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光學薄膜技術 版權信息
- ISBN：9787121385810
- 條形碼：9787121385810 ; 978-7-121-38581-0
- 裝幀：平裝-膠訂
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
光學薄膜技術 本書特色
本書系統地介紹薄膜光學的基本理論和器件設計的基本方法，適當地介紹一些新設計方法、新器件設計、新工藝技術。 全書共7章，主要內容包括：薄膜光學基礎，器件設計方法，薄膜制造基本方法，高質量光學薄膜器件的工藝方法，光學薄膜材料，光學薄膜特性測試，功能薄膜及其應用。
光學薄膜技術 內容簡介
本書系統地介紹薄膜光學的基本理論和器件設計的基本方法，適當地介紹一些新設計方法、新器件設計、新工藝技術。 全書共7章，主要內容包括：薄膜光學基礎，器件設計方法，薄膜制造基本方法，高質量光學薄膜器件的工藝方法，光學薄膜材料，光學薄膜特性測試，功能薄膜及其應用。
光學薄膜技術 目錄
第1章薄膜光學特性計算基礎
11引言
12單一界面的反射率和透射率
13單層介質膜的反射率
131單層介質膜與基底組合的等效光學導納
132單層介質膜的光學特性
14多層介質膜的反射率和透射率
15金屬薄膜的光學特性
16光學零件的反射率和透射率
17光學薄膜的色度表征與計算
171光學薄膜的透、反射率光譜與顏色
172CIE1931標準色度系統簡介
173薄膜顏色的色度學表征
思考題與習題
第2章介質膜系及其應用
21減反射膜
211單層減反射膜
212雙層減反射膜
213多層減反射膜
214高折射率基底的減反射膜
215含吸收層的防眩光減反射膜
22高反射膜
221周期性多層膜堆的反射率
222（LH）S周期性多層膜堆的高反射帶
223高反射帶的展寬
224傾斜入射時的高反射帶
225金屬反射膜
23中性分束膜
231介質中性分光鏡
232偏振中性分束棱鏡
233金屬中性分光鏡
24截止濾光片
241多層膜堆的通帶透射率
242通帶波紋的壓縮
243通帶的展寬和壓縮
244截止波長和截止帶中心的透射率
245截止濾光片傾斜使用時的偏振效應
246截止濾光片的應用
25帶通濾光片
251法布里-珀羅濾光片特性
252全介質法布里-珀羅濾光片
253誘導透射濾光片
254法布里-珀羅濾光片的*新應用
255寬帶通濾光片
26偏振分束膜
261膠合棱鏡介質偏振分光膜
262平板介質偏振分光鏡
263金屬柵偏振分光鏡
27消偏振膜系
271單波長消偏振
272受抑全反射寬波段消偏振分光鏡
273金屬-介質組合膜堆寬波段消偏振
274消偏振截止濾光片
思考題與習題
第3章光學薄膜制造技術
31光學真空鍍膜機
32真空與物理氣相沉積
33真空獲得與檢測
331真空泵
332低溫冷凝泵
333PVD使用的高真空系統
334真空度的檢測
34熱蒸發
35濺射
351輝光放電濺射
352磁控濺射
353離子束濺射
354離子、靶材與濺射率
36離子鍍
37離子輔助鍍
38等離子體增強化學氣相沉積
381PECVD過程的動力學
382PECVD裝置
思考題與習題
第4章光學薄膜制造工藝
41光學薄膜器件的質量要素
42影響膜層質量的工藝要素
421影響薄膜器件質量的工藝要素及作用機理
422提高膜層機械強度的工藝途徑
423控制膜層折射率的主要工藝途徑
424獲得致密膜層的方法
43獲得精確厚度的方法
431目視法
432極值法
433光電定值法
434任意膜厚的單波長監控
435石英晶振法
436寬光譜膜厚監控
44獲得均勻膜層的方法
441影響膜層厚度均勻性的因素
442獲得均勻膜層厚度的途徑
思考題與習題
第5章薄膜材料及其性質
51薄膜的微觀結構與性質
511薄膜結構的材料學基礎
512薄膜的光學性質
513薄膜的力學性質
52常用光學薄膜材料
521金屬薄膜
522介質薄膜
523特殊材料
思考題與習題
第6章光學薄膜特性測試與分析
61光學薄膜特性的檢測標準
611國標（JB/T 6179—92）中規定的光學零件鍍膜的分類、符號及標注
612國標（JB/T 8226—1999）中規定的光學零件鍍膜檢測項目
613國標（JB/T 8226—1999）中規定的光學零件鍍膜試驗方法
614國標（JB/T 8226—1999）中規定的光學零件鍍膜檢驗規則
62薄膜透射率、反射率的測量
621光譜儀的基本原理
622薄膜透射率的測量
623薄膜反射率的測量
63薄膜光學常數和厚度的測量
631光度法確定薄膜的光學常數
632橢圓偏振法確定薄膜的光學常數
633薄膜厚度的測量
64薄膜吸收和散射的測量
641薄膜吸收損耗的測量
642薄膜散射損耗的測量
65薄膜激光損傷閾值的測量
651薄膜激光損傷的機理分析
652薄膜激光損傷閾值的測量標準及方法
653薄膜抗激光損傷閾值測量中應注意的幾個問題
66薄膜非光學特性的檢測
661薄膜附著力的測量
662薄膜應力的測量
663薄膜的環境試驗
664薄膜結構和化學成分檢測
思考題與習題
第7章功能薄膜及其應用
71透明導電薄膜
711透明導電薄膜的分類
712透明導電薄膜的基本特性
713透明導電氧化物薄膜的制備
714透明導電氧化物薄膜的特性測試
