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包郵硅鍺低維材料可控生長
¥114.6(7.9折)定價:¥145.0本書首先簡要介紹低維異質半導體材料及其物理性質,概述刻蝕和分子束外延生長兩種基本的低維半導體材料制備方法,簡要說明了分子束外延技術設備的工作原理和低維異質結構的外延生長過程及其工藝發展。接著分別從熱力學和動力學的角度詳細闡述了硅鍺低維結構的外延生長機理及其相關理論,重點討論了圖形襯底上的硅鍺低維結構可控生長理論和硅鍺低維結構的可控外延生長技術,并結合豐富的硅鍺納米結構可控生長實例,詳細討論圖形硅襯底和斜切硅襯底上低維材料的可控外延生長