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低溫等離子體:原理與應用

包郵 低溫等離子體:原理與應用

作者:歐陽吉庭
出版社:科學出版社出版時間:2024-06-01
開本: B5 頁數: 546
本類榜單:自然科學銷量榜
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低溫等離子體:原理與應用 版權信息

低溫等離子體:原理與應用 內容簡介

全書分為4個部分,系統地介紹了低溫等離子體的基本原理和應用技術:(1)等離子體物理基礎,包括等離子體基礎知識、等離子體輸運過程、等離子體基元過程、等離子體描述和模擬、等離子體診斷等5章;(2)氣體放電理論,包括湯森放電理論、流注放電理論和高頻放電理論等4章;(3)典型的低溫等離子體產生形式,包括直流輝光放電,空心陰極放電,電弧放電,電暈放電,介質阻擋放電,射頻放電和微波放電等7章;(4)低溫等離子體應用技術,包括等離子體材料工藝、等離子體化學合成、等離子體光源技術、等離子體環保技術、等離子體推進技術、等離子體生物醫學、等離子體對電磁波的調控、等離子體電流體效應等8章。

低溫等離子體:原理與應用 目錄

目錄前言**部分 等離子體物理基礎第1章 等離子體基礎知識31.1 等離子體的概念31.2 等離子體的基本參數和分類41.2.1 等離子體密度和電離度41.2.2 電子溫度和離子溫度41.3 等離子體的一般性質61.3.1 等離子體的準電中性61.3.2 德拜屏蔽和德拜長度61.3.3 朗繆爾振蕩和等離子體頻率81.3.4 等離子體參量和等離子體判據91.4 等離子體鞘101.4.1 鞘的形成101.4.2 穩定離子鞘的判據121.4.3 蔡爾德-朗繆爾定律141.5 等離子體電導和介電常數171.5.1 穩態電導171.5.2 高頻電導和介電常數181.5.3 復電導和復介電常數181.5.4 磁化等離子體的介電張量201.5.5 等離子體中的波和色散關系22第2章 等離子體輸運過程232.1 碰撞的基本規律232.1.1 彈性碰撞與非彈性碰撞232.1.2 平均自由程252.1.3 碰撞截面272.1.4 微分碰撞截面272.2 熱運動272.2.1 平均能量和速率分布282.2.2 雜散電流密度292.3 遷移運動292.3.1 電子的遷移292.3.2 離子的遷移312.4 擴散332.4.1 連續性方程和擴散系數332.4.2 愛因斯坦關系332.4.3 縱向擴散和橫向擴散342.5 雙極擴散342.6 有磁場的電荷運動362.6.1 磁回旋362.6.2 有磁場的遷移362.6.3 有磁場的擴散372.6.4 有磁場的雙極擴散392.6.5 磁場非均勻性的影響39第3章 等離子體基元過程433.1 電離433.1.1 電子碰撞電離433.1.2 激發態粒子電離和彭寧效應453.1.3 光電離453.1.4 合成電離463.1.5 熱電離463.2 激發463.3 電荷轉移473.4 電荷的消失473.4.1 離子復合473.4.2 電荷擴散483.5 負離子的產生和消失493.6 等離子體輻射513.6.1 等離子體輻射的主要形式513.6.2 譜線增寬54第4章 等離子體描述和模擬564.1 基于微觀運動的粒子描述564.2 基于統計力學的動理學描述574.2.1 分布函數574.2.2 玻爾茲曼方程584.2.3 宏觀量584.2.4 熱平衡分布及宏觀量604.3 基于宏觀量的流體描述644.4 流體模擬方法664.5 PIC模擬方法70第5章 低溫等離子體診斷805.1 等離子體診斷概述805.1.1 診斷對象805.1.2 主要診斷方法815.1.3 診斷系統實現825.1.4 數據采集與誤差分析845.2 放電參數診斷865.2.1 電壓與電場865.2.2 電流與磁場915.3 探針診斷925.3.1 探針的概念925.3.2 朗繆爾探針945.3.3 其他探針995.4 輻射測量1025.4.1 基本概念1025.4.2 紅外光測量1025.4.3 可見光測量1035.4.4 紫外光測量1075.4.5 X射線和γ射線測量1095.4.6 高速攝影1105.5 光譜診斷1135.5.1 發射光譜1135.5.2 吸收光譜1175.5.3 激光誘導熒光光譜1185.5.4 光腔衰蕩光譜1205.5.5 碰撞輻射模型1215.6 激光診斷與微波診斷1245.6.1 激光診斷技術1245.6.2 微波診斷技術129第二部分 氣體放電理論第6章 湯森放電理論1376.1 電子崩和湯森電離系數1376.1.1 湯森**電離系數——a系數1376.1.2 湯森第二電離系數——B系數1396.1.3 湯森第三電離系數——y系數1396.2 湯森判據1396.3 帕邢定律1406.4 氣體放電的相似定律1426.5 電負性氣體的擊穿1446.6 帕邢*線的適用條件和偏離1456.6.1 有限電極1456.6.2 微電極間隙1466.6.3 非均勻電場1466.7 放電的發展和穩定:羅戈夫斯基理論1466.7.1 空間電荷對放電的影響1466.7.2 自持放電的穩定過程1486.8 湯森放電理論的局限性148第7章 流注放電理論1507.1 流注放電理論的定性說明1507.2 雷特判據和米克判據1517.2.1 