715透明導電氧化物薄膜的應用
72太陽能薄膜
721太陽能光熱轉換薄膜
722太陽能光電轉換薄膜
73超硬薄膜材料
731金剛石薄膜
732類金剛石（DLC）薄膜
733立方氮化硼薄膜
734CNx薄膜
735其他硬質薄膜
74相位膜
741屋脊棱鏡的偏振像差
742矯正偏振像差的相位膜
743屋脊棱鏡偏振像差的表征與檢測
思考題與習題
附錄A常見薄膜材料參數
參考文獻
11引言
12單一界面的反射率和透射率
13單層介質膜的反射率
131單層介質膜與基底組合的等效光學導納
132單層介質膜的光學特性
14多層介質膜的反射率和透射率
15金屬薄膜的光學特性
16光學零件的反射率和透射率
17光學薄膜的色度表征與計算
171光學薄膜的透、反射率光譜與顏色
172CIE1931標準色度系統簡介
173薄膜顏色的色度學表征
思考題與習題
第2章介質膜系及其應用
21減反射膜
211單層減反射膜
212雙層減反射膜
213多層減反射膜
214高折射率基底的減反射膜
215含吸收層的防眩光減反射膜
22高反射膜
221周期性多層膜堆的反射率
222（LH）S周期性多層膜堆的高反射帶
223高反射帶的展寬
224傾斜入射時的高反射帶
225金屬反射膜
23中性分束膜
231介質中性分光鏡
232偏振中性分束棱鏡
233金屬中性分光鏡
24截止濾光片
241多層膜堆的通帶透射率
242通帶波紋的壓縮
243通帶的展寬和壓縮
244截止波長和截止帶中心的透射率
245截止濾光片傾斜使用時的偏振效應
246截止濾光片的應用
25帶通濾光片
251法布里-珀羅濾光片特性
252全介質法布里-珀羅濾光片
253誘導透射濾光片
254法布里-珀羅濾光片的*新應用
255寬帶通濾光片
26偏振分束膜
261膠合棱鏡介質偏振分光膜
262平板介質偏振分光鏡
263金屬柵偏振分光鏡
27消偏振膜系
271單波長消偏振
272受抑全反射寬波段消偏振分光鏡
273金屬-介質組合膜堆寬波段消偏振
274消偏振截止濾光片
思考題與習題
第3章光學薄膜制造技術
31光學真空鍍膜機
32真空與物理氣相沉積
33真空獲得與檢測
331真空泵
332低溫冷凝泵
333PVD使用的高真空系統
334真空度的檢測
34熱蒸發
35濺射
351輝光放電濺射
352磁控濺射
353離子束濺射
354離子、靶材與濺射率
36離子鍍
37離子輔助鍍
38等離子體增強化學氣相沉積
381PECVD過程的動力學
382PECVD裝置
思考題與習題
第4章光學薄膜制造工藝
41光學薄膜器件的質量要素
42影響膜層質量的工藝要素
421影響薄膜器件質量的工藝要素及作用機理
422提高膜層機械強度的工藝途徑
423控制膜層折射率的主要工藝途徑
424獲得致密膜層的方法
43獲得精確厚度的方法
431目視法
432極值法
433光電定值法
434任意膜厚的單波長監控
435石英晶振法
436寬光譜膜厚監控
44獲得均勻膜層的方法
441影響膜層厚度均勻性的因素
442獲得均勻膜層厚度的途徑
思考題與習題
第5章薄膜材料及其性質
51薄膜的微觀結構與性質
511薄膜結構的材料學基礎
512薄膜的光學性質
513薄膜的力學性質
52常用光學薄膜材料
521金屬薄膜
522介質薄膜
523特殊材料
思考題與習題
第6章光學薄膜特性測試與分析
61光學薄膜特性的檢測標準
611國標（JB/T 6179—92）中規定的光學零件鍍膜的分類、符號及標注
612國標（JB/T 8226—1999）中規定的光學零件鍍膜檢測項目
613國標（JB/T 8226—1999）中規定的光學零件鍍膜試驗方法
614國標（JB/T 8226—1999）中規定的光學零件鍍膜檢驗規則
62薄膜透射率、反射率的測量
621光譜儀的基本原理
622薄膜透射率的測量
623薄膜反射率的測量
63薄膜光學常數和厚度的測量
631光度法確定薄膜的光學常數
632橢圓偏振法確定薄膜的光學常數
633薄膜厚度的測量
64薄膜吸收和散射的測量
641薄膜吸收損耗的測量
642薄膜散射損耗的測量
65薄膜激光損傷閾值的測量
651薄膜激光損傷的機理分析
652薄膜激光損傷閾值的測量標準及方法
653薄膜抗激光損傷閾值測量中應注意的幾個問題
66薄膜非光學特性的檢測
661薄膜附著力的測量
662薄膜應力的測量
663薄膜的環境試驗
664薄膜結構和化學成分檢測
思考題與習題
第7章功能薄膜及其應用
71透明導電薄膜
711透明導電薄膜的分類
712透明導電薄膜的基本特性
713透明導電氧化物薄膜的制備
714透明導電氧化物薄膜的特性測試
715透明導電氧化物薄膜的應用
72太陽能薄膜
721太陽能光熱轉換薄膜
722太陽能光電轉換薄膜
73超硬薄膜材料
731金剛石薄膜
732類金剛石（DLC）薄膜
733立方氮化硼薄膜
734CNx薄膜
735其他硬質薄膜
74相位膜
741屋脊棱鏡的偏振像差
742矯正偏振像差的相位膜
743屋脊棱鏡偏振像差的表征與檢測
思考題與習題
附錄A常見薄膜材料參數
參考文獻
展開全部
光學薄膜技術 作者簡介
盧進軍，西安工業大學光電學院教授，從事光學領域的教學、科研工作，主編教材《光學薄膜技術》。
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