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新型共路干涉儀 版權信息
- ISBN：9787308185714
- 條形碼：9787308185714 ; 978-7-308-18571-4
- 裝幀：一般膠版紙
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
新型共路干涉儀 內容簡介
作者全面介紹了目前在靠前外高科技領域應用的橫向及徑向剪切干涉儀、點衍射干涉儀、雙焦干涉儀、米勒干涉儀、各種波前干涉傳感器等各種新型共路干涉儀干涉理論，并著重介紹在大規模集成電路光刻物鏡波前檢測中的各種豐富的共路干涉儀的光學系統及波前解調技術。本書可作為適合于靠前外從事光學工程的科技人員、高校師生參考用書。
新型共路干涉儀 目錄
1 光學干涉理論基礎
1．1 光的衍射
1．1．1 標量衍射理論
1．1．2 矢量衍射理論
1．1．3 電磁場的數值計算方法
1．2 光的干涉
1．2．1 單色平面波確定光場
1．2．2 空間和時間展寬的隨機光場
1．2．3 相干時間與相干區域
1．2．4 隨機波動方程
1．2．5 隨機場相關的確定信號
1．2．6 vanCittert-Zernike定理
1．3 相位解包裹技術
1．3．1 一維相位解包裹
1．3．2 Goldstein枝切法
1．3．3 基于可靠性排序的路徑無關快速相位解包裹技術
1．3．4 差分整平相位解包裹技術
1．4 波前質量評價
1．4．1 Zernike多項式
1．4．2 Zernike多項式波面擬合
1．4．3 Zernike多項式與光學像差的對應關系
參考文獻
2 點衍射干涉儀
2．1 概述
2．2 光的衍射
2．2．1 點衍射波前質量的仿真分析
2．2．2 針孔衍射仿真的建模與計算
2．2．3 針孔衍射研究進展
2．3 傳統點衍射干涉儀
2．3．1 光柵相移點衍射干涉儀
2．3．2 偏振相移點衍射干涉儀
2．3．3 傳統相移光纖點衍射干涉儀
2．3．4 斜面光纖點衍射干涉儀
2．3．5 雙光纖點衍射干涉儀
2．4 針孔點衍射干涉面形檢測系統
2．4．1 高精度點衍射球面干涉檢測系統布局
2．4．2 對比度可調的點衍射球面面形檢測系統
2．4．3 系統誤差分析及消除方法
2．5 點衍射定量相位成像技術
2．5．1 衍射相位顯微鏡系統布局
2．5．2 點衍射定量相位成像技術的應用
參考文獻
……
3 橫向剪切干涉測試技術
4 多波前剪切干涉儀
5 瞬態波前檢測
6 其他共路干涉儀
索引
1．1 光的衍射
1．1．1 標量衍射理論
1．1．2 矢量衍射理論
1．1．3 電磁場的數值計算方法
1．2 光的干涉
1．2．1 單色平面波確定光場
1．2．2 空間和時間展寬的隨機光場
1．2．3 相干時間與相干區域
1．2．4 隨機波動方程
1．2．5 隨機場相關的確定信號
1．2．6 vanCittert-Zernike定理
1．3 相位解包裹技術
1．3．1 一維相位解包裹
1．3．2 Goldstein枝切法
1．3．3 基于可靠性排序的路徑無關快速相位解包裹技術
1．3．4 差分整平相位解包裹技術
1．4 波前質量評價
1．4．1 Zernike多項式
1．4．2 Zernike多項式波面擬合
1．4．3 Zernike多項式與光學像差的對應關系
參考文獻
2 點衍射干涉儀
2．1 概述
2．2 光的衍射
2．2．1 點衍射波前質量的仿真分析
2．2．2 針孔衍射仿真的建模與計算
2．2．3 針孔衍射研究進展
2．3 傳統點衍射干涉儀
2．3．1 光柵相移點衍射干涉儀
2．3．2 偏振相移點衍射干涉儀
2．3．3 傳統相移光纖點衍射干涉儀
2．3．4 斜面光纖點衍射干涉儀
2．3．5 雙光纖點衍射干涉儀
2．4 針孔點衍射干涉面形檢測系統
2．4．1 高精度點衍射球面干涉檢測系統布局
2．4．2 對比度可調的點衍射球面面形檢測系統
2．4．3 系統誤差分析及消除方法
2．5 點衍射定量相位成像技術
2．5．1 衍射相位顯微鏡系統布局
2．5．2 點衍射定量相位成像技術的應用
參考文獻
……
3 橫向剪切干涉測試技術
4 多波前剪切干涉儀
5 瞬態波前檢測
6 其他共路干涉儀
索引
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