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氧化鋅和氮化鋁薄膜制備與表征實(shí)例 版權(quán)信息
- ISBN：9787502469177
- 條形碼：9787502469177 ; 978-7-5024-6917-7
- 裝幀：一般膠版紙
- 冊(cè)數(shù)：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
氧化鋅和氮化鋁薄膜制備與表征實(shí)例 本書特色
本書以實(shí)例的形式，介紹了用磁控濺射法制備氧化鋅（zno）薄膜、氮化鋁（aln）薄膜和zno/aln復(fù)合膜的詳細(xì)工藝和性能表征。全書共分8章，第1章主要介紹zno的晶體結(jié)構(gòu)、能帶結(jié)構(gòu)、性能與應(yīng)用；第2章主要介紹aln的晶體結(jié)構(gòu)、能帶結(jié)構(gòu)、性能與應(yīng)用；第3章主要介紹zno和aln薄膜的常用制備方法及性能表征手段；第4~6章分別介紹了aln薄膜、zno薄膜、zno/aln復(fù)合膜的制備方法與性能表征；第7章主要介紹不同濺射時(shí)間下aln緩沖層對(duì)zno薄膜的影響；第8章主要介紹退火溫度對(duì)n摻雜zno薄膜的影響。
氧化鋅和氮化鋁薄膜制備與表征實(shí)例 內(nèi)容簡介
本書的特色在于同時(shí)介紹了aln和zno兩種薄膜材料，并詳細(xì)探討了以aln為過渡層對(duì)zno薄膜的影響。本書與同類圖書比較的優(yōu)勢在于詳細(xì)介紹了aln和zno兩種材料的制備工藝，讀者通過此書不但可以對(duì)這兩種材料的制備方法有一個(gè)全面的了解，而且可以掌握一種以aln為過渡層制備zno薄膜的方法，相信此書定會(huì)給讀者帶來很大的收獲。
氧化鋅和氮化鋁薄膜制備與表征實(shí)例 目錄
第1章 zno概述 6
1.1 引言 6
1.2 zno的晶體結(jié)構(gòu) 7
1.3 zno的結(jié)構(gòu)形態(tài) 8
1.3.1 zno體單晶 8
1.3.2 zno薄膜 8
1.3.3 zno納米結(jié)構(gòu) 8
1.4 zno的能帶結(jié)構(gòu) 9
1.5 zno的基本性質(zhì) 9
1.5.1 zno的電學(xué)性質(zhì) 10
1.5.2 zno的光學(xué)性質(zhì) 10
1.5.3 zno的其特性 11
1.6 zno薄膜的應(yīng)用 11
1.6.1 聲表面波器件 12
1.6.2 紫外光電探測器 13
1.6.3 肖特基紫外探測器 13
1.6.4 稀磁半導(dǎo)體 14
1.6.5 發(fā)光器件 14
1.6.6 氣敏傳感器 14
1.6.7 壓敏器件 15
1.6.8 透明電極 15
1.6.9 緩沖層 15
1.6.10 zno基led 16
1.7 zno的本征缺陷 17
1.7.1 zno的本征點(diǎn)缺陷 18
1.7.2 zno薄膜的能級(jí) 18
1.8 zno的摻雜 19
1.8.1控制本征缺陷制備p型zno 19
1.8.2 i族元素單一受主摻雜 20
1.8.3 ib族元素單一受主摻雜 21
1.8.4 v族元素單一受主摻雜 21
1.8.5 受主-施主共摻雜 23
1.8.6 雙受主共摻雜 23
1.8.7 稀土摻雜 23
參考文獻(xiàn) 24
第2章 aln概述 34
2.1 引言 34
2.2 aln的晶體結(jié)構(gòu) 34
2.3 aln的能帶結(jié)構(gòu) 35
2.4 aln的特性 36
2.4.1 硬度 36
2.4.2 化學(xué)穩(wěn)定性 36
2.4.3 熱穩(wěn)定性 37
2.4.4 電學(xué)性能 37
2.4.5 光學(xué)性能 37
2.5 a1n薄膜的應(yīng)用 38
2.5.1 聲表面波器件 38
2.5.2 發(fā)光材料 39
2.5.3 濾波器、諧振器 39
2.5.4 生物傳感器 40
2.5.5 能量搜集器 40
2.5.6 紫外探測器 41
