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  • 包郵MEMS/NEMS諧振器技術

    張文明，胡開明  /  2023-08-01  /  科學出版社
    ¥214.6(7.2折)定價:¥298.0

    本書主要介紹微/納機電系統(MEMS/NEMS)諧振器動力學設計理論、分析方法及應用技術。全書共9章，主要內容包括：MEMS/NEMS技術基礎和MEMS/NEMS諧振器技術的發展歷程與發展趨勢；諧振器的工作原理、諧振結構設計理論及分析技術；諧振器件制備涉及的材料、微納加工工藝及技術；諧振器中存在的豐富非線性現象和復雜動力學行為；微納尺度下的能量耗散理論、阻尼特性、作用機制及測試方法；諧振器中應用的各種振動激勵與檢測原理及技術；通道式M

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