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微機電系統設計與激光-機械設計手冊單行本-第5版 版權信息
- ISBN：9787111491507
- 條形碼：9787111491507 ; 978-7-111-49150-7
- 裝幀：一般膠版紙
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
微機電系統設計與激光-機械設計手冊單行本-第5版 本書特色
本單行本為《微機電系統設計與激光》，主要介紹微機電系統基本概念與應用領域、微機電系統制造、微機電系統設計、微機電系統實例等；激光加工概論（激光器基礎、加工中常用的激光器、激光加工物理基礎）、激光打孔、激光切割、激光焊接、激光淬火、激光熔覆與合金化、激光沖擊強化、激光在其它機械工程領域的應用、激光加工的安全防護等。
微機電系統設計與激光-機械設計手冊單行本-第5版 內容簡介
《機械設計手冊第5版 單行本》系列圖書是以曾榮獲中國出版政府獎提名獎，中國機械工業科學技術獎一等獎等國家及行業重量級獎項的《機械設計手冊第5版》為基礎，本著方便讀者查閱、降低讀者購買成本為宗旨而出版的經典再版圖書。本套叢書共38分冊，內容涵蓋機械常規設計、機電一體化設計與機電控制、現代設計方法及其應用等內容，具有系統全面、信息量大、內容現代、凸顯創新、實用可靠、簡明便查、便于攜帶和翻閱等特色。 本書供從事機械設計、制造、維修及有關工程技術人員作為工具書使用，也可供大專院校的有關專業師生使用和參考。
微機電系統設計與激光-機械設計手冊單行本-第5版 目錄
出版說明
第5版前言
第29篇 微機電系統及設計
第1章 微機電系統概述
1 基本概念
1.1 微傳感器
1.2 微執行器
1.3 微機電系統的基本特征
1.4 微機電系統和微電子的比較
2 微機電系統發展歷程
3 微機電系統及相關技術
3.1 微機電系統組成
3.2 微機電系統設計
3.3 微機電系統制造
3.4 微機電系統封裝
3.5 微機電系統裝配
3.6 系統封裝(sip)
3.7 微機電系統可靠性
3.8 微機電系統測試
4 微機電系統應用領域
4.1 微機電系統在汽車中的應用
4.2 微機電系統在醫療和生命科學領
域的應用
4.3 微機電系統在航天工業的應用
4.4 微機電系統在電信領域中的應用
第2章 微機電系統制造
1 體硅微機械加工技術
1.1 硅晶體的描述
1.2 各向同性腐蝕
1.3 各向異性腐蝕
1.3.1 不同腐蝕液中的腐蝕速率
1.3.2 腐蝕速率與溫度的關系
1.3.3 腐蝕速率與腐蝕液含量的關系
1.3.4 腐蝕速率與襯底摻雜濃度的
關系
1.3.5 不同腐蝕液中的腐蝕表面狀況
1.3.6 各向異性腐蝕加工技術中的
凸角補償方法
1.4 深反應離子刻蝕
1.4.1 刻蝕原理
1.4.2 載片臺溫度與sf6／o2配比
的影響
1.4.3 sf6流量與icp功率的影響
1.4.4 滯后效應和凹缺效應
1.4.5 深反應離子刻蝕工藝優化
1.5 硅直接鍵合技術
1.5.1 硅直接鍵合技術的分類
1.5.2 鍵合前的清洗
1.5.3 鍵合表面的活化
1.5.4 平整度對鍵合的影響
1.5.5 鍵合后的熱處理
1.5.6 鍵合質量的表征
2 表面微機械加工技術
2.1 表面微機械加工的薄膜材料及其
特性
2.1.1 多晶硅
2.1.2 氧化硅
2.1.3 氮化硅
2.1.4 其他表面微機械加工材料
2.2 犧牲層釋放腐蝕技術
2.2.1 氧化硅犧牲層的腐蝕
2.2.2 粘附問題及其解決方案
2.3 標準化的表面微機械加工工藝
2.3.1 mumps加工工藝
2.3.2 summittm-v加工工藝
3 玻璃微機械加工技術
3.1 濕法刻蝕
3.2 干法刻蝕
4 uv-liga技術
5 其他微機械加工技術
6 微機電系統制造工藝優先
第3章 微機電系統設計
1 設計工具
2 微機械潤滑
3 靜電執行器
4 壓電執行器
5 熱執行器
6 熱氣動和相變執行器
7 磁執行器
8 執行器比較
第4章 微機電系統實例
1 微機械壓力傳感器
2 微機械慣性傳感器
3 微滴發生器
4 微流控芯片
5 微機械裝置
6 微機器人
參考文獻
第31篇 激光及其在機械工程中的應用
第1章 激光加工概論
1 激光機基礎
2 加工中常用的激光器
3 激光加工物理基礎
第2章 激光打孔
1 激光打孔的特點與分類
2 激光打孔的原理及物理過程
3 激光打孔工藝參數
4 激光打孔的質量檢驗
第3章 激光切割
1 激光氣割機理
2 激光切割質量
3 影響激光切割質量的因素
4 常用工程材料的激光切割
第4章 激光焊接
1 激光焊接原理與分類
2 激光熱傳導焊接
3 激光深熔焊接
4 激光焊接中常出現的問題
5 典型材料的機關焊接
第5章 激光淬火
1 激光淬火原理與特點
2 激光淬火質量
3 激光淬火工藝及參數
第6章 激光熔覆于合金化
1 激光熔覆于合金化的基礎
2 激光熔覆
