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金剛石膜粒子探測器材料 版權(quán)信息
- ISBN：9787030704276
- 條形碼：9787030704276 ; 978-7-03-070427-6
- 裝幀：一般膠版紙
- 冊數(shù)：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
金剛石膜粒子探測器材料 內(nèi)容簡介
本書從金剛石膜晶體機構(gòu)、光電及熱性能等基本概念出發(fā)，描述膜的制備工藝；在成功制得[100]定向金剛石膜基礎(chǔ)上，對它和其它晶面取向的CVD金剛石膜進(jìn)行全面的表征；介紹了金剛石薄膜肖特基場效應(yīng)晶體管和金剛石薄膜紫外光探測器。在此基礎(chǔ)上研究了金剛石膜粒子探測器的制備工藝，并通過所設(shè)計的信號處理系統(tǒng)測量得到在不同粒子輻照下的探測器的響應(yīng)特性，研制出能有效工作于高溫下（650C左右）、高速響應(yīng)、抗輻射能力強并具有好的能量分辨能力的CVD金剛石列陣粒子探測器，為金剛石象素列陣探測器的研制提供實驗經(jīng)驗和基礎(chǔ)。本書著重介紹CVD金剛石粒子探測器件的制備工藝和性能和CVD金剛石象素列陣探測器件的設(shè)計和工藝。
金剛石膜粒子探測器材料 目錄
叢書序
前言
**章 緒論
1．1 金剛石膜的結(jié)構(gòu)
1．2 金剛石膜的優(yōu)異特性
1．3 化學(xué)氣相沉積法金剛石膜的制備技術(shù)
1．4 金剛石膜在光電領(lǐng)域中的主要應(yīng)用
參考文獻(xiàn)
第二章 自支撐金剛石膜的制備
2．1 實驗設(shè)備及原理介紹
2．2 金剛石膜的制備工藝研究
2．3 自支撐金剛石薄膜的性能
參考文獻(xiàn)
第三章 金剛石膜表面導(dǎo)電性能研究
3．1 引言
3．2 實驗過程
3．3 自支撐金剛石膜的導(dǎo)電性能
3．4 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第四章 金剛石膜肖特基場效應(yīng)晶體管
4．1 引言
4．2 金剛石與金屬電極的接觸特性
4．3 MESFET器件制備及性能研究
4．4 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第五章 金剛石膜紫外光探測器
5．1 引言
5．2 ZnO材料概述
5．3 ZnO制備及測試
5．4 實驗結(jié)果與討論
5．5 ZnO/金剛石結(jié)構(gòu)紫外光探測器的性能研究
5．6 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第六章 金剛石厚膜生長及其在微電子器件中的熱沉應(yīng)用
6．1 引言
6．2 氧化鋁襯底的碳離子預(yù)注入
6．3 氧化鋁上金剛石膜的成核分析
6．4 金剛石的厚膜生長及應(yīng)力分析
6．5 金剛石薄膜/氧化鋁復(fù)合材料性質(zhì)研究
參考文獻(xiàn)
第七章 納米金剛石膜X射線探測器
7．1 納米金剛石膜的制備和性能表征
7．2 納米金剛石膜粒子探測器工藝及性能表征
7．3 氫刻蝕對納米金剛石膜電學(xué)和光學(xué)性能的影響
7．4 強磁場下納米金剛石膜生長及性能表征
參考文獻(xiàn)
第八章 金剛石膜α粒子探測器
8．1 CVD金剛石膜粒子探測器的研制
8．2 CVD金剛石膜/硅為基板的微條氣體室研制
參考文獻(xiàn)
……
第九章 粒子探測器讀出電路電子系統(tǒng)
第十章 金剛石膜生物傳感器及在其它光電聲等領(lǐng)域應(yīng)用
前言
**章 緒論
1．1 金剛石膜的結(jié)構(gòu)
1．2 金剛石膜的優(yōu)異特性
1．3 化學(xué)氣相沉積法金剛石膜的制備技術(shù)
1．4 金剛石膜在光電領(lǐng)域中的主要應(yīng)用
參考文獻(xiàn)
第二章 自支撐金剛石膜的制備
2．1 實驗設(shè)備及原理介紹
2．2 金剛石膜的制備工藝研究
2．3 自支撐金剛石薄膜的性能
參考文獻(xiàn)
第三章 金剛石膜表面導(dǎo)電性能研究
3．1 引言
3．2 實驗過程
3．3 自支撐金剛石膜的導(dǎo)電性能
3．4 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第四章 金剛石膜肖特基場效應(yīng)晶體管
4．1 引言
4．2 金剛石與金屬電極的接觸特性
4．3 MESFET器件制備及性能研究
4．4 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第五章 金剛石膜紫外光探測器
5．1 引言
5．2 ZnO材料概述
5．3 ZnO制備及測試
5．4 實驗結(jié)果與討論
5．5 ZnO/金剛石結(jié)構(gòu)紫外光探測器的性能研究
5．6 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第六章 金剛石厚膜生長及其在微電子器件中的熱沉應(yīng)用
6．1 引言
6．2 氧化鋁襯底的碳離子預(yù)注入
6．3 氧化鋁上金剛石膜的成核分析
6．4 金剛石的厚膜生長及應(yīng)力分析
6．5 金剛石薄膜/氧化鋁復(fù)合材料性質(zhì)研究
參考文獻(xiàn)
第七章 納米金剛石膜X射線探測器
7．1 納米金剛石膜的制備和性能表征
7．2 納米金剛石膜粒子探測器工藝及性能表征
7．3 氫刻蝕對納米金剛石膜電學(xué)和光學(xué)性能的影響
7．4 強磁場下納米金剛石膜生長及性能表征
參考文獻(xiàn)
第八章 金剛石膜α粒子探測器
8．1 CVD金剛石膜粒子探測器的研制
8．2 CVD金剛石膜/硅為基板的微條氣體室研制
參考文獻(xiàn)
……
第九章 粒子探測器讀出電路電子系統(tǒng)
第十章 金剛石膜生物傳感器及在其它光電聲等領(lǐng)域應(yīng)用
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金剛石膜粒子探測器材料 作者簡介
夏義本，祖籍浙江寧波，1942年12月生于上海。1965年畢業(yè)予復(fù)旦大學(xué)物理系半導(dǎo)體物理專業(yè)，1981年獲中國科學(xué)院理學(xué)碩士，曾任德國維爾茨堡大學(xué)物理研究所訪問學(xué)者、德國弗勞恩霍夫薄膜及表面技術(shù)研究所客座教授、日本東北大學(xué)材料研究所客座教授。1965-1978年在北京電子管廠從事半導(dǎo)體元器件研發(fā)工作：1981-1994年在上海科技大學(xué)材料科學(xué)與工程系歷任教授、功能薄膜材料與器件研究室主任、系主任；1994年后歷任上海大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院博士生導(dǎo)師、首聘二級教授、院長。2013年初退休。
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