2.5.7 緩沖層 41
2.5.8 soi材料的絕緣埋層 42
2.5.9 單色冷陰極材料 42
2.5.10 刀具涂層 42
2.5.11 作為磁光記錄材料表面的增透膜 42
參考文獻(xiàn) 43
第3章 zno和aln薄膜的常用制備方法及性能表征手段 50
3.1 引言 50
3.2 zno和aln薄膜常用的制備方法 51
3.2.1 超聲噴霧熱分解(usp) 51
3.2.2 溶膠-凝膠(sol-gel) 51
3.2.3 分子束外延(mbe) 52
3.2.4 金屬有機(jī)物氣相沉積(mocvd) 52
3.2.5 脈沖激光沉積(pld) 53
3.2.6 真空蒸發(fā)(ve) 53
3.2.7 電子束蒸發(fā)(e-beam evaporation) 54
3.2.8 離子束輔助沉積(ibad) 55
3.2.9 濺射法 55
3.3 濺射鍍膜的基本原理 56
3.3.1 輝光放電和濺射機(jī)理 56
3.3.2 濺射特性 58
3.3.3 濺射過程 59
3.3.4 射頻磁控反應(yīng)濺射技術(shù) 61
3.4 多靶磁控濺射技術(shù) 65
3.5 實(shí)驗(yàn)設(shè)備 65
3.5.1多靶磁控濺射儀 65
3.5.2 高真空燒結(jié)爐 66
3.6 zno和aln薄膜常用的性能表征手段 66
3.6.1 x射線衍射分析(xrd) 67
3.6.2原子力顯微鏡(afm) 69
3.6.3 霍爾效應(yīng)測試(hall) 71
3.6.4 掃描電子顯微鏡(sem) 72
3.6.5 紫外分光光度計(jì) 73
3.6.6 熒光分光光度計(jì)(pl) 74
3.6.7 拉曼光譜儀 75
3.6.8 電子探針顯微分析(epma) 76
參考文獻(xiàn) 77
第4章 aln薄膜的制備與性能表征 79
4.1引言 79
4.2過渡層概述 79
4.3 aln薄膜的制備 80
4.3.1 實(shí)驗(yàn)裝置 80
4.3.2 襯底的預(yù)處理 81
4.3.3 樣品制備工藝參數(shù) 81
4.3.4 制備aln薄膜的實(shí)驗(yàn)步驟 81
4.4工藝參數(shù)對(duì)aln薄膜性能的影響 82
4.4.1 襯底溫度對(duì)aln薄膜性能的影響 82
4.4.2 工作氣壓對(duì)aln薄膜性能的影響 83
4.4.3 濺射功率對(duì)aln薄膜性能的影響 84
4.5 aln薄膜性能表征的分析總結(jié) 85
參考文獻(xiàn) 86
第5章 zno薄膜的制備與性能表征 87
5.1引言 87
5.2 zno薄膜的制備 87
5.2.1 實(shí)驗(yàn)裝置 87
5.2.2 襯底的預(yù)處理 87
5.2.3 樣品制備工藝參數(shù) 88
5.2.4 制備zno薄膜的實(shí)驗(yàn)步驟 88
5.3工藝參數(shù)對(duì)zno薄膜性能的影響 89
5.3.1 襯底溫度對(duì)zno薄膜性能的影響 89
5.3.2 工作氣壓對(duì)zno薄膜性能的影響 90
5.3.3 濺射功率對(duì)zno薄膜性能的影響 91
5.4 zno薄膜性能表征的分析總結(jié) 92
參考文獻(xiàn) 92
第6章 zno/aln復(fù)合膜的制備與性能表征 93
6.1引言 93
6.2 zno/aln復(fù)合薄膜的制備 93
6.2.1 實(shí)驗(yàn)裝置 93
6.2.2 襯底的預(yù)處理 93
6.2.3 樣品制備工藝參數(shù) 94
6.2.4 制備zno/aln復(fù)合膜的實(shí)驗(yàn)步驟 94
6.3 zno/aln復(fù)合膜與zno單層膜的對(duì)比 95
6.3.1 zno/aln復(fù)合膜與zno單層膜xrd測試對(duì)比 95
6.3.2 zno/aln復(fù)合膜與zno單層膜原子力顯微鏡測試對(duì)比 96
6.3.3 zno/aln復(fù)合膜與zno單層膜電學(xué)參數(shù)及導(dǎo)電類型對(duì)比 97
6.4 zno/aln復(fù)合膜與zno單層膜的對(duì)比分析總結(jié) 98