3 激光合金化
4 激光熔覆于合金化的質量控制
第7章 激光沖擊強化
1 概述
2 激光沖擊過程機理
3 激光沖擊的兩種模型
4 涂層和約束涂層技術
5 激光沖擊設備
6 典型材料的激光沖擊強化效果
第8章 激光在其他機械工程領域的應用
1 激光板料成形
2 激光毛化
3 激光標記
4 激光表面非晶化
5 激光清洗
6 激光全息干涉無損檢測技術
第9章 激光加工的安全防護
1 激輻射的危害
2 使用激光時伴隨的危害
3 激光安全防護標準
4 激光危害分類
5 激光危害的工程控制
參考文獻
第5版前言
第29篇 微機電系統及設計
第1章 微機電系統概述
1 基本概念
1.1 微傳感器
1.2 微執行器
1.3 微機電系統的基本特征
1.4 微機電系統和微電子的比較
2 微機電系統發展歷程
3 微機電系統及相關技術
3.1 微機電系統組成
3.2 微機電系統設計
3.3 微機電系統制造
3.4 微機電系統封裝
3.5 微機電系統裝配
3.6 系統封裝(sip)
3.7 微機電系統可靠性
3.8 微機電系統測試
4 微機電系統應用領域
4.1 微機電系統在汽車中的應用
4.2 微機電系統在醫療和生命科學領
域的應用
4.3 微機電系統在航天工業的應用
4.4 微機電系統在電信領域中的應用
第2章 微機電系統制造
1 體硅微機械加工技術
1.1 硅晶體的描述
1.2 各向同性腐蝕
1.3 各向異性腐蝕
1.3.1 不同腐蝕液中的腐蝕速率
1.3.2 腐蝕速率與溫度的關系
1.3.3 腐蝕速率與腐蝕液含量的關系
1.3.4 腐蝕速率與襯底摻雜濃度的
關系
1.3.5 不同腐蝕液中的腐蝕表面狀況
1.3.6 各向異性腐蝕加工技術中的
凸角補償方法
1.4 深反應離子刻蝕
1.4.1 刻蝕原理
1.4.2 載片臺溫度與sf6／o2配比
的影響
1.4.3 sf6流量與icp功率的影響
1.4.4 滯后效應和凹缺效應
1.4.5 深反應離子刻蝕工藝優化
1.5 硅直接鍵合技術
1.5.1 硅直接鍵合技術的分類
1.5.2 鍵合前的清洗
1.5.3 鍵合表面的活化
1.5.4 平整度對鍵合的影響
1.5.5 鍵合后的熱處理
1.5.6 鍵合質量的表征
2 表面微機械加工技術
2.1 表面微機械加工的薄膜材料及其
特性
2.1.1 多晶硅
2.1.2 氧化硅
2.1.3 氮化硅
2.1.4 其他表面微機械加工材料
2.2 犧牲層釋放腐蝕技術
2.2.1 氧化硅犧牲層的腐蝕
2.2.2 粘附問題及其解決方案
2.3 標準化的表面微機械加工工藝
2.3.1 mumps加工工藝
2.3.2 summittm-v加工工藝
3 玻璃微機械加工技術
3.1 濕法刻蝕
3.2 干法刻蝕
4 uv-liga技術
5 其他微機械加工技術
6 微機電系統制造工藝優先
第3章 微機電系統設計
1 設計工具
2 微機械潤滑
3 靜電執行器
4 壓電執行器
5 熱執行器
6 熱氣動和相變執行器
7 磁執行器
8 執行器比較
第4章 微機電系統實例
1 微機械壓力傳感器
2 微機械慣性傳感器
3 微滴發生器
4 微流控芯片
5 微機械裝置
6 微機器人
參考文獻
第31篇 激光及其在機械工程中的應用
第1章 激光加工概論
1 激光機基礎
2 加工中常用的激光器
3 激光加工物理基礎
第2章 激光打孔
1 激光打孔的特點與分類
2 激光打孔的原理及物理過程
3 激光打孔工藝參數
4 激光打孔的質量檢驗
第3章 激光切割
1 激光氣割機理
2 激光切割質量
3 影響激光切割質量的因素
4 常用工程材料的激光切割
第4章 激光焊接
1 激光焊接原理與分類
2 激光熱傳導焊接
3 激光深熔焊接
4 激光焊接中常出現的問題
5 典型材料的機關焊接
第5章 激光淬火
1 激光淬火原理與特點
2 激光淬火質量
3 激光淬火工藝及參數
第6章 激光熔覆于合金化
1 激光熔覆于合金化的基礎
2 激光熔覆
3 激光合金化
4 激光熔覆于合金化的質量控制
第7章 激光沖擊強化
1 概述
2 激光沖擊過程機理
3 激光沖擊的兩種模型
4 涂層和約束涂層技術
5 激光沖擊設備
6 典型材料的激光沖擊強化效果
第8章 激光在其他機械工程領域的應用
1 激光板料成形
2 激光毛化
3 激光標記
4 激光表面非晶化
5 激光清洗
6 激光全息干涉無損檢測技術
第9章 激光加工的安全防護
1 激輻射的危害
2 使用激光時伴隨的危害
3 激光安全防護標準
4 激光危害分類
5 激光危害的工程控制
參考文獻
展開全部
微機電系統設計與激光-機械設計手冊單行本-第5版 作者簡介
聞邦椿，現為東北大學教授、博士研究生導師、東北大學機械設計及理論研究所名譽所長，東北大學 “重大機械裝備設計與制造關鍵共性技術創新平臺”985工程建設的首席教授。2007年當選為中國科學院院士。現任國際轉子動力學技術委員會委員、國際機器理論與機構學聯合會中國委員會委員。
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