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關于“鄭英，王妍，凌丹”檢索到 共1種現貨商品
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包郵半導體制造過程的批間控制和性能監控
¥96.0(7.5折)定價:¥128.0本書第1章介紹了半導體制造過程，包括國內外研究現狀和發展趨勢。第2~6章介紹了批間控制方法及其衍生，主要包括兩類基本批間控制方法，即"基于機臺"和"基于產品"的批間控制方法，在此基礎上介紹多種改進的批間控制算法；同時，討論了機臺故障對系統性能的影響，提出了多種批間容錯控制算法；采用Takagi-Sugeno模糊模型來處理未知的隨機度量時延，在此基礎上建立批次過程的補償批間算法。第7~11章介紹了批間控制器對制造過程的影響，利用輸入輸出