參考文獻(xiàn) 98
第7章 不同濺射時(shí)間下aln緩沖層對(duì)zno薄膜的影響 99
7.1引言 99
7.2 aln薄膜、zno/aln復(fù)合薄膜的制備 99
7.2.1 實(shí)驗(yàn)裝置 99
7.2.2 襯底的預(yù)處理 99
7.2.3 樣品制備工藝參數(shù) 100
7.2.4 制備aln薄膜和zno/aln復(fù)合膜的實(shí)驗(yàn)步驟 100
7.3不同濺射時(shí)間下aln緩沖層對(duì)zno薄膜的影響 101
7.3.1 表面形貌分析 101
7.3.2 xrd測試分析 102
7.3.3 霍爾測試分析 103
7.4 不同濺射時(shí)間下aln緩沖層對(duì)zno薄膜的影響分析總結(jié) 104
參考文獻(xiàn) 104
第8章 退火溫度對(duì)n摻雜zno薄膜結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能的影響 106
8.1 引言 106
8.2 退火處理模型 106
8.3 n摻雜zno薄膜的制備 108
8.3.1 實(shí)驗(yàn)裝置 108
8.3.2 襯底的預(yù)處理 108
8.3.3 樣品制備工藝參數(shù) 108
8.3.4 制備n摻雜zno薄膜的實(shí)驗(yàn)步驟 109
8.4 退火溫度對(duì)n摻雜zno薄膜的影響 109
8.4.1 xrd測試分析 109
8.4.2 表面形貌分析 111
8.4.3 霍爾測試分析 112
8.5 退火溫度對(duì)n摻雜zno薄膜的影響分析總結(jié) 113
參考文獻(xiàn) 113
1.1 引言 6
1.2 zno的晶體結(jié)構(gòu) 7
1.3 zno的結(jié)構(gòu)形態(tài) 8
1.3.1 zno體單晶 8
1.3.2 zno薄膜 8
1.3.3 zno納米結(jié)構(gòu) 8
1.4 zno的能帶結(jié)構(gòu) 9
1.5 zno的基本性質(zhì) 9
1.5.1 zno的電學(xué)性質(zhì) 10
1.5.2 zno的光學(xué)性質(zhì) 10
1.5.3 zno的其特性 11
1.6 zno薄膜的應(yīng)用 11
1.6.1 聲表面波器件 12
1.6.2 紫外光電探測器 13
1.6.3 肖特基紫外探測器 13
1.6.4 稀磁半導(dǎo)體 14
1.6.5 發(fā)光器件 14
1.6.6 氣敏傳感器 14
1.6.7 壓敏器件 15
1.6.8 透明電極 15
1.6.9 緩沖層 15
1.6.10 zno基led 16
1.7 zno的本征缺陷 17
1.7.1 zno的本征點(diǎn)缺陷 18
1.7.2 zno薄膜的能級(jí) 18
1.8 zno的摻雜 19
1.8.1控制本征缺陷制備p型zno 19
1.8.2 i族元素單一受主摻雜 20
1.8.3 ib族元素單一受主摻雜 21
1.8.4 v族元素單一受主摻雜 21
1.8.5 受主-施主共摻雜 23
1.8.6 雙受主共摻雜 23
1.8.7 稀土摻雜 23
參考文獻(xiàn) 24
第2章 aln概述 34
2.1 引言 34
2.2 aln的晶體結(jié)構(gòu) 34
2.3 aln的能帶結(jié)構(gòu) 35
2.4 aln的特性 36
2.4.1 硬度 36
2.4.2 化學(xué)穩(wěn)定性 36
2.4.3 熱穩(wěn)定性 37
2.4.4 電學(xué)性能 37
2.4.5 光學(xué)性能 37
2.5 a1n薄膜的應(yīng)用 38
2.5.1 聲表面波器件 38
2.5.2 發(fā)光材料 39
2.5.3 濾波器、諧振器 39
2.5.4 生物傳感器 40
2.5.5 能量搜集器 40
2.5.6 紫外探測器 41
2.5.7 緩沖層 41
2.5.8 soi材料的絕緣埋層 42
2.5.9 單色冷陰極材料 42
2.5.10 刀具涂層 42
2.5.11 作為磁光記錄材料表面的增透膜 42