雷特判據1517.2.2 米克判據1537.3 流注擊穿的一般公式1557.4 流注形成的概率1577.5 湯森放電與流注擊穿之間的過渡159第8章 高頻放電理論1618.1 電場頻率對氣體擊穿的影響1618.2 遷移決定的擊穿1648.3 擴散決定的擊穿1658.4 高頻電場的電離增強效應166第三部分 典型的低溫等離子體產生形式第9章 直流輝光放電和湯森放電1719.1 正常輝光放電的基本特征和分區1719.1.1 陰極區1719.1.2 過渡區1729.1.3 正柱區1739.1.4 陽極區1749.2 穩定陰極位降區分析1759.2.1 伏安特性1759.2.2 陰極位降和電流密度1779.2.3 正常輝光放電電流密度的穩定機制1799.3 過渡區分析1809.4 正柱區分析1819.4.1 帶電粒子的徑向分布1829.4.2 電子溫度1839.4.3 軸向電場強度1849.4.4 放電電流對電子溫度和電場強度的影響1859.4.5 徑向電場分布1879.5 湯森暗放電1889.5.1 電流和電荷分布1899.5.2 電場分布1909.5.3 湯森暗放電的電流極限1919.6 穩定輝光放電和湯森放電的形成過程1919.6.1 輝光放電的形成過程1919.6.2 湯森放電的形成過程1939.6.3 亞輝光放電和脈沖放電1959.7 輝光放電的不穩定性1959.7.1 不穩定性的一般機制1959.7.2 條紋現象1999.7.3 放電通道收縮和自組織2059.8 幾種非正常輝光放電205第10章 空心陰極放電20710.1 空心陰極放電的基本結構和形成20710.2 空心陰極放電的特征21010.2.1 腔內電位和電場分布21010.2.2 負輝區的電子能量分布21010.2.3 陰極濺射21110.3 空心陰極放電的產生條件21110.4 空心陰極放電的模式轉換21210.4.1 空心陰極放電的啟動21210.4.2 伏安特性*線21210.4.3 HCD的實現方式21410.5 增強空心陰極放電21510.6 微空心陰極放電216第11章 電弧放電21811.1 電弧放電的特點和類型21811.1.1 電弧放電的特點21811.1.2 電弧放電的分類22111.1.3 幾點問題22111.2 電弧放電的結構與特性22211.2.1 電弧放電的結構22211.2.2 陰極區物理過程與特性22311.2.3 陽極區物理過程與特性22611.2.4 正柱區物理過程與特性22711.3 電弧放電的電極電位分布和伏安特性23011.3.1 電位分布23011.3.2 伏安特性23111.4 電弧放電的啟動、穩定燃燒與熄滅23311.4.1 電弧放電的啟動23311.4.2 電弧放電的穩定燃燒23411.4.3 電弧放電的熄滅23411.5 不同氣壓電弧放電的特點23511.5.1 真空電弧放電(p11.5.2 低氣壓電弧放電(7.5mTorrp11.5.3 高氣壓電弧放電(76Torrp760Torr)23611.5.4 超高氣壓電弧放電(p>760Torr)237第12章 電暈放電23812.1 電暈放電的基本結構和擊穿特性23812.1.1 電極結構23812.1.2 電暈擊穿23912.1.3 極性效應24012.1.4 擊穿時延24112.2 穩定電暈及伏安特性24212.2.1 穩態電暈的離子和電場分布24212.2.2 穩態電暈的伏安特性24412.2.3 穩定電暈的閾值條件24512.3 電暈離子風24612.4 電暈放電的模式轉換24912.4.1 伏安特性24912.4.2 電暈放電的模式轉換過程25112.5 特里切爾脈沖25412.5.1 特里切爾脈沖的特征25412.5.2 特里切爾脈沖的形成過程和機理25612.5.3 特里切爾脈沖的電磁輻射特性26512.5.4 一般電暈放電的電磁輻射265第13章 介質阻擋放電26713.1 DBD的基本結構和原理26713.2 輝光DBD27013.2.1 對面型DBD27013.2.2 共面型DBD27713.2.3 沿面型DBD27913.2.4 基于DBD的等離子體射流28213.3 流注DBD28513.4 DBD的模式轉換28613.5 DBD的非線性現象29113.5.1 條紋29113.5.2 自組織斑圖29513.5.3 時間混沌和分岔300第14章 射頻放電31314.1 電容耦合射頻放電31414.1.1 電容耦合等離子體中場的一般特征31414.1.2 恒定離子密度模型31714.1.3 等效電路32014.1.4 其他特性32414.2 電感耦合射頻放電32714.2.1 電感耦合等離子體中場的一般特征32814.2.2 系統總阻抗與等離子體阻抗33214.2.3 電感耦合等離子體的變壓器模型33514.3 螺旋波放電33614.3.1 螺旋波及裝置介紹33714.3.2 無限大磁化等離子體中射頻波的傳播33814.3.3 圓柱等離子體中螺旋波34014.3.4 其他問題341第15章 微波放電34415.1 微波產生的等離子體34415.2 等離子體中的微波傳播34515.3 電子回旋共振等離子體源347第四部分 低溫等離子體應用技術第16章 低溫等離子體表面工程技術35516.1 低溫等
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