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包郵 薄膜物理與器件
作者：肖定全 等編著
所屬叢書(shū)：
普通高等教育十一五國(guó)家級(jí)規(guī)劃教材
開(kāi)本：
16開(kāi)
頁(yè)數(shù)：
332
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薄膜物理與器件 版權(quán)信息
- ISBN：9787118072389
- 條形碼：9787118072389 ; 978-7-118-07238-9
- 裝幀：暫無(wú)
- 冊(cè)數(shù)：暫無(wú)
- 重量：暫無(wú)
- 所屬分類(lèi)：>>
薄膜物理與器件 內(nèi)容簡(jiǎn)介
《薄膜物理與器件》主要論述了薄膜物理與薄膜器件的基本內(nèi)容，并概括介紹了在新材料技術(shù)領(lǐng)域中有著重要應(yīng)用的幾類(lèi)主要的薄膜材料。書(shū)中比較系統(tǒng)地介紹了薄膜的物理化學(xué)制備原理與方法，包括蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍、化學(xué)氣相沉積、溶液制膜技術(shù)等；同時(shí)介紹了薄膜的形成，薄膜的結(jié)構(gòu)與缺陷，薄膜的電學(xué)性質(zhì)、力學(xué)性質(zhì)、半導(dǎo)體性質(zhì)、磁學(xué)性質(zhì)、超導(dǎo)性質(zhì)等；此外，還扼要介紹了幾類(lèi)重要薄膜材料及其性能，分析歸納了相關(guān)研究發(fā)展動(dòng)態(tài)。 《薄膜物理與器件》可作為材料科學(xué)與工程、電子科學(xué)與工程、電子材料與元器件、半導(dǎo)體物理與器件、應(yīng)用物理學(xué)等專(zhuān)業(yè)的教材或教學(xué)參考書(shū)，也可供相關(guān)科技、企業(yè)、公司的管理和技術(shù)人員參考。
薄膜物理與器件 目錄
**章 真空技術(shù)基礎(chǔ)
1.1 真空基礎(chǔ)
1.2 稀薄氣體的性質(zhì)
1.3 真空的獲得
1.4 真空的測(cè)量
習(xí)題與思考題
第二章 薄膜的物理制備工藝學(xué)
2.1 薄膜制備方法概述
2.2 真空蒸發(fā)鍍膜
2.3 濺射鍍膜
2.4 離子束鍍膜
2.5 分子束外延技術(shù)
2.6 脈沖激光沉積技術(shù)
習(xí)題與思考題
第三章 薄膜的化學(xué)制備工藝學(xué)
1.1 真空基礎(chǔ)
1.2 稀薄氣體的性質(zhì)
1.3 真空的獲得
1.4 真空的測(cè)量
習(xí)題與思考題
第二章 薄膜的物理制備工藝學(xué)
2.1 薄膜制備方法概述
2.2 真空蒸發(fā)鍍膜
2.3 濺射鍍膜
2.4 離子束鍍膜
2.5 分子束外延技術(shù)
2.6 脈沖激光沉積技術(shù)
習(xí)題與思考題
第三章 薄膜的化學(xué)制備工藝學(xué)
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