參考文獻(xiàn) 43
第3章 zno和aln薄膜的常用制備方法及性能表征手段 50
3.1 引言 50
3.2 zno和aln薄膜常用的制備方法 51
3.2.1 超聲噴霧熱分解(usp) 51
3.2.2 溶膠-凝膠(sol-gel) 51
3.2.3 分子束外延(mbe) 52
3.2.4 金屬有機(jī)物氣相沉積(mocvd) 52
3.2.5 脈沖激光沉積(pld) 53
3.2.6 真空蒸發(fā)(ve) 53
3.2.7 電子束蒸發(fā)(e-beam evaporation) 54
3.2.8 離子束輔助沉積(ibad) 55
3.2.9 濺射法 55
3.3 濺射鍍膜的基本原理 56
3.3.1 輝光放電和濺射機(jī)理 56
3.3.2 濺射特性 58
3.3.3 濺射過程 59
3.3.4 射頻磁控反應(yīng)濺射技術(shù) 61
3.4 多靶磁控濺射技術(shù) 65
3.5 實(shí)驗(yàn)設(shè)備 65
3.5.1多靶磁控濺射儀 65
3.5.2 高真空燒結(jié)爐 66
3.6 zno和aln薄膜常用的性能表征手段 66
3.6.1 x射線衍射分析(xrd) 67
3.6.2原子力顯微鏡(afm) 69
3.6.3 霍爾效應(yīng)測試(hall) 71
3.6.4 掃描電子顯微鏡(sem) 72
3.6.5 紫外分光光度計(jì) 73
3.6.6 熒光分光光度計(jì)(pl) 74
3.6.7 拉曼光譜儀 75
3.6.8 電子探針顯微分析(epma) 76
參考文獻(xiàn) 77
第4章 aln薄膜的制備與性能表征 79
4.1引言 79
4.2過渡層概述 79
4.3 aln薄膜的制備 80
4.3.1 實(shí)驗(yàn)裝置 80
4.3.2 襯底的預(yù)處理 81
4.3.3 樣品制備工藝參數(shù) 81
4.3.4 制備aln薄膜的實(shí)驗(yàn)步驟 81
4.4工藝參數(shù)對(duì)aln薄膜性能的影響 82
4.4.1 襯底溫度對(duì)aln薄膜性能的影響 82
4.4.2 工作氣壓對(duì)aln薄膜性能的影響 83
4.4.3 濺射功率對(duì)aln薄膜性能的影響 84
4.5 aln薄膜性能表征的分析總結(jié) 85
參考文獻(xiàn) 86
第5章 zno薄膜的制備與性能表征 87
5.1引言 87
5.2 zno薄膜的制備 87
5.2.1 實(shí)驗(yàn)裝置 87
5.2.2 襯底的預(yù)處理 87
5.2.3 樣品制備工藝參數(shù) 88
5.2.4 制備zno薄膜的實(shí)驗(yàn)步驟 88
5.3工藝參數(shù)對(duì)zno薄膜性能的影響 89
5.3.1 襯底溫度對(duì)zno薄膜性能的影響 89
5.3.2 工作氣壓對(duì)zno薄膜性能的影響 90
5.3.3 濺射功率對(duì)zno薄膜性能的影響 91
5.4 zno薄膜性能表征的分析總結(jié) 92
參考文獻(xiàn) 92
第6章 zno/aln復(fù)合膜的制備與性能表征 93
6.1引言 93
6.2 zno/aln復(fù)合薄膜的制備 93
6.2.1 實(shí)驗(yàn)裝置 93
6.2.2 襯底的預(yù)處理 93
6.2.3 樣品制備工藝參數(shù) 94
6.2.4 制備zno/aln復(fù)合膜的實(shí)驗(yàn)步驟 94
6.3 zno/aln復(fù)合膜與zno單層膜的對(duì)比 95
6.3.1 zno/aln復(fù)合膜與zno單層膜xrd測試對(duì)比 95
6.3.2 zno/aln復(fù)合膜與zno單層膜原子力顯微鏡測試對(duì)比 96
6.3.3 zno/aln復(fù)合膜與zno單層膜電學(xué)參數(shù)及導(dǎo)電類型對(duì)比 97
6.4 zno/aln復(fù)合膜與zno單層膜的對(duì)比分析總結(jié) 98
參考文獻(xiàn) 98
第7章 不同濺射時(shí)間下aln緩沖層對(duì)zno薄膜的影響 99
7.1引言 99
