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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝基礎(chǔ)與應(yīng)用 版權(quán)信息
- ISBN：9787560351094
- 條形碼：9787560351094 ; 978-7-5603-5109-4
- 裝幀：暫無
- 冊數(shù)：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝基礎(chǔ)與應(yīng)用 內(nèi)容簡介
本書著重從基本理論和具體應(yīng)用方面闡述MEMS工藝。主要介紹了MEMS的概念、發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢及力學(xué)相關(guān)知識 ; 重點闡述了MEMS實現(xiàn)工藝, 主要有刻蝕, 表面微加工工藝的基本原理及其常用材料等內(nèi)容。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝基礎(chǔ)與應(yīng)用 目錄
第1章 MEMS系統(tǒng)簡介
1．1 MEMS的基本概念及特點
1．2 MEMS的研究領(lǐng)域
1．3 MEMS的發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢
第2章 MEMS相關(guān)力學(xué)基礎(chǔ)
2．1 應(yīng)力與應(yīng)變
2．2 簡單負(fù)載條件下?lián)闲粤旱膹澢?br>2．3 扭轉(zhuǎn)變形
2．4 本征應(yīng)力
2．5 動態(tài)系統(tǒng)、諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)
2．6 彈簧常數(shù)和諧振頻率的調(diào)節(jié)
第3章 體硅加工工藝
3．1 濕法刻蝕
3．2 刻蝕自停止技術(shù)
3．3 干法刻蝕
3．4 SCREAM工藝
第4章 表面微加工工藝
4．1 表面微加工基本原理
4．2 多晶硅的表面微加工
4．3 SOI表面微加工
4．4 光刻膠表面微加工
4．5 表面微加工中的力學(xué)問題
4．6 體硅加工技術(shù)與表面微加工技術(shù)
4．7 HARPSS工藝
4．8 Hexsil工藝
第5章 硅片鍵合工藝
5．1 陽極鍵合
5．2 硅熔融鍵合
5．3 黏合劑鍵合
5．4 共晶鍵合
5．5 BDRIE工藝
5．6 硅片溶解法
第6章 LIGA技術(shù)
6．1 UGA基本工藝流程
6．2 制作技術(shù)
6．3 LIGA技術(shù)的擴(kuò)展
6．4 EFAB技術(shù)
6．5 其他微加工技術(shù)
第7章 MEMS傳感器
7．1 MEMS物理傳感器
7．2 MEMS化學(xué)量傳感器
7．3 MEMS生物量傳感器
第8章 MEMS執(zhí)行器
8．1 MEMS執(zhí)行器的材料
8．2 MEMS電動機(jī)
8．3 微泵與微閥
8．4 微閥
8．5 微行星齒輪減速器
第9章 MEMS的封裝
9．1 MEMS的封裝材料
9．2 MEMS的封裝工藝
第10章 MEMS的應(yīng)用及檢測技術(shù)
10．1 MEMS應(yīng)用
10．2 MEMS的檢測
參考文獻(xiàn)
1．1 MEMS的基本概念及特點
1．2 MEMS的研究領(lǐng)域
1．3 MEMS的發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢
第2章 MEMS相關(guān)力學(xué)基礎(chǔ)
2．1 應(yīng)力與應(yīng)變
2．2 簡單負(fù)載條件下?lián)闲粤旱膹澢?br>2．3 扭轉(zhuǎn)變形
2．4 本征應(yīng)力
2．5 動態(tài)系統(tǒng)、諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)
2．6 彈簧常數(shù)和諧振頻率的調(diào)節(jié)
第3章 體硅加工工藝
3．1 濕法刻蝕
3．2 刻蝕自停止技術(shù)
3．3 干法刻蝕
3．4 SCREAM工藝
第4章 表面微加工工藝
4．1 表面微加工基本原理
4．2 多晶硅的表面微加工
4．3 SOI表面微加工
4．4 光刻膠表面微加工
4．5 表面微加工中的力學(xué)問題
4．6 體硅加工技術(shù)與表面微加工技術(shù)
4．7 HARPSS工藝
4．8 Hexsil工藝
第5章 硅片鍵合工藝
5．1 陽極鍵合
5．2 硅熔融鍵合
5．3 黏合劑鍵合
5．4 共晶鍵合
5．5 BDRIE工藝
5．6 硅片溶解法
第6章 LIGA技術(shù)
6．1 UGA基本工藝流程
6．2 制作技術(shù)
6．3 LIGA技術(shù)的擴(kuò)展
6．4 EFAB技術(shù)
6．5 其他微加工技術(shù)
第7章 MEMS傳感器
7．1 MEMS物理傳感器
7．2 MEMS化學(xué)量傳感器
7．3 MEMS生物量傳感器
第8章 MEMS執(zhí)行器
8．1 MEMS執(zhí)行器的材料
8．2 MEMS電動機(jī)
8．3 微泵與微閥
8．4 微閥
8．5 微行星齒輪減速器
第9章 MEMS的封裝
9．1 MEMS的封裝材料
9．2 MEMS的封裝工藝
第10章 MEMS的應(yīng)用及檢測技術(shù)
10．1 MEMS應(yīng)用
10．2 MEMS的檢測
參考文獻(xiàn)
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