��1�¹裨Si����Ƭ̎����Փ1
1.1����1
1.2����Ҏģ�����·�Įa��2
1.3������4
1.4�댧�w����7
1.5���w�Y��8
1.6���wȱ��10
1.7��Č��Լ����ἃ14
1.8�������15
1.8.1ֱ�������w���L���g16
1.8.2�^�ۼ��g20
1.9������21
1.10��Ƭ�ӹ�ע�����24
1.11�����Y25
���}25
�����īI25 ��2������29
2.1����29
2.2Һ������30
2.3��������/���W������e33
2.3.1���Lģ�ͼ���Փ34
2.3.2���L���W35
2.3.3���s36
2.3.4�����b��38
2.4ȱ��38
2.5���W������e�����ӵļ��g���}40
2.5.1������/�|��40
2.5.2��ӈD���D��40
2.6�ԓ��s44
2.7�x��������45
2.8�͜�����45
2.9���������e46
2.10�^���w�Ϲ裨SOI��49
2.11�{��ʯ�Ϲ裨SOS��50
2.12�����������51
2.13�����Y51
���}52
�����īI52 ��3������55
3.1����55
3.2���L�̈́����W57
3.2.1�ɷ�����58
3.2.2������58
3.3�������ӵ����L����60
3.4�s�|���������ʵ�Ӱ�64
3.5���������|65
3.6������늺�66
3.7�������g67
3.8�����Ӻ�Ȝy��68
3.9�����t70
3.10�����Y72
���}72
�����īI73 ��4�¹��75
4.1����75
4.2��W���77
4.3���|ʽ��W���77
4.4�ӽ�ʽ��W���78
4.5ͶӰʽ��W���79
4.6��ģ82
4.7����ģ����83
4.8������ģ84
4.9����z85
4.10�D���D��88
4.11�������ӵĹ��90
4.11.1��������90
4.11.2��Ӫ����|�໥����91
4.12�x�������93
4.13������94
4.14X�侀���95
4.15��̼��g�ı��^97
4.16�����Y98
���}98
�����īI99 ��5���g��102
5.1����102
5.2�g�̅���102
5.3���g�̹�ˇ103
5.4���g��105
5.5���������g��107
5.6�X�g��108
5.7�ɷ��g�̹�ˇ109
5.8���x���g�̹�ˇ109
5.8.1���x�ӻ��W�g�̹�ˇ111
5.8.2�R���g�̹�ˇ112
5.8.3�����x���g�̣�RIE����ˇ112
5.9늸���ϵ��x���w�g�̣�ICP��113
5.10�ɷ��g�̣����x���g�̣��͝��g�̵ă�ȱ�c114
5.11�g�̷�������114
5.12���x116
5.13�����Y118
���}118
�����īI118 ��6�”Uɢ124
6.1����124
6.2�Uɢ��ԭ�әC��125
6.2.1�ÓQ�Uɢ125
6.2.2�g϶�Uɢ125
6.3�ƿ˔Uɢ����126
6.4�Uɢ�ֲ�128
6.4.1�㶨Դ��ȷֲ�128
6.4.2����Դ�Uɢ���˹�Uɢ130
6.5�ɲ��Uɢ��ˇ131
6.5.1�����ͷDZ����Uɢ132
6.5.2�R�ڹ��еĔUɢ��133
6.5.3���ڹ��еĔUɢ��134
6.5.4���ڹ��еĔUɢ��134
6.5.5���ڹ��еĔUɢ��136
6.6�l��O���M��137
6.7���o���Uɢ138
6.8�Uɢϵ�y139
6.9��������ģ143
6.10���������L�^���е��s�|�ٷֲ�144
6.11�M��Uɢ146
6.12�ྦྷ���еĔUɢ146
6.13�y�����g147
6.13.1Ⱦɫ147
6.13.2��ݪ�늉���C��V���D148
6.13.3��̽ᘣ�FPP��148
6.13.4�����x���|�V��SIMS��149
6.13.5�Uչ���̽ᘣ�SRP��149
6.14�����Y150
���}150
�����īI150 ��7���x��ע��154
7.1����154
7.2�x��ע��C156
7.2.1���wϵ�y156
7.2.2늙Cϵ�y156
7.2.3���ϵ�y157
7.2.4����ϵ�y157
7.2.5�侀ϵ�y157
7.3�x��ע����ֹ�C��159
7.4�x��ע�������c�ֲ�161
7.5��ģ���163
7.6�x��ע�듽�s݆��164
7.7�˻�166
7.7.1�t���˻�166
7.7.2���ٟ��˻�RTA��167
7.8�\�Y�γ�169
7.8.1������ע��169
7.8.2б�x����170
7.8.3�軯���c�ྦྷ��ע��170
7.9������ע��171
7.10��ӽ^����172
7.11�����Y173
���}173
�����īI174 ��8�±�Ĥ���e��늽��|���ྦྷ��ͽ��ٻ�179
8.1����179
8.2���������e��PVD��180
8.2.1���l180
8.2.2�R��181
8.3���W������e��CVD��182
8.4��������185
8.5������188
8.6�ྦྷ��190
8.7���ٻ�̎��191
8.8���ٻ����g��VLSI�еđ���192
8.9���ٻ��x��193
8.10�~���ٻ�194
8.11�X���ٻ�194
8.12���ٻ���ˇ196
8.13���e����197
8.14���e�b��198
8.15���x�^��199
8.16���ӽ��ٻ�199
8.17���ٱ�Ĥ������201
8.18�����Y204
���}204
�����īI205 ��9�·��b207
9.1����207
9.2���b���208
9.3���b�OӋע�����210
9.4�����·���b211
9.5VLSI�M�b���g214
9.6��Ʒ��216
9.7�����Y218
���}218
�����īI218 ��10��VLSI��ˇ����220
10.1����220
10.2IC�ӹ��Ļ������]220
10.3nMOS�����·���g222
10.4CMOS�����·���g224
10.4.1n�幤ˇ224
10.4.2p�幤ˇ225
10.4.3�p�幤ˇ227
10.5�p�OIC���g227
10.6Bi-CMOS��ˇ229
10.7Bi-CMOS����230
10.8��ʽ��Ч�����w�ܣ�FinFET��231
10.9��Ƭ�����·�ͻ�ϼ����·233
10.10�����·����/���a234
10.11�����O��235
10.12�����Y236
���}236
�����īI236 ���239
���AGe��Si��300K�µ�����239
���B��̖��240
���C������������241
���D�`�����һЩ���|242
���E��Ӣ���g�Z���ձ�245