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超硬材料薄膜的制備、性能與應(yīng)用 版權(quán)信息
- ISBN：9787564587826
- 條形碼：9787564587826 ; 978-7-5645-8782-6
- 裝幀：一般膠版紙
- 冊(cè)數(shù)：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
超硬材料薄膜的制備、性能與應(yīng)用 內(nèi)容簡介
本書由概論、性能及其影響因素、制備技術(shù)的多樣性、工程與功能應(yīng)用、納米金剛石薄膜、類金剛石涂層、金剛石薄膜的特性表征與測試技術(shù)、理論模型與機(jī)制研究、立方氮化硼薄膜和結(jié)語與展望十個(gè)部分組成。
超硬材料薄膜的制備、性能與應(yīng)用 目錄
1概論
1.1國外發(fā)展概述
1.2國內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r
1.3 CVD 金剛石生產(chǎn)企業(yè)
2CVD 薄膜能及其影響因素，
2.1金剛石薄膜的能
2.2影響金剛石薄膜的因素
3CVD 薄膜制備技術(shù)的多樣
3.1化學(xué)氣相沉積法?
3.2物理氣相沉積法
3.3化學(xué)氣相輸運(yùn)法.
3.4火焰燃燒法，
4CVD 金剛石薄膜的工程應(yīng)用能應(yīng)用4.1工程應(yīng)用
4.能應(yīng)用
4.3未來發(fā)展...
5納米金剛石薄膜
5.1納米金剛石薄膜的制備5.2納米金剛石薄膜質(zhì)量表征5.3納米金剛石薄膜的能及應(yīng)用6
類金剛石涂層
6.1類金剛石涂層的相結(jié)構(gòu)6.2DLC膜的能與表征
6.3 DLC膜的制造方法和相關(guān)工藝6.4DLC薄膜制備技術(shù)及其產(chǎn)物特6.5類金剛石涂層的生長機(jī)制
6.6質(zhì)量檢測和結(jié)構(gòu)檢測
6.7DLC 膜的應(yīng)用領(lǐng)域
7金剛石薄膜的特表征與測試技術(shù)
7.1金剛石薄膜的形貌分析
7.23D-MCM 散熱能分析
7.3CVD 金剛石薄膜散熱分析
7.4拉曼散射與熒光光譜分析
7.5反應(yīng)氣體與顯微力學(xué)特
7.6薄膜基界面強(qiáng)度的測量
7.7 CVD金剛石薄膜的力學(xué)測量
7.8磨耗比的測定.
7.9等離子體刻蝕技術(shù)
7.10金剛石薄膜的沖蝕磨損
8理論模型與機(jī)制研究
8.1非平衡熱力學(xué)耦合模型
8.2低壓激活金剛石薄膜生長中的反應(yīng)勢壘8.3低壓激活氣相生長金剛石薄膜的驅(qū)動(dòng)力8.4超平衡氫原子的特殊作用
9立方氨化硼薄膜
9.1立方氮化硼薄膜的研展與應(yīng)用
9.2CVD法制備氮化硼薄膜
10結(jié)語與展望
參考文獻(xiàn)
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