��1�¾wՓ 1.1�ƌ��c����ϵ�y�M�� 1.2�����aƷ�ġ������c�������� �����īI ��2�‘T���� ���ٶ�Ӌ���� 2.2���ٶ�Ӌ����Ҫָ�� ���ٶ�Ӌ�ķ��? 2.3.1���Nʽ���ٶ�Ӌ Һ��ʽ���ٶ�Ӌ �ϔ[ʽ���ٶ�Ӌ 2.3.4�o늑Ҹ����ٶ�Ӌ 2.3.5 MEMS ���ٶ�Ӌ 2.3.6���Ӽ��ٶ�Ӌ 2.4���݃x���� ���݃x����Ҫָ�� 2.6���݃x�ķ�� 2.6.1�Cе�D�����݃x? ��W���݃x MEMS���݃x �����C�����݃x �˴Ź������݃x 2.6.6ԭ�Ӹ������݃x 2.7�T�����İlչڅ�� �����īI ��3�Œ���ϵ�y 3.1�T���� 3.1.1�T�������� �T�����İlչ �T�����ķ�� 3.1.4��“ʽ�T����ԭ�� 3.1.5�T�����`��ģ��. 3.1.6�T�����ij�ʼ���� 3.2�l�nj��� 3.2.1�l�nj����İlչ 3.2.2ȫ���l�nj���ϵ�y 3.2.3�l�nj������ƌ������еđ��� 3.2.4�l�nj�����ԭ�������� 3.2.5�l�Ƕ�λ�Ļ���ԭ�� 3.2.6�l�nj����Ķ�λ�`�� 3.3�شŌ��� 3.3.1�شŌ������� 3.3.2�شł����� 3.3.3�شŜy��ԭ�� 3.3.4�شŌ����İlչ���� 3.4�������V�� 3.4.1�������V������ 3.4.2�������V���Ļ������� 3.4.3�������V����ֱ�^��� �������V��ʾ������չ 3.5�M�ό��� 3.5.1�M�ό������� 3.5.2�T/�l�ǽM�ό�����ԭ�� 3.6С�Y �����īI ��4�¼t�⌧���^ 4.1�t�⌧���^���� 4.1.1�t��⺆�� 4.1.2�t�⌧���^�����c 4.1.3�t�⌧���^�İlչ�v�� 4.2�t�⌧���^�ļ��gָ�� 4.3�t��̽�y�� 4.3.1�t��̽�y���ķ�� 4.3.2�t��̽�y�������c 4.3.3�t�������̽�y�� 4.3.4�t������̽�y�� ���� ��7�ˆ��ЙC�� 7.1���ЙC���ķ�� 7.2��������ЙC�� 7.2.1����Ҫ��- 7.2.2��C�ķ�� 7.2.3��C�w�OӋ 7.2.4��C�İlչڅ�� 7.3����ʸ�����ЙC�� 7.3.1ȼ��� 7.3.2�_��Ƭ 7.3.3ʸ���l�әC 7.4�}�_ʸ�����ЙC�� 7.4.1�ˑB�}�_���Ʒ�ʽ 7.4.2܉���}�_���Ʒ�ʽ 7.5׃�|�Ĉ��ЙC�� 7.6�ϵ�y 7.6.1�ϵ�y����Դ 7.6.2�ϵ�y�ĽM�ɼ�ԭ�� �ϵ�y�ķ�� 7.6.4�ϵ�y�đ����c�lչ �����īI ��8�°댍�＼�g 8.1�댍����� 8.2�댍�＼�g�İlչ�v�� ����ԭ�� 8.4�댍��ϵ�y�ĽM�� 8.5�����ƌ������댍��ϵ�y�� 8.5.1ϵ�y�M�� 8.5.2�����ƌ������댍�﷽�� ����-Ŀ�ˎ׺��Pϵ 8.5.4��ͫ����Ĺ�W�� 8.5.5�׺��`��ķ����cУ�� 8.�Y�cչ�� �����īI ;