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多晶硅納米薄膜壓阻式壓力傳感器 版權信息
- ISBN：9787301339053
- 條形碼：9787301339053 ; 978-7-301-33905-3
- 裝幀：一般膠版紙
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
多晶硅納米薄膜壓阻式壓力傳感器 內容簡介
本書對多晶硅納米薄膜的壓阻特性及其在壓力傳感器上的應用進行了研究。本書共分為五章，**章主要介紹了多晶硅納米薄膜及壓力傳感器的研究現狀，第二章主要介紹了工藝條件對多晶硅納米薄膜特性的影響，第三章主要介紹了多晶硅納米薄膜的楊氏模量，第四章主要介紹了多晶硅納米薄膜的壓力傳感器應用，第五章主要介紹了多晶硅納米薄膜壓力傳感器的測試與分析。本書可以作為高等學校微電子技術和材料科學與工程等相關專業的參考書。
多晶硅納米薄膜壓阻式壓力傳感器 目錄
第１章 緒論
第２章 工藝條件對多晶硅納米薄膜特性的影響
第３章 多晶硅納米薄膜的楊氏模量研究
第４章 多晶硅納米薄膜的壓力傳感器應用研究
第５章 多晶硅納米薄膜壓力傳感器的測試與分析
參考文獻
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多晶硅納米薄膜壓阻式壓力傳感器 作者簡介
陸學斌，哈爾濱理工大學軟件與微電子學院副教授，哈爾濱工業大學博士。2010年畢業于哈爾濱工業大學航天學院。目前主要從事半導體材料、傳感器、模擬和數字集成電路等方面的相關研究。發表Ei或SCI檢索論文12篇，教改論文4篇；主持黑龍江省自然科學基金面上項目1項、黑龍江省教育科學十三五規劃課題1項、黑龍江省高等教育學會十三五規劃課題1項；申請并獲授權實用新型專利2項；出版教材4部。2016年獲哈爾濱理工大學校級優秀教師，2018年獲哈爾濱理工大學校級三全育人之先進個人。
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