7.2 aln薄膜、zno/aln復(fù)合薄膜的制備 99
7.2.1 實(shí)驗(yàn)裝置 99
7.2.2 襯底的預(yù)處理 99
7.2.3 樣品制備工藝參數(shù) 100
7.2.4 制備aln薄膜和zno/aln復(fù)合膜的實(shí)驗(yàn)步驟 100
7.3不同濺射時(shí)間下aln緩沖層對(duì)zno薄膜的影響 101
7.3.1 表面形貌分析 101
7.3.2 xrd測試分析 102
7.3.3 霍爾測試分析 103
7.4 不同濺射時(shí)間下aln緩沖層對(duì)zno薄膜的影響分析總結(jié) 104
參考文獻(xiàn) 104
第8章 退火溫度對(duì)n摻雜zno薄膜結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能的影響 106
8.1 引言 106
8.2 退火處理模型 106
8.3 n摻雜zno薄膜的制備 108
8.3.1 實(shí)驗(yàn)裝置 108
8.3.2 襯底的預(yù)處理 108
8.3.3 樣品制備工藝參數(shù) 108
8.3.4 制備n摻雜zno薄膜的實(shí)驗(yàn)步驟 109
8.4 退火溫度對(duì)n摻雜zno薄膜的影響 109
8.4.1 xrd測試分析 109
8.4.2 表面形貌分析 111
8.4.3 霍爾測試分析 112
8.5 退火溫度對(duì)n摻雜zno薄膜的影響分析總結(jié) 113
參考文獻(xiàn) 113
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氧化鋅和氮化鋁薄膜制備與表征實(shí)例 相關(guān)資料
半導(dǎo)體材料是近年來研究的熱點(diǎn)，已應(yīng)用于諸多領(lǐng)域，并都有了很多的成果發(fā)表。本書的特點(diǎn)是以實(shí)例的形式，同時(shí)介紹了用磁控濺射法制備氧化鋅（zno）薄膜、氮化鋁（aln）薄膜和zno/aln復(fù)合膜的詳細(xì)工藝和性能表征，并深入探討了以aln為過渡層對(duì)zno薄膜的影響。以aln作為zno的緩沖層來制備和研究zno薄膜，是目前研究的方向，相信通過此書的介紹會(huì)給相關(guān)專業(yè)人員一個(gè)很好的借鑒。
氧化鋅和氮化鋁薄膜制備與表征實(shí)例 作者簡介
趙祥敏，女，1979年2月出生，就職于牡丹江師范學(xué)院工學(xué)院，主要講授電子技術(shù)基礎(chǔ)、數(shù)字電路實(shí)驗(yàn)、模擬電路實(shí)驗(yàn)、信息技術(shù)和C語言程序設(shè)計(jì)、近代物理實(shí)驗(yàn)等課程，教學(xué)效果良好。 工作期間共發(fā)表論文6篇，其中EI檢索1篇，中文核心期刊2篇；出版教材2部；主持校級(jí)教改項(xiàng)目1項(xiàng)，參與科研和教改項(xiàng)目10余項(xiàng)；發(fā)明實(shí)用經(jīng)濟(jì)型專利3個(gè)；獲牡丹江市第二十四屆自然科學(xué)技術(shù)學(xué)術(shù)成果獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)1項(xiàng)，獲2012~2014年度牡丹江市自然科學(xué)技術(shù)學(xué)術(shù)成果獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)1項(xiàng)，獲牡丹江市優(yōu)秀教育科研成果獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)1項(xiàng)，獲第十二屆全國多媒體課件一等獎(jiǎng)1項(xiàng)，獲牡丹江師范學(xué)院優(yōu)秀教案獎(jiǎng)1項(xiàng)，獲牡丹江師范學(xué)院教師課件大賽優(yōu)秀獎(jiǎng)2項(xiàng)。
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