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太赫茲行波管高頻電路及其微制造技術 版權信息
- ISBN：9787512443594
- 條形碼：9787512443594 ; 978-7-5124-4359-4
- 裝幀：平裝-膠訂
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
太赫茲行波管高頻電路及其微制造技術 內容簡介
《太赫茲行波管高頻電路及其微制造技術》主要介紹了太赫茲輻射源之一的真空電子器件行波管在太赫茲頻段下，其高頻互作用電路的MEMS微納制造方法，主要頻段包括0.1THz、0.22THz、0.3THz和1.03THz，根據不同頻段的折疊波導制備的特點，分別介紹了超精密電火花線切割技術、LIGA技術、UV-LIGA技術和DRIE技術的制備方法和過程，所嘗試的工藝主要包括嵌絲形成電子注通孔，光刻膠形成折疊波導蛇形線，微納米級晶粒的精密微細電鑄，SOI深硅刻蝕等，并通過實驗驗證對這些工藝技術進行了總結！ 短掌澬胁ü芨哳l電路及其微制造技術》可作為從事物理電子學、電子信息工程專業的教師、學生以及從事太赫茲真空電子器件研發的工程技術人員的參考書籍。
太赫茲行波管高頻電路及其微制造技術 目錄
第1章 概述1.1 行波管概述1.2 行波管主要高頻結構1.3 行波管的發展趨勢1.4 折疊波導高頻結構的國內外研究現狀參考文獻第2章 折疊波導高頻結構制備方法2.1 折疊波導制備的難點2.2 折疊波導制備的方法2.2.1 MEMS技術2.2.2 超精密電火花線切割制造技術2.2.3 LIGA技術2.2.4 UV-LIGA技術第1章 概述1.1 行波管概述1.2 行波管主要高頻結構1.3 行波管的發展趨勢1.4 折疊波導高頻結構的國內外研究現狀參考文獻第2章 折疊波導高頻結構制備方法2.1 折疊波導制備的難點2.2 折疊波導制備的方法2.2.1 MEMS技術2.2.2 超精密電火花線切割制造技術2.2.3 LIGA技術2.2.4 UV-LIGA技術2.2.5 DRIE技術2.3 微細制造方法的應用參考文獻第3章 折疊波導高頻結構微細制造方案3.1 W波段0.1 THz折疊波導高頻結構3.1.1 超精密電火花線切割技術制造方案設計3.1.2 LIGA技術制造方案設計3.2 LIGA技術制造J波段0.3THz折疊波導方案3.3 G波段0.22THz折疊波導以及集成級聯結構微細制造3.3.1 UV-LIGA技術制造折疊波導方案設計3.3.2 UV-LIGA技術制造集成級聯折疊波導方案設計3.4 DRIE技術制造1.03THz折疊波導方案參考文獻第4章 折疊波導制備的關鍵工藝技術4.1 超精密電火花線切割工藝的關鍵技術4.1.1 電子注通道細長孔的制備4.1.2 防止切割變形4.2 LIGA工藝的關鍵技術4.2.1 LIGA工藝的掩膜制備4.2.2 嵌絲PMMA光刻膠制備4.3 UV-LIGA工藝的關鍵技術4.3.1 SU8厚膠制備4.3.2 深度電鑄4.4 DRIE工藝的關鍵技術4.4.1 掩膜版設計4.4.2 準備DSOI硅片4.4.3 干法深刻蝕4.4.4 表面處理參考文獻第5章 折疊波導制備工藝實驗研究5.1 W波段0.1THz折疊波導制備5.1.1 Ultra-fineWEDM工藝5.1.2 LIGA工藝5.2 LIGA工藝制備J波段0.3THz折疊波導5.3 UV-LIGA工藝制備G波段0.22THz折疊波導5.4 DRIE工藝制備1.03THz折疊波導參考文獻第6章 折疊波導制備工藝實施結果分析6.1 精度檢測6.2 成分分析6.3 金相分析參考文獻
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