顯示裝置
6.4 采用NEMS傳感器檢測實驗
7 NEMS傳感器的發(fā)展趨勢及應用前景展望
7.1 NEMS傳感器研究的發(fā)展趨勢
7.1.1 納米材料的制備及性能研究
7.1.2 器件的結構研究
7.1.3 器件的加工工藝
7.2 NEMS傳感器的應用前景展望
參考文獻
后記
1.1 NEMS傳感器的敏感元件：一維納米材料
1.1.1 納米管、納米線、納米帶
1.1.1.1 碳納米管
1.1.1.2 納米線
1.1.1.3 納米帶
1.1.2 一維納米材料的機電性能
1.2 基于一維納米材料的NEMS生物傳感器設計
1.2.1 NEMS傳感器系統(tǒng)設計
1.2.2 傳感器加工工藝
1.2.3 傳感器測試方案
1.2.3.1 掃描電鏡測試
1.2.3.2 器件的電特性測試
1.2.3.3 生物檢測實驗
2 基于一維納米材料的NEMS傳感器研究進展
2.1 碳納米管原位生長
2.2 碳納米管生長后組裝
2.3 碳納米管的多層結構制造
2.4 NEMS器件的電學特性研究進展
2.5 基于一維納米材料NEMS器件制備方法的研究意義
3 面向NEMS器件的一維納米結構流體組裝
3.1 碳納米管懸浮液的配制
3.2 組裝碳納米管的基片修飾與選擇
3.2.1 基片修飾預處理
3.2.2 基片選擇
3.3 流體定向組裝碳納米管
3.3.1 流體定向組裝原理
3.3.2 流體組裝實驗裝置設計
3.3.3 流體組裝仿真計算
3.3.3.1 計算模型
3.3.3.2 仿真計算結果
3.3.4 流體組裝實驗
3.3.4.1 碳納米管流體組裝實驗
3.3.4.2 其他一維納米材料流體組裝實驗
3.4 碳納米管方向一致性評價
3.5 本章小結
4 面向NEMS器件的一維納米結構介電電泳組裝
4.1 介電電泳組裝概述
4.2 碳納米管的介電電泳排列組裝
4.2.1 介電電泳場強分布仿真
4.2.2 介電電泳實驗
4.2.3 介電電泳組裝的影響因素分析
4.2.3.1 電極寬度
4.2.3.2 電泳時間
4.2.3.3 電場模式
4.2.4 其他一維納米材料的介電電泳組裝
4.2.4.1 單壁碳納米管
4.2.4.2 碳納米纖維
4.2.4.3 Bi2S3半導體納米線
4.3 碳納米管的單層有序多層結構制備
4.3.1 介電電泳結合LBL組裝方法
4.3.2 介電電泳與LBL組裝實驗
4.3.3 碳納米管單層有序的縱向多層結構
4.4 流體與介電電泳結合排列組裝碳納米管
4.4.1 流體參數(shù)選擇
4.4.2 電場參數(shù)選擇
4.4.3 流體結合電泳組裝與電泳組裝和流體組裝比較
4.5 本章小結
5 面向NEMS器件的電接觸性能研究
5.1 電接觸的理論分析
5.2 碳納米管金屬引線制作方法
5.3 金屬電極上沉積碳納米管的接觸特性研究
5.3.1 振動破壞實驗驗證接觸可靠性
5.3.1.1 振動實驗裝置
5.3.1.2 加速度1～10g垂直方向振動對接觸的影響
5.3.1.3 加速度大于10g的振動對接觸的影響
5.3.2 高溫退火改善接觸研究
5.3.2.1 高溫退火實驗
5.3.2.2 實驗結果分析
5.4 圖形化金屬包覆碳納米管的引線接觸研究
5.4.1 金屬選擇
5.4.2 金屬引線電極制作
5.4.2.1 電極圖形及工藝設計
5.4.2.2 金屬腐蝕
5.4.2.3 接觸狀態(tài)比較
5.5 本章小結
6 NEMS傳感器在空氣環(huán)境檢測中的應用
6.1 NEMS傳感器應用于空氣環(huán)境檢測的研究進展
6.2 以硅納米線為敏感元件的NEMS傳感器
6.2.1 敏感元件
6.2.1.1 硅納米線制備
6.2.1.2 硅納米線的表面修飾
6.2.2 傳感器結構
6.2.3 基于場效應晶體管結構的納米線傳感器檢測原理
6.3 空氣微生物檢測系統(tǒng)
6.3.1 氣溶膠發(fā)生裝置
6.3.2 氣溶膠樣品采集
6.3.2.1 氣溶膠靜電采樣原理
6.3.2.2 氣溶膠采樣器結構
6.3.2.3 采樣器電場分布計算
6.3.2.4 采樣器的物理采集效率實驗分析
6.3.2.5 NEMS傳感器檢測用樣品的輸運
6.3.3 信號處理及顯示裝置
6.4 采用NEMS傳感器檢測實驗
7 NEMS傳感器的發(fā)展趨勢及應用前景展望
7.1 NEMS傳感器研究的發(fā)展趨勢
7.1.1 納米材料的制備及性能研究
7.1.2 器件的結構研究
7.1.3 器件的加工工藝
7.2 NEMS傳感器的應用前景展望
參考文獻
